一种惰性气体纯化器的制作方法

本实用新型属于气体纯化领域，具体为一种惰性气体纯化器。

背景技术：

现有气体纯化技术原理主要有催化氧化、物理吸附、化学吸附。其中催化氧化需要将气体加热至一定的温度，催化剂才能将杂质气体进行催化氧化；物理吸附大多采用分子筛吸附，能有效去除杂质co2、h2o，纯化进程在高温下可逆，而且可以进行分子筛再生；化学

吸附则利用杂质中气体与纯化塔内填料发生化学反应，除去杂质。多数气体纯化设备只适用于纯化单一种类气体，而不适用于多种气体的纯化。

现如今，半导体、电子、航空等领域对气体的纯度要求较高，需要大批量的超高纯电子级气体。空分或化学反应制造的气体纯度很难满足生产需求，半导体、电子领域用气多数为经净化后的瓶装气体。目前多数净化装置只能净化单一气体，很难满足多种气体的净化，对于多元化气体生产厂家，采购多台设备净化气体，一定程度上购买成本较高，且占地面积较大，想实现生产线式净化较难。这就导致净化效率较低，气体净化只适用于小批量特殊气体的净化，而对于超高纯气体批量化生产显得尤为艰难。

技术实现要素：

本实用新型旨在解决上述缺陷，提供了一种惰性气体纯化器。

为了克服背景技术中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种惰性气体纯化器，包括纯化器本体和加热装置，所述纯化器本体顶部设有气体输入管道，纯化器本体底部设有气体输出管道，所述加热装置为陶瓷加热圈，陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘，陶瓷加热圈的气体入口与气体输入管道相连接，陶瓷加热圈的气体出口连接催化氧化器，所述催化氧化器与水冷装置相连接，所述水冷装置连接脱氧器，所述脱氧器连接气体输出管道。

进一步地，陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉，绝热棉外部设置有纯化罐外壳。

进一步地，绝热棉与纯化罐外壳之间设置有真空间隙。

进一步地，陶瓷加热圈的气体入口设置有压力表和流量计。

本实用新型的有益效果是：本实用新型设置绝热棉进一步起到绝热作用，绝热棉和纯化罐外壳之间的真空间隙保护工作人员的安全，防止高温或者触电事故，而且通过催化氧化能够实现较高纯气体的批量生产，产业化成本低。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

一种惰性气体纯化器，包括纯化器本体1和加热装置2，纯化器本体1顶部设有气体输入管道3，纯化器本体1底部设有气体输出管道4，加热装置2为陶瓷加热圈，陶瓷加热圈安装在纯化器本体1侧壁外缘，陶瓷加热圈的气体入口与气体输入管道3相连接，陶瓷加热圈的气体出口连接催化氧化器5，催化氧化器5与水冷装置6相连接，水冷装置6连接脱氧器7，脱氧器7连接气体输出管道4。

在本实施例中，陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉8，绝热棉8外部设置有纯化罐外壳9。

在本实施例中，绝热棉8与纯化罐外壳9之间设置有真空间隙10。

在本实施例中，陶瓷加热圈的气体入口设置有压力表11和流量计12。

本实用新型的有益效果是：本实用新型设置绝热棉进一步起到绝热作用，绝热棉和纯化罐外壳之间的真空间隙保护工作人员的安全，防止高温或者触电事故，而且通过催化氧化能够实现较高纯气体的批量生产，产业化成本低。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。