技术特征：
技术总结
本发明属于特种加工技术中的超声振动辅助加工技术领域，公开了激光辅助在线测量三维椭圆超声振动辅助微细加工平台；所述微细加工平台包括包括沿进给方向超声振动系统、沿侧吃刀量方向超声振动系统、沿竖直方向超声振动系统和激光位移传感器测量系统；三个超声振动空间中呈相互垂直分布。该发明无需对机床主轴进行任何的改动，在普通的机床上，根据实际需要耦合出不同的椭圆振动轨迹，实现待加工工件的一、二和三维超声振动辅助加工，解决多维椭圆振动过程中不同方向上振动位移之间相互干涉的问题，增加激光位移传感器的振幅和频率，便于对超声振动系统振动参数的调节，实现在普通机床上对难加工材料高效率、高精度的三维椭圆超声振动辅助加工。
技术研发人员：倪陈兵;朱立达;高峰;刘长福;杨志超;敦艺超
受保护的技术使用者：东北大学
技术研发日：2019.02.22
技术公布日：2019.05.17