过滤滤除器及过滤方法与流程

[0001]
本发明涉及捕捉液体所包含的过滤对象物的过滤滤除器以及使用了该过滤滤除器的过滤方法。


背景技术：

[0002]
以往，作为这种过滤滤除器，例如已知有专利文献1所记载的过滤滤除器。在专利文献1中，记载了一种捕捉细胞分散液所包含的细胞作为过滤对象物的过滤滤除器。
[0003]
在先技术文献
[0004]
专利文献
[0005]
专利文献1：日本特开2015-188314号公报


技术实现要素：

[0006]
发明要解决的课题
[0007]
但是，在以往的过滤滤除器中，基于抑制过滤对象物的干燥这一观点具有改善的余地。
[0008]
本发明的目的在于解决所述课题，提供一种能够抑制过滤对象物的干燥的过滤滤除器。
[0009]
用于解决课题的手段
[0010]
为了实现所述目的，本发明的一方式的过滤滤除器具有第一主面、与所述第一主面对置的第二主面以及划定从所述第一主面贯穿至所述第二主面的多个贯通孔的滤除器基体部，通过所述滤除器基体部来捕捉液体所包含的过滤对象物，其中，
[0011]
在从所述第一主面剖切至所述第二主面使得通过彼此相邻的贯通孔的剖面中，在位于该彼此相邻的贯通孔之间的滤除器基体部的宽度方向的两端部设置有从所述第一主面突出的一对突起部，通过所述滤除器基体部的第一主面和所述一对突起部而构成积存所述液体的一部分的积液部。
[0012]
发明效果
[0013]
根据本发明，能够抑制过滤对象物的干燥。
附图说明
[0014]
图1是本发明的实施方式的过滤滤除器的俯视图。
[0015]
图2是图1的过滤滤除器的局部放大剖视图。
[0016]
图3是示出图1的过滤滤除器的积液部捕捉了液体的状态的局部放大剖视图。
[0017]
图4是从第一主面侧观察滤除器部的局部放大立体图。
[0018]
图5是将图4的一部分进一步放大来观察的立体图。
[0019]
图6是从第二主面侧观察滤除器部的局部放大立体图。
[0020]
图7是将图6的一部分进一步放大来观察的立体图。
[0021]
图8a是示意性示出图1的过滤滤除器的滤除器部的制造方法的一例的剖视图。
[0022]
图8b是示出接着图8a的工序的剖视图。
[0023]
图8c是示出接着图8b的工序的剖视图。
[0024]
图8d是示出接着图8c的工序的剖视图。
[0025]
图8e是示出接着图8d的工序的剖视图。
[0026]
图8f是示出接着图8e的工序的剖视图。
[0027]
图8g是示出接着图8f的工序的剖视图。
[0028]
图9是由图8e的虚线包围的区域的放大剖视图。
[0029]
图10是本发明的实施例的过滤滤除器的滤除器部的一部分的放大剖视图。
[0030]
图11是示意性示出本发明的实施例的过滤滤除器的滤除器部的一部分的各种角度及尺寸的放大剖视图。
具体实施方式
[0031]
(成为本发明的基础的见解)
[0032]
本发明人们为了抑制过滤对象物的干燥而进行了深入研究，其结果是，得到以下的见解。
[0033]
在使用过滤滤除器对包含过滤对象物的液体进行了过滤的情况下，过滤对象物在过滤滤除器上暴露于空气中。尤其在过滤对象物是细胞等生物体来源物质的情况下，若过滤对象物暴露于空气中而干燥，则可能引起过滤对象物紧贴于过滤滤除器而难以回收，或者过滤对象物的活性下降。
[0034]
对此，本发明人们进行了深入研究，其结果是发现，通过构成为在过滤滤除器的主面上设置积存液体的一部分的积液部且使在该主面上捕捉的过滤对象物浸入积存于积液部的液体而能够抑制过滤对象物的干燥。基于该新的见解，本发明人们作出以下的发明。
[0035]
本发明的一方式的过滤滤除器具有第一主面、与所述第一主面对置的第二主面、以及划定从所述第一主面贯穿至所述第二主面的多个贯通孔的滤除器基体部，通过所述滤除器基体部来捕捉液体所包含的过滤对象物，其中，
[0036]
在从所述第一主面剖切至所述第二主面使得通过彼此相邻的贯通孔的剖面中，在位于该彼此相邻的贯通孔之间的滤除器基体部的宽度方向的两端部设置有从所述第一主面突出的一对突起部，通过所述滤除器基体部的第一主面和所述一对突起部而构成积存所述液体的一部分的积液部。
[0037]
根据该结构，在捕捉过滤对象物的滤除器基体部构成积液部，因此，能够使过滤对象物浸入积存于积液部的液体，能够抑制过滤对象物的干燥。
[0038]
需要说明的是，也可以是，所述突起部构成为形成所述积液部的内表面倾斜或弯曲，使得随着从所述第一主面分离而增大所述积液部的外形。根据该结构，能够更加容易地在积液部积存液体。
[0039]
另外，也可以是，所述突起部构成为与形成所述积液部的内表面相反的一侧的外表面随着从所述第一主面分离而向该突起部相邻的贯通孔的内侧倾斜或弯曲。根据该结构，能够更进一步容易地在积液部积存液体。
[0040]
另外，也可以是，在从所述第一主面剖切至所述第二主面使得通过彼此相邻的贯
通孔的剖面中，连结所述一对突起部的内表面的顶部彼此的直线的长度比所述第二主面的长度长。根据该结构，能够更进一步容易地在积液部积存液体。
[0041]
另外，也可以是，所述突起部沿着该突起部相邻的贯通孔的外周部设置为环状。根据该结构，能够更进一步容易地在积液部积存液体。
[0042]
另外，也可以是，所述突起部在俯视下具有第一直线部、第二直线部、以及将所述第一直线部的一端部与所述第二直线部的一端部连接的角部，所述角部构成为距所述第一主面的高度比所述第一直线部及所述第二直线部低。根据该结构，例如，在过滤滤除器弯曲为在厚度方向凹陷时，能够缓和向角部施加的应力，能够抑制突起部破损。
[0043]
另外，也可以是，所述第二主面是平坦面。即便是这样的本质上平坦的滤除器，由于有意识地构成了积液部，因此，也能够使过滤对象物浸入积存于积液部的液体，能够抑制过滤对象物的干燥。
[0044]
另外，也可以是，所述过滤滤除器由金属制多孔膜构成，该金属制多孔膜过滤作为所述过滤对象物的生物来源物质。由于金属制多孔膜的热传导性高，因此，生物来源物质容易干燥。对此，根据该结构，因为有意识地构成了积液部，所以即便在由金属制多孔膜构成了过滤滤除器的情况下，也能够使生物来源物质浸入积存于积液部的液体，能够抑制生物来源物质的干燥。由此，能够在生存状态下更长时间地观察生物来源物质。
[0045]
另外，也可以是，从所述第一主面到所述突起部的顶部的高度为10nm以上且所述滤除器基体部的厚度的10倍以下。根据该结构，在过滤对象物为生物来源物质的情况下，能够抑制该生物来源物质的干燥，提高以生存状态回收该生物来源物质的回收率。
[0046]
另外，本发明的一方式的过滤方法包括如下工序：
[0047]
准备本发明的一方式的过滤滤除器；以及
[0048]
向所述第一主面供给包含所述过滤对象物的液体，通过所述积液部在捕捉所述过滤对象物的同时捕捉所述液体的一部分。
[0049]
根据该方法，向过滤滤除器的第一主面供给包含过滤对象物的液体，通过积液部在捕捉过滤对象物的同时捕捉液体的一部分，因此，能够使过滤对象物浸入积存于积液部的液体，能够抑制过滤对象物的干燥。
[0050]
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，在各图中，为了容易说明而夸张地示出了各要素。
[0051]
(实施方式)
[0052]
对本实施方式的过滤滤除器的结构进行说明。图1是本发明的实施方式的过滤滤除器的俯视图。图2是图1的过滤滤除器的局部放大剖视图。
[0053]
如图1所示，本实施方式的过滤滤除器1具备捕捉液体所包含的过滤对象物的滤除器部2、以及配置为包围滤除器部2的外周部的环状的框部3。
[0054]
在本实施方式中，“过滤对象物”是指液体所包含的对象物中的要被过滤的对象物。例如，过滤对象物可以是液体所包含的生物来源物质。“生物来源物质”是指细胞(真核生物)、细菌(真性细菌)、病毒等来源于生物的物质。作为细胞(真核生物)，例如包括人工多能干细胞(ips细胞)、es细胞、干细胞、间叶系干细胞、单核球细胞、单细胞、细胞块、悬浮细胞、粘附细胞、神经细胞、白血球、再生医学细胞、自体细胞、癌细胞、血液循环癌细胞(ctc)、hl-60、hela、菌类。作为细菌(真性细菌)，例如包括大肠菌、结核菌。
[0055]
如图2所示，滤除器部2是具有第一主面2a和与第一主面2a对置的第二主面2b的薄板状或膜状的构造体。在本实施方式中，滤除器部2由金属制多孔膜构成，该金属制多孔膜过滤作为过滤对象物的生物来源物质。在滤除器部2设置有从第一主面2a贯穿至第二主面2b的多个贯通孔21。滤除器部2具备划定多个贯通孔21的滤除器基体部22。当向第一主面2a供给包含过滤对象物的液体时，滤除器基体部22捕捉液体所包含的过滤对象物，液体通过多个贯通孔21而通过滤除器部2。
[0056]
滤除器部2的形状在从过滤滤除器1的厚度方向观察时例如为圆形、长方形、椭圆形。在本实施方式中，如图1所示，滤除器部2的形状为大致圆形。需要说明的是，在本说明书中，“大致圆形”是指长径的长度与短径的长度之比为1.0以上且1.2以下。框部3构成为保持滤除器部2的外周部，提高滤除器部2的机械强度。需要说明的是，并非必须要设置框部3。
[0057]
多个贯通孔21周期地配置在滤除器部2的第一主面2a及第二主面2b上。在本实施方式中，多个贯通孔21在滤除器部2中等间隔地设置为矩阵状。
[0058]
在本实施方式中，贯通孔21的形状在从滤除器部2的第一主面2a侧观察时为正方形。需要说明的是，贯通孔21的形状不限于正方形，例如也可以是长方形、圆形或椭圆等其他的形状。
[0059]
另外，在本实施方式中，如图2所示，沿滤除器部2的厚度方向剖切的剖面中的贯通孔21的形状(剖面形状)为梯形。具体而言，贯通孔21的剖面形状是短边位于第一主面2a侧且长边位于第二主面2b侧的梯形。梯形的斜边相对于第二主面2b的倾斜角度例如为80度。需要说明的是，贯通孔21的剖面形状不限于梯形，例如也可以是长方形。另外，贯通孔21的剖面形状可以是对称形状，也可以是非对称形状。
[0060]
另外，在本实施方式中，多个贯通孔21在从滤除器部2的第一主面2a侧观察时沿着与正方形的各边平行的两个排列方向等间隔地设置。即，多个贯通孔21设置为正方格子排列。根据该结构，能够提高过滤滤除器1的开口率，能够降低液体相对于过滤滤除器1的通过阻力。另外，能够缩短过滤的时间，降低对过滤对象物的应力。
[0061]
需要说明的是，多个贯通孔21的排列不限于正方格子排列，例如也可以是准周期排列或周期排列。作为周期排列的例子，如果为方形排列，则也可以是两个排列方向的间隔不相等的长方形排列，还可以为三角格子排列或正三角格子排列等。需要说明的是，在滤除器部2设置有多个贯通孔21即可，排列不受限定。
[0062]
多个贯通孔21的间隔根据过滤对象物的种类(大小、形态、性质、弹性)或者量而被适当设计。这里，贯通孔21的间隔是指从滤除器部2的第一主面2a侧观察贯通孔21时，任意的贯通孔21的中心与相邻的贯通孔21的中心的距离。在周期排列的构造体的情况下，贯通孔21的间隔例如比贯通孔21的一边的1倍大且为10倍以下，优选为贯通孔21的一边的3倍以下。另外，例如，滤除器部2的开口率为10％以上，优选为25％以上。根据该结构，能够降低液体相对于滤除器部2的通过阻力。其结果是，能够缩短处理时间，能够降低对过滤对象物的应力。需要说明的是，开口率通过(贯通孔21所占据的面积)/(假定为未开设贯通孔21时的第一主面2a的投影面积)来计算。
[0063]
滤除器部2的厚度t优选比贯通孔21的大小的0.1倍大且为100倍以下。更优选的是，滤除器部2的厚度t比贯通孔21的大小的0.5倍大且为10倍以下。根据该结构，能够降低过滤滤除器1对液体的阻力，能够缩短过滤的时间。其结果是，能够降低对过滤对象物的应
力。
[0064]
在滤除器部2中，包含过滤对象物的液体所接触的第一主面2a优选表面粗糙度较小。这里，表面粗糙度是指在第一主面2a的任意的五个部位处由触针式轮廓仪测定出的最大值与最小值之差的平均值。在本实施方式中，表面粗糙度优选小于过滤对象物的大小，更优选小于过滤对象物的大小的一半。换言之，滤除器部2的第一主面2a上的多个贯通孔21的开口形成在同一平面上。另外，滤除器部2中的未形成贯通孔21的部分即滤除器基体部22相连而形成为一体。根据该结构，能够降低过滤对象物向滤除器部2的第一主面2a的附着，降低液体的阻力。
[0065]
构成滤除器基体部22的材料以金属或金属氧化物作为主成分。滤除器基体部22例如可以是金、银、铜、铂、镍、钯、钛、它们的合金及它们的氧化物。
[0066]
另外，如图2所示，在从第一主面2a剖切至第二主面2b使得通过彼此相邻的贯通孔21的剖面(即，沿滤除器部2的厚度方向剖切的剖面)中，在位于该彼此相邻的贯通孔21之间的滤除器基体部22的宽度方向的两端部，设置有从第一主面2a突出的一对突起部22a、22b。在本实施方式中，如图3所示，由滤除器基体部22的第一主面2a和一对突起部22a、22b构成积存包含过滤对象物的液体23的一部分的积液部24。由于在捕捉过滤对象物的滤除器基体部22构成了积液部24，因此，能够使过滤对象物浸入积存于积液部24的液体23，能够抑制过滤对象物的干燥。
[0067]
突起部22a、22b构成为形成积液部24的内表面22aa、22ba倾斜或弯曲，使得随着从第一主面2a分离而增大积液部24的外形。根据该结构，能够容易使积液部24捕捉液体23，更加容易积存液体23。
[0068]
在本实施方式中，如图2所示，在从第一主面2a剖切至第二主面2b使得通过彼此相邻的贯通孔21的剖面中，构成为连结一对突起部22a、22b的内表面22aa、22ba的顶部彼此的直线sl的长度l1比第二主面2b的宽度方向的长度l2长。根据该结构，能够增大供给包含过滤对象物的液体23的一侧的积液部24的开口，增大液体23的表面张力，更进一步容易地在积液部24积存液体23。
[0069]
另外，在本实施方式中，突起部22a构成为与形成积液部24的内表面22aa相反的一侧的外表面22ab随着从第一主面2a分离而向突起部22a相邻的贯通孔21的内侧倾斜或弯曲。同样地，突起部22b构成为与形成积液部24的内表面22ba相反的一侧的外表面22bb随着从第一主面2a分离而向突起部22b相邻的贯通孔21的内侧倾斜或弯曲。根据该结构，能够增大供给包含过滤对象物的液体23的一侧的积液部24的开口，增大液体23的表面张力，更进一步容易地在积液部24积存液体23。
[0070]
图4是从第一主面2a侧观察滤除器部2的局部放大立体图。图5是将图4的一部分进一步放大来观察的立体图。
[0071]
如图4及图5所示，突起部22a沿着与该突起部22a相邻的贯通孔21的外周部而设置为环状。同样地，突起部22b沿着与该突起部22b相邻的贯通孔21的外周部而设置为环状。根据这种结构，能够抑制积存于积液部24的液体23通过贯通孔21而泄漏，能够更进一步容易地在积液部24积存液体。
[0072]
另外，突起部22a在俯视下具有第一直线部22ac、第二直线部22ad、以及将第一直线部22ac的一端部与第二直线部22ad的一端部连接的角部22ae。角部22ae构成为距第一主
面2a的高度比第一直线部22ac及第二直线部22ad低。换言之，角部22ae构成为使第一直线部22ac及第二直线部22ad的顶部的棱线凹陷。根据该结构，例如，在过滤滤除器1弯曲为在厚度方向凹陷时，能够缓和向角部22ae施加的应力，能够抑制突起部22a破损。
[0073]
同样地，突起部22b在俯视下具有第一直线部22bc、第二直线部22bd、以及将第一直线部22bc的一端部与第二直线部22bd的一端部连接的角部22be。角部22be构成为距第一主面2a的高度比第一直线部22bc及第二直线部22bd低。根据该结构，在过滤滤除器1弯曲时，能够缓和向角部22be施加的应力，能够抑制突起部22b破损。
[0074]
图6是从第二主面2b侧观察滤除器部2的局部放大立体图。图7是将图6的一部分进一步放大来观察的立体图。
[0075]
在本实施方式中，加工两个主面本质上平坦的滤除器，在一个主面有意识地构成积液部24。因此，如图6及图7所示，滤除器部2的第二主面2b成为平坦面。即，滤除器部2的第二主面2b构成为在载置于水平面时整个面与该水平面接触。即便是这样的本质上平坦的滤除器，通过有意识地构成积液部24，也能够使过滤对象物浸入积存于积液部24的液体23，能够抑制过滤对象物的干燥。
[0076]
在本实施方式中，如上所述，滤除器部2由金属制多孔膜构成，该金属制多孔膜过滤作为过滤对象物的生物来源物质。金属制多孔膜是两个主面本质上平坦的滤除器。另外，由于金属制多孔膜的热传导性高，因此，生物来源物质容易干燥。对此，在本实施方式中，由于在滤除器部2有意识地构成了积液部24，因此，即便在由金属制多孔膜构成过滤滤除器1的情况下，也能够使生物来源物质浸入积存于积液部24的液体，能够抑制生物来源物质的干燥。由此，能够在生存状态下更长时间地观察生物来源物质。
[0077]
另外，金属制多孔膜与树脂制多孔膜相比，能够高精度地制作贯通孔的尺寸、配置等。由此，通过由金属制多孔膜构成滤除器部2，能够提高过滤对象物的回收率。另外，即便在过滤对象物紧贴的情况下，金属制多孔膜与树脂制多孔膜相比，也能够比较容易地剥离过滤对象物。其结果是，在将紧贴于金属制多孔膜的过滤对象物剥离时，能够抑制过滤对象物损伤。
[0078]
接下来，对使用了本实施方式的过滤滤除器1的过滤方法进行说明。
[0079]
首先，准备具有使用图1～图7而说明的构造的过滤滤除器1。
[0080]
接下来，向第一主面2a供给包含过滤对象物的液体，如图3所示，由积液部24在捕捉过滤对象物的同时捕捉液体23的一部分。未被积液部24捕捉到的液体23通过多个贯通孔21而通过滤除器部2。
[0081]
此时，被积液部24捕捉到的过滤对象物浸入在液体23中。由此，抑制了过滤对象物的干燥。
[0082]
接下来，对本实施方式的过滤滤除器1的滤除器部2的制造方法的一例进行说明。图8a～图8g是示意性示出本实施方式的过滤滤除器1的滤除器部2的制造方法的一例的剖视图。图9是由图8e的虚线包围的区域的放大剖视图。
[0083]
首先，如图8a所示，准备基板41。
[0084]
接下来，如图8b所示，在基板41上形成溅射膜42。
[0085]
接下来，如图8c所示，在溅射膜42上形成抗蚀剂膜43。
[0086]
接下来，如图8d所示，对抗蚀剂膜43进行曝光、显影处理，去除与滤除器基体部22
对应的部分，形成抗蚀剂像43a。此时，如图9所示，将抗蚀剂像43a中的与滤除器基体部22对应的部分形成为锥状，使得随着从溅射膜42分离而外形变大。
[0087]
接下来，如图8e所示，从抗蚀剂像43a的上方蒸镀金属44。
[0088]
接下来，如图8f所示，将成为滤除器基体部22的金属44残留在溅射膜42上，将抗蚀剂像43a及蒸镀在抗蚀剂像43a上的金属44溶解及剥离。
[0089]
接下来，如图8g所示，对溅射膜42进行蚀刻而将其从基板41上去除，将成为滤除器基体部22的金属44从基板41分离。由此，能够制造过滤滤除器1的滤除器部2。
[0090]
(实施例)
[0091]
接下来，对实施例的过滤滤除器1的滤除器部2的制造方法进行说明。
[0092]
首先，如图8a所示，准备进行了表面清洗的硅基板作为基板41。
[0093]
接下来，如图8b所示，在基板41上形成了钛和铜这两层的膜作为溅射膜42。这里，钛的厚度为50nm。铜的厚度为500nm。
[0094]
接下来，如图8c所示，使用旋涂机在溅射膜42上涂敷感光性正型液体抗蚀剂，通过热板进行加热干燥而形成了抗蚀剂膜43。这里，旋涂机以转速1140rpm驱动了30秒钟。作为感光性正型液体抗蚀剂，使用了住友化学制pfi-37a。热板以温度90℃驱动了90秒钟。根据这样的条件，在溅射膜42上形成了厚度为2.0μm的抗蚀剂膜43。
[0095]
接下来，如图8d所示，作为曝光机而使用了i线步进机，并且作为显影机而使用了旋覆浸没式显影装置，对抗蚀剂膜43进行曝光、显影处理而形成了抗蚀剂像43a。这里，作为显影液，使用了tmah(四甲基氢氧化铵)。之后，进行了水洗、干燥处理。
[0096]
需要说明的是，当将曝光机的曝光量设为2200j/cm2以上且2450j/cm2以下时，如图9所示，能够将抗蚀剂像43a中的与滤除器基体部22对应的部分形成为所希望的锥状(例如，倾斜角度：10度)。另一方面，当将曝光机的曝光量设为2500j/cm2以上且3300j/cm2以下时，难以将抗蚀剂像43a中的与滤除器基体部22对应的部分形成为所希望的锥状。这被认为是，通过针对抗蚀剂膜43的曝光量变大，曝光光束的侵入深度变深，在抗蚀剂膜43的深度方向上难以带有曝光梯度。
[0097]
另外，当将曝光机的曝光焦点位置设为+0.5μm以上且+2.0μm以下时，如图9所示，能够将抗蚀剂像43a中的与滤除器基体部22对应的部分形成为所希望的锥状(例如，倾斜角度：10度)。另一方面，当将曝光机的曝光焦点位置设为-0.5μm以上且0.0μm以下时，难以将抗蚀剂像43a中的与滤除器基体部22对应的部分形成为所希望的锥状。这被认为是，通过使曝光焦点位置位于更靠近抗蚀剂膜43的位置，曝光光束的侵入深度变深，在抗蚀剂膜43的深度方向上难以带有曝光梯度。
[0098]
接下来，如图8e所示，从抗蚀剂像43a的上方作为金属44而蒸镀了钛。另外，此时，为了效率良好且均匀地将钛蒸镀到抗蚀剂像43a的锥状的倾斜面，使基板41相对于水平面倾斜30度，并且，一边以基板41的中心作为旋转中心而旋转一边进行了钛的蒸镀。这里，作为蒸镀机而使用了日本电子制真空蒸镀装置，在基板无加热下将钛蒸镀了0.5μm的厚度。成膜速度为基板41的旋转速度为5rpm以上且40rpm以下(具体而言30rpm)。成膜时间为16.7分。
[0099]
需要说明的是，在将基板41相对于水平面平行地配置且不使基板41旋转的情况下，钛沿着抗蚀剂像43a的锥状的倾斜面滑动，难以将钛效率良好且均匀地蒸镀到该倾斜
面。另外，在将抗蚀剂像43a的锥状的两个相邻的倾斜面连接的角部22ae、22be，与其他部分相比，钛容易沿着倾斜面滑动，距溅射膜42的高度变低。
[0100]
接下来，如图8f所示，使用能够进行高压喷雾处理的剥离装置，利用抗蚀剂剥离液nmp(n-甲基-2-吡咯烷酮)，将抗蚀剂像43a及蒸镀在抗蚀剂像43a上的金属44剥离。之后，利用ipa(异丙醇)清洗之后进行水洗处理并使其干燥。
[0101]
接下来，如图8g所示，使用蚀刻液，一边使搅拌器搅拌一边进行浸渍处理，对溅射膜42的铜进行蚀刻而将其去除，将成为滤除器基体部22的金属44从基板41分离。这里，作为蚀刻液而使用了乙酸过氧化氢水溶液(乙酸∶过氧化氢∶水＝5∶5∶90)。浸渍处理时间为12小时。
[0102]
通过这种方式，制造出实施例的过滤滤除器1的滤除器部2。需要说明的是，贯通孔21的第二主面2b侧的外形为10μm见方的正方形。另外，滤除器基体部22的第二主面2b侧的宽度方向的长度l2为4μm。滤除器部2的厚度(从第一主面2a到第二主面2b的长度)为0.5μm。
[0103]
接下来，针对通过电子显微镜观察上述实施例的过滤滤除器1的滤除器部2而得到的结果进行说明。
[0104]
在通过电子显微镜观察上述实施例的过滤滤除器1的滤除器部2时，如图10所示，存在突起部22a与突起部22b为非对称形状的部位。另外，在滤除器部2的任意的六个部位处测量了图11所示的各种角度及尺寸，得到以下的表1的结果。在表1中，“a1”示出突起部22a的外表面22ab相对于第一主面2a的倾斜角度。“a2”示出贯通孔21相对于第一主面2a的倾斜角度。“c1”示出突起部22a中的内表面22aa的顶部与外表面22ab的顶部之间的长度。“c2”示出突起部22a中的内表面22aa的基端部与外表面22ab的基端部之间的长度。“d”示出从第一主面2a到突起部22a的顶部的高度。“t”示出滤除器部2的厚度(滤除器基体部22的厚度)。
[0105]
[表1]
[0106][0107]
根据表1可知，不管“d”与“t”的长度关系如何，“a1”都小于90度，“a2”都比“a1”小，“c1”都比“c2”小。
[0108]
接下来，对制作使滤除器部2的厚度t及突起部22a的高度d不同的实施例1-8及比较例1的过滤滤除器并通过各过滤滤除器过滤了作为过滤对象物的生物来源物质即细胞而得到的实验结果进行说明。下述表2示出通过各过滤滤除器过滤了包括1
×
106个细胞的2ml的细胞悬浊液而得到的实验结果。
[0109]
[表2]
[0110][0111]
在表2中，“细胞捕捉率”是指残留于滤除器部的细胞数相对于投入到各过滤滤除器的细胞数的比例(残留细胞数/投入细胞数)。另外，“约3分钟后的全部细胞的回收率”是
指在从所述投入起约3分钟后，通过pbs(磷酸缓冲生理盐水)清洗而从滤除器部能够回收的细胞数相对于残留于滤除器部的细胞数的比例。另外，“约3分钟后的回收细胞的生存率”是指处于生存状态的细胞数相对于从所述滤除器部能够回收的细胞数的比例。另外，“生存细胞回收率”是指从所述滤除器部能够以生存状态回收的细胞数相对于残留于滤除器部的细胞数的比例。
[0112]
根据表2可知，在突起部的高度d为10nm以上的实施例1-8的过滤滤除器中，生存细胞回收率为1％以上。另一方面，在突起部的高度d为0nm的比较例的过滤滤除器中，生存细胞回收率为0％。由此，确认出通过将突起部的高度d设为10nm以上，能够抑制细胞的干燥，提高以生存状态回收该细胞的生存细胞回收率。
[0113]
另外，根据表2可知，在突起部的高度d为滤除器部的厚度t的10倍以下的实施例1-6的过滤滤除器中，生存细胞回收率为27％以上。另一方面，在突起部的高度d比滤除器部的厚度t的10倍大的实施例7、8的过滤滤除器中，生存细胞回收率在1～15％以下的范围内波动。这被认为是因为，在实施例7、8的过滤滤除器中，突起部的高度d相对于滤除器部的厚度t的比例较高，因此，难以稳定且均匀地形成突起部的高度d，在突起部产生了不良部位。由此，确认出通过将突起部的高度d设为滤除器部的厚度t的10倍以下，能够抑制细胞的干燥，提高以生存状态回收该细胞的生存细胞回收率。
[0114]
需要说明的是，本发明不限于所述实施方式，能够通过其他各种方式来实施。例如，在前述中，滤除器部2由金属制多孔膜构成，但本发明不限于此。滤除器部2是能够过滤液体所包含的过滤对象物的滤除器部即可。例如，滤除器部2也可以是隔膜等其他滤除器。另外，例如在作为滤除器部2而使用了热传导性低的硅制多孔膜或树脂制多孔膜的情况下，能够抑制积存于积液部24的液体23蒸发。其结果是，能够进一步抑制过滤对象物的干燥。
[0115]
参照附图并与优选的实施方式关联地充分记载了本发明，但对于本领域技术人员来说清楚各种变形、修正。这样的变形、修正只要不脱离由附带的权利要求书决定的本发明的范围，则应理解为包含在其中。
[0116]
产业上的可利用性
[0117]
本发明的过滤滤除器能够抑制过滤对象物的干燥，因此，尤其作为过滤细胞等生物体来源物质的过滤滤除器是有用的。
[0118]
附图标记说明：
[0119]1ꢀꢀꢀꢀꢀ
过滤滤除器；
[0120]2ꢀꢀꢀꢀꢀ
滤除器部；
[0121]
2a
ꢀꢀꢀꢀ
第一主面；
[0122]
2b
ꢀꢀꢀꢀ
第二主面；
[0123]3ꢀꢀꢀꢀꢀ
框部；
[0124]
21
ꢀꢀꢀꢀ
贯通孔；
[0125]
22
ꢀꢀꢀꢀ
滤除器基体部；
[0126]
22a、22b
ꢀꢀꢀꢀ
突起部；
[0127]
22aa、22ba内表面；
[0128]
22ab、22bb
ꢀꢀ
外表面；
[0129]
22ac、22bc
ꢀꢀ
第一直线部；
[0130]
22ad、22bd
ꢀꢀ
第二直线部；
[0131]
22ae、22be
ꢀꢀ
角部；
[0132]
23
ꢀꢀꢀꢀ
液体；
[0133]
24
ꢀꢀꢀꢀ
积液部；
[0134]
41
ꢀꢀꢀꢀ
基板；
[0135]
42
ꢀꢀꢀꢀ
溅射膜；
[0136]
43
ꢀꢀꢀꢀ
抗蚀剂膜；
[0137]
43a
ꢀꢀꢀ
抗蚀剂像；
[0138]
44
ꢀꢀꢀꢀ
金属。