一种超声旋涂机的制作方法

本发明涉及旋涂技术领域，具体为一种超声旋涂机。

背景技术：

旋涂是一种广泛使用的多功能技术，用于将材料沉积到基材上，从而获得精确可控的薄膜厚度，适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶实验中的薄膜制作，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关，可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

虽然现有技术的旋涂机能够进行对工件的旋涂加工处理，但是现有技术仍存在旋涂机存在的喷淋涂覆不均匀等问题

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种超声旋涂机，以解决上述背景技术中提出的旋涂机存在的喷淋涂覆不均匀等问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种超声旋涂机，包括外壳，所述外壳的内壁安装有内胆，所述外壳和内胆的下端内侧安装有电路，所述外壳的上方转动连接有顶盖，所述外壳的内壁下方安装有电机，所述电机的输出轴通过中空立柱与吸附盘转动相连，所述内胆的内壁上方左侧安装有喷淋头，所述内胆的内壁上方安装有超声波发生片，所述外壳的外壁右侧安装有操作板。

优选的，多个所述超声波发生片以内胆的圆心为基准成中心对称分布。

优选的，所述吸附盘、电机和外壳的轴线位置一致。

优选的，所述电路和电机、超声波发生片、操作板和喷淋头的启动水泵通过导线电性相连。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该超声旋涂机，结构科学合理，使用安全方便：

设置有外壳、内胆、顶盖、喷淋头、吸附盘、超声波发生片、电机、电路和操作板之间的配合，使电机和喷淋头可对吸附在吸附盘上方的工件进行旋涂处理，同时超声波发生片可通电产生高频振荡，从而发出超声波，旋涂机在工作时具有了更好的涂覆效果，通过超声波对喷淋溶液的超声作用，解决了旋涂机存在的喷淋涂覆不均匀等问题。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为图1中内胆、超声波发生片和吸附盘处的结构示意图。

图中：1、外壳，2、内胆，3、顶盖，4、喷淋头，5、吸附盘，6、超声波发生片，7、电机，8、电路，9、操作板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：一种超声旋涂机，包括外壳1，外壳1的内壁安装有内胆2，外壳1由合金材质制成，重量轻且不失美观，内胆2由不锈钢材质制成，外壳1和内胆2的下端内侧安装有电路8，电路8可用于整体设备的供电，外壳1的上方转动连接有顶盖3，顶盖3上设有把手和用于观察喷淋涂覆情况的观察窗，外壳1的内壁下方安装有电机7，内胆2可对电机7进行支撑，电机7的输出轴通过中空立柱与吸附盘5转动相连，电机7的输出轴可带动吸附盘5进行转动，且吸附盘5外接有真空泵，用于启动时将工器件固定在吸附盘上，内胆2的内壁上方左侧安装有喷淋头4，内胆2可对喷淋头4进行支撑，喷淋头4与外界水流相连通，内胆2的内壁上方安装有超声波发生片6，超声波发生片6使用时会产生高频振荡，从而发出超声波，外壳1的外壁右侧安装有操作板9，多个超声波发生片6以内胆2的圆心为基准成中心对称分布，限制超声波发生片6和内胆2的相对位置，吸附盘5、电机7和外壳1的轴线位置一致，避免吸附盘5转动使发生晃动，电路8和电机7、超声波发生片6、操作板9和喷淋头4的启动水泵通过导线电性相连，通过操作板9可控制电路8对电机7、超声波发生片6和喷零头4的启动水泵的开启或关闭。

当需要此超声旋涂机使用时，首先使用者可通过旋转的方式将顶盖3从外壳1的上方打开，随后将需要进行旋涂的工件扣在吸附盘5的上方，随后启动外界的真空泵可实现工件稳稳的压在吸附盘5的上方，完成工件的位置安装后，可反转顶盖3实现外壳1的上方密封，而后通过操作板9控制电机7、超声波发生片6和喷淋头4的启动水泵开启，使电机7的输出轴可通过中空立柱带动吸附盘5和吸附盘5上方的工件进行转动，喷淋头4可将需要进行喷涂的液体通过喷淋头4处喷出，喷在工件的表面，同时超声波发生片6，使超声波发生片6会产生高频振荡，从而发出超声波，通过超声波对喷淋溶液的超声作用，使喷淋涂覆的效果进行加强，完成加工后可通过操作板9停止电机7、喷淋头4的启动水泵和超声波发生片6，并关闭外界的真空泵，随后打开顶盖3将工件取出即可。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种超声旋涂机，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内壁安装有内胆(2)，所述外壳(1)和内胆(2)的下端内侧安装有电路(8)，所述外壳(1)的上方转动连接有顶盖(3)，所述外壳(1)的内壁下方安装有电机(7)，所述电机(7)的输出轴通过中空立柱与吸附盘(5)转动相连，所述内胆(2)的内壁上方左侧安装有喷淋头(4)，所述内胆(2)的内壁上方安装有超声波发生片(6)，所述外壳(1)的外壁右侧安装有操作板(9)。

2.根据权利要求1所述的一种超声旋涂机，其特征在于：多个所述超声波发生片(6)以内胆(2)的圆心为基准成中心对称分布。

3.根据权利要求1所述的一种超声旋涂机，其特征在于：所述吸附盘(5)、电机(7)和外壳(1)的轴线位置一致。

4.根据权利要求1所述的一种超声旋涂机，其特征在于：所述电路(8)和电机(7)、超声波发生片(6)、操作板(9)和喷淋头(4)的启动水泵通过导线电性相连。

技术总结
本发明公开了一种超声旋涂机，包括外壳，所述外壳的内壁安装有内胆，所述外壳和内胆的下端内侧安装有电路，所述外壳的内壁下方安装有电机，所述内胆的内壁上方左侧安装有喷淋头，所述内胆的内壁上方安装有超声波发生片，所述外壳的外壁右侧安装有操作板。该超声旋涂机，结构科学合理，使用安全方便，设置有外壳、内胆、顶盖、喷淋头、吸附盘、超声波发生片、电机、电路和操作板之间的配合，使电机和喷淋头可对吸附在吸附盘上方的工件进行旋涂处理，同时超声波发生片可通电产生高频振荡，从而发出超声波，旋涂机在工作时具有了更好的涂覆效果，通过超声波对喷淋溶液的超声作用，解决了旋涂机存在的喷淋涂覆不均匀等问题。

技术研发人员：张信华;刘威;游帆;王雨晗;陈莹
受保护的技术使用者：常州工学院
技术研发日：2019.12.13
技术公布日：2020.04.10