喷嘴附着物除去装置和喷嘴附着物除去方法与流程

本发明涉及一种用于除去附着于喷嘴的附着物的喷嘴附着物除去装置和喷嘴附着物除去方法。

背景技术：

例如，在日本发明专利公开公报特开2007-216191号中公开了如下技术：对于喷射具有粘性的液体涂布材料的喷嘴，在使用该喷嘴后，将喷嘴的顶端插入形成于块体(block)的倒圆锥状的锥部，并向喷嘴的顶端吹送压缩空气，据此将附着于喷嘴的涂布材料吹落。

技术实现要素：

然而，在喷嘴和压缩空气的排出口之间的间隙较大的情况下，为了除去附着于喷嘴的顶端的涂布材料，必须使用供给压力大的空气供给源。其结果，会导致装置大型化。

本发明是考虑到这样的技术问题而提出的，其目的在于提供一种能够不使装置大型化而除去喷嘴的附着物的喷嘴附着物除去装置和喷嘴附着物除去方法。

本发明的技术方案涉及一种用于除去附着于喷嘴的附着物的喷嘴附着物除去装置和喷嘴附着物除去方法。

所述喷嘴附着物除去装置具有喷嘴插入部件、流体供给源和负压产生机构。所述喷嘴插入部件在与所述喷嘴相向的一表面侧，具有锥部和通孔，在所述喷嘴的顶端侧被插入到所述锥部时，在所述喷嘴和所述锥部之间形成有与所述通孔连通的间隙，其中，所述锥部与该喷嘴对应而随着从所述一表面侧朝向另一表面侧而缩径；所述通孔形成于所述锥部的小径部分和所述另一表面之间。所述负压产生机构具有排出孔和流体供给孔，通过使从所述流体供给源供给的流体从所述流体供给孔经由所述排出孔的另一端排出到外部，而产生从所述锥部经由所述通孔而朝向所述排出孔的负压的流动，其中，所述排出孔的一端与所述通孔连通，其另一端与外部连通；所述流体供给孔使所述排出孔和所述流体供给源连通。

所述喷嘴附着物除去方法具有：对于具有一端与喷嘴插入部件的通孔连通的排出孔和与该排出孔连通的流体供给孔的负压产生机构，通过从流体供给源经由所述流体供给孔向所述排出孔供给流体，并使该流体经由所述排出孔的另一端排出到外部，而产生从所述通孔朝向所述排出孔的负压的流动的步骤；和在所述喷嘴插入部件具有锥部和所述通孔的情况下，通过将所述喷嘴的顶端侧插入到所述锥部，而在所述喷嘴和所述锥部之间形成与所述通孔连通的间隙的步骤，其中，所述锥部随着从该喷嘴插入部件的一表面侧朝向另一表面侧而缩径；所述通孔形成于所述锥部与所述另一表面之间。

根据本发明，在由流体供给源向流体供给孔供给流体时，产生从锥部经由通孔朝向排出孔的负压的流动。当在该状态下，将喷嘴的顶端侧插入到锥部时，在喷嘴的顶端侧和锥部之间形成与喷嘴的顶端侧的形状相适配的间隙。

据此，通过从流体供给源供给适当的流体，能够通过负压效果(整流效果)抽吸喷嘴的附着物，从而清扫喷嘴的顶端侧。另外，通过调整间隙，能够使负压的流速变大，从而获得更好的负压效果。并且，如果在产生负压后，将喷嘴的顶端侧逐步插入到锥部，则负压在间隙中的流速容易上升，因此能够获得更大的附着物的除去效果。

特别是，对于涂布具有粘性的涂布材料的喷嘴而言，在使用喷嘴后，能够高效地抽吸附着于该喷嘴的涂布材料(附着物)，从而在短时间内清扫该喷嘴。另外，也不需要进行使用海绵(sponge)等来擦拭喷嘴的附着物的作业。

这样，在本发明中，能够不使装置大型化而高效地(经济地)除去喷嘴的附着物。

上述目的、特征和优点通过参照附图所说明的以下实施方式的说明能够易于理解。

附图说明

图1是示意性地图示本实施方式所涉及的喷嘴附着物除去装置的结构图。

图2是表示图1的喷嘴附着物除去装置的动作(喷嘴附着物除去方法)的流程图。

图3是图示图1的喷嘴附着物除去装置的具体结构的结构图。

图4是从喷嘴侧观察图3的喷嘴插入部件的俯视图。

图5是第一变形例的结构图。

图6是第二变形例的结构图。

图7是第二变形例的结构图。

具体实施方式

下面，以优选的实施方式为例，一边参照附图一边对本发明所涉及的喷嘴附着物除去装置和喷嘴附着物除去方法进行说明。

[1.本实施方式的结构]

如图1所示，本实施方式所涉及的喷嘴附着物除去装置10是用于除去附着于喷嘴12的附着物14的装置。在此，在说明喷嘴附着物除去装置10之前，对喷嘴12进行说明。

<1.1喷嘴12的概要>

喷嘴12被安装于机器人16的臂部的顶端。机器人16按照来自控制器18的指示而动作。喷嘴12以面向未图示的工件的状态，从形成于顶端部12a的开口部向工件喷射具有粘性的液状粘接剂，由此将该粘接剂涂布于工件。在进行从喷嘴12向工件喷射粘接剂的粘接剂的涂布作业之后，液状的粘接剂或该粘接剂的固化物作为附着物14而附着在喷嘴12的顶端部12a的周围(喷嘴12的顶端侧)。

<1.2喷嘴附着物除去装置10的概略结构>

本实施方式所涉及的喷嘴附着物除去装置10为用于将附着于喷嘴12的顶端部12a的附着物14除去的装置，如图1的示意图所示，其具有前述的控制器18、喷嘴插入部件20、空气供给源22(流体供给源)、负压产生机构24和托盘26。

喷嘴插入部件20为形成有可将喷嘴12的顶端部12a插入的锥部28的研钵状的块体。即，锥部28在与喷嘴12相向的喷嘴插入部件20的一表面20a(a1方向的表面)侧，具有与该喷嘴12的顶端部12a的形状对应而从一表面20a侧随着朝向喷嘴插入部件20的另一表面20b(a2方向的表面)侧而缩径的形状。因此，锥部28的一表面20a侧为大径部分28a，锥部28的另一表面20b侧为小径部分28b。

另外，在喷嘴插入部件20中，于锥部28的小径部分28b和另一表面20b之间，通孔30沿a方向形成。如图1所示，在通过机器人16的动作将喷嘴12的顶端部12a插入到锥部28时，在喷嘴12的顶端部12a和锥部28之间形成有与通孔30连通的间隙32。

空气供给源22通过来自控制器18的控制，向负压产生机构24供给压缩空气(流体)。

负压产生机构24为筒状的机构，且具有沿a方向形成的排出孔34和空气供给孔36(流体供给孔)，其中，排出孔34的一端34a与通孔30连通，其另一端34b与外部连通；空气供给孔36(流体供给孔)使排出孔34与空气供给源22连通。

在空气供给源22经由空气供给孔36向排出孔34供给压缩空气的情况下，被供给的压缩空气在排出孔34内向a2方向流动，并经由排出孔34的另一端34b被排出到外部。据此，产生从锥部28经由通孔30而朝向排出孔34的负压的流动。在这种情况下，如果喷嘴12的顶端部12a被插入到锥部28，则附着于喷嘴12的顶端部12a的附着物14利用间隙32中的负压的流动，被从喷嘴12的顶端部12a剥离，并从该间隙32经由通孔30被抽吸到排出孔34。托盘26回收与压缩空气一起从排出孔34的另一端34b排出到外部的附着物14。

此外，在后面对负压产生机构24中的负压产生机构的具体结构进行叙述。但实际上，为了产生负压的流动，例如如图1的纸面上所示，在排出孔34内产生朝向斜下方的压缩空气的流动即可。据此，产生从锥部28经由通孔30而到达排出孔34的负压的流动。另外，在本实施方式中，能够除去附着于包括喷嘴12的顶端部12a在内的该喷嘴12的顶端侧(喷嘴12的顶端部12a的周边)的附着物14。因此，锥部28可以是与喷嘴12的顶端侧相适配的形状。

[2.本实施方式的动作]

接着，一边参照图2一边对本实施方式所涉及的喷嘴附着物除去装置10的动作(喷嘴附着物除去方法)进行说明。此外，在该动作说明中，根据需要，一边参照图1一边进行说明。

当结束了从喷嘴12向工件涂布粘接剂的粘接剂的涂布作业时，在喷嘴12的顶端部12a上附着有液状的粘接剂或作为该粘接剂的固化物的附着物14。因此，在步骤s1中，控制器18通过驱动空气供给源22，从该空气供给源22经由空气供给孔36向排出孔34供给压缩空气。被供给的压缩空气朝向a2方向，从排出孔34的另一端34b被排出到外部。据此，锥部28、通孔30和排出孔34中的空气被向a2方向流动的压缩空气推动而向a2方向移动。其结果，在锥部28、通孔30和排出孔34中产生向a2方向的负压的流动。

在步骤s2中，控制器18使机器人16动作，使喷嘴12的顶端部12a逐步插入到喷嘴插入部件20的锥部28。据此，在喷嘴12的顶端部12a与锥部28之间形成间隙32，且该间隙32与通孔30连通。在该情况下，由于已经产生负压的流动，因此间隙32的间隔越小，负压的流速越快上升。

在步骤s3中，利用在间隙32中产生的负压的流动，来剥离附着于喷嘴12的顶端部12a的附着物14。在步骤s4中，被剥离的附着物14沿着负压的流动，从间隙32经由通孔30被抽吸到排出孔34。被抽吸的附着物14在排出孔34中朝向a2方向流动，并从排出孔34的另一端34b被排出到外部。被排出的附着物14由托盘26回收。

此外，在步骤s3、s4中，优选随着附着物14从喷嘴12的顶端部12a的剥离，将喷嘴12的顶端部12a进一步插入到锥部28，使间隙32的间隔保持固定。即，如果附着物14从喷嘴12的顶端部12a剥离，则间隙32的间隔变大，负压的流速下降。因此，通过将间隙32的间隔调整为固定，由此保持负压的流速。

在已经从喷嘴12的顶端部12a除去了附着物14的情况下，在步骤s5中，控制器18停止驱动空气供给源22。据此，停止从空气供给源22经由空气供给孔36向排出孔34供给压缩空气，负压的流动消失，停止附着物14的抽吸动作。

在步骤s6中，控制器18使机器人16动作，来从喷嘴插入部件20的锥部28中取出喷嘴12的顶端部12a。据此，从喷嘴12除去附着物14的清扫作业结束，该喷嘴12能够适当地执行对工件的粘接剂的涂布作业。

[3.具体例]

接着，一边参照图3和图4，一边对在图1中示意性地说明的喷嘴附着物除去装置10的具体例进行说明。在此，图示喷嘴附着物除去装置10中的喷嘴插入部件20和负压产生机构24的具体例。

喷嘴插入部件20朝向a2方向包括：具有锥部28的树脂制(例如，ptfe:polytetrafluoroethylene)的块体40、作为金属制的薄板的金属板(plate)42和截面呈大致t字状的金属制的支架(bracket)44。

在块体40的中央部形成有锥部28。在锥部28的小径部分28b上形成有在块体40的a2方向的底面开口的孔46。另外，如图4所示，在从喷嘴12进行观察的俯视图中，在锥部28的壁面48上，多个槽部50从孔46(小径部分28b)朝向大径部分28a呈放射状延伸。在图4中，图示有以孔46为中心，8个槽部50以大致45°间隔呈放射状延伸的情况。

此外，在锥部28的壁面48上形成至少一个槽部50即可。另外，锥部28的壁面48形成为落座部52，在喷嘴12的顶端部12a被插入到锥部28时，该喷嘴12的顶端部12a的一部分落座于该落座部52上。因此，在喷嘴12的顶端部12a落座于落座部52的情况下，喷嘴12的顶端部12a的外周面和槽部50之间形成有与孔46连通的间隙32。

金属板42被夹持于块体40与支架44之间。在金属板42的中央部形成有与块体40的孔连通的孔54。

支架44具有主体部44a和凸缘部44b，其中，主体部44a沿a方向延伸；凸缘部44b被设置于主体部44a在a1方向上的端部。凸缘部44b与块体40一起夹持金属板42。在主体部44a上，沿a方向形成有连通孔56，该连通孔56与金属板42的孔54连通，并且其直径比块体40的孔46和金属板42的孔54的直径大。

并且，由块体40的孔46、金属板42的孔54和支架44的连通孔56构成上述的通孔30。此外，利用螺纹部件58使块体40隔着金属板42被紧固于支架44。

负压产生机构24在图3的侧视观察时，构成为大致呈t字状的管道部件。在负压产生机构24的内部形成有排出孔34和空气供给孔36，其中，排出孔34沿a方向延伸且与支架44的连通孔56连通；空气供给孔36使排出孔34和空气供给源22连通。

在负压产生机构24中，于排出孔34与空气供给孔36的连结部位57上配设有筒状部件59。筒状部件59以从排出孔34的一端34a侧向连结部位57突出的方式被设置于该排出孔34。筒状部件59具有使排出孔34的一端34a侧和另一端34b侧连通的连通孔59a。另外，筒状部件59的a1方向侧的基端部分59b被固定于负压产生机构24的内周面。并且，在筒状部件59中，向连结部位57突出的a2方向侧的顶端部分的外周面59c形成为随着朝向a2方向侧而缩径的锥状。此外，为了配设筒状部件59，连结部位57作为在径向上比排出孔34大的空腔部分而形成于负压产生机构24内。

另一方面，空气供给孔36以面向筒状部件59的外周面59c的方式在连结部位57处与排出孔34连通。在该情况下，从空气供给孔36观察，筒状部件59被配设为堵塞连结部位57和排出孔34的一端34a侧。另外，如图3的纸面上所示，筒状部件59的外周面59c随着从空气供给孔36朝向排出孔34的另一端34b而向斜下方倾斜。

在该具体例中，也能够按照图2的流程图进行适当地除去附着在喷嘴12的顶端部12a上的附着物14的清扫作业。即，在步骤s1中，在从空气供给源22经由空气供给孔36向连结部位57供给压缩空气的情况下，该压缩空气如图3中的箭头所示，沿着筒状部件59的外周面59c朝向排出孔34的另一端34b流动。

据此，连通孔59a的空气被向a2方向流动的压缩空气推动，而向a2方向移动。其结果，排出孔34的一端34a侧、通孔30和锥部28的空气也向a2方向移动，从而产生负压的流动。

在步骤s2中，如果将喷嘴12的顶端部12a逐步插入锥部28，则在各槽部50与喷嘴12的顶端部12a之间分别形成间隙32。在该情况下，各间隙32的间隔越小，负压的流速上升越快。

并且，由于多个间隙32由多个槽部50形成，因此即使喷嘴12的顶端部12a落座于锥部28的落座部52，也能够通过该各槽部50保持空气的流动(负压的流动)。据此，通过调整槽部50的大小，能够容易地控制负压的流速。因此，如果增大负压的流速，则能够利用更大的负压效果，来从喷嘴12的顶端部12a剥离、抽吸附着物14(步骤s3、步骤s4)。

此外，多个槽部50以规定的角度间隔设置。因此，控制器18通过使机器人16动作，而使喷嘴12绕轴旋转，能够可靠地剥离、抽吸附着在喷嘴12的顶端部12a的外周面上的附着物14。

[4.变形例]

接着，边参照图5～图7，边对本实施方式所涉及的喷嘴附着物除去装置10的变形例(第一变形例、第二变形例)进行说明。

[4.1第一变形例]

在图5所示的第一变形例中，设置有另一空气供给源60和与该另一空气供给源60连接的空气喷射喷嘴(airblownozzle)62(流体供给机构)。

并且，在第一变形例中，在图2的步骤s2之后，处理进入步骤s7，控制器18驱动另一空气供给源60，从而开始从另一空气供给源60向空气喷射喷嘴62供给压缩空气。空气喷射喷嘴62被配置于锥部28的大径部分28a的附近，使从另一空气供给源60供给的压缩空气从锥部28的大径部分28a经由间隙32向通孔30喷射(供给)。

据此，在步骤s3中，附着于喷嘴12的顶端部12a的附着物14通过负压的流动和从空气喷射喷嘴62喷射的压缩空气被可靠地剥离。其结果，在步骤s4中，被剥离的附着物14从通孔30被抽吸到排出孔34，并从排出孔34的另一端34b被回收到托盘26。在此之后，在步骤s5中，控制器18停止另一空气供给源60的驱动，并停止从空气喷射喷嘴62喷射压缩空气。

然而，由于喷嘴12的附着物14的除去作业(清扫作业)，有时被从喷嘴12的顶端部12a剥离的附着物14的一部分附着于锥部28。因此，在步骤s6之后的步骤s8中，控制器18再次驱动另一空气供给源60，而再次开始从空气喷射喷嘴62向锥部28的大径部分28a供给压缩空气。据此，附着于锥部28的附着物14通过从空气喷射喷嘴62喷射的压缩空气而从锥部28剥离，并从通孔30经由排出孔34被回收到托盘26中。

此外，在步骤s8中，控制器18也可以再次驱动空气供给源22，产生负压的流动，从而利用来自空气喷射喷嘴62的压缩空气的供给和负压效果，来除去附着于锥部28的附着物14。或者，在步骤s8中，控制器18也可以仅再次驱动空气供给源22，利用负压效果来除去附着于锥部28的附着物14。

并且，在第一变形例中，通过执行步骤s7，即使在步骤s3、s4的附着物14的除去过程中，也能从空气喷射喷嘴62向锥部28供给压缩空气。据此，能够与从喷嘴12除去附着物14一起，也同时进行除去附着于锥部28的附着物14的作业。

<4.2第二变形例>

在图1～图5中，对通过使机器人16动作，来将喷嘴12的顶端部12a插入锥部28的情况进行了说明。在第二变形例中示出了如下例子，即在将被安装于机器人16的喷嘴12配置于固定位置(喷嘴12进行涂布作业的位置)的情况下，通过使喷嘴附着物除去装置10移动，来用锥部28包围喷嘴12的顶端部12a，据此除去喷嘴12的顶端部12a的附着物14。在图6中，图示了喷嘴12被大致水平地配置的情况。

在第二变形例中，也能够与图1～图5的情况同样地进行附着物14的除去作业(清扫作业)。此外，在第二变形例中，与喷嘴12的配置相适配而将喷嘴插入部件20和负压产生机构24配置于水平方向上，因此，应留意托盘26回收从沿水平方向延伸的排出孔34的另一端34b排出到外部的附着物14。

另外，在第二变形例中，如图7所示，在图2的步骤s8中，可以在使喷嘴插入部件20和负压产生机构24沿上下方向配置的状态下，除去附着于锥部28的附着物14。

[5.本实施方式的效果]

如上所述，本实施方式所涉及的喷嘴附着物除去装置10具有喷嘴插入部件20、空气供给源22(流体供给源)和负压产生机构24。喷嘴插入部件20在与喷嘴12相向的一表面20a侧，具有锥部28和通孔30，在喷嘴12的顶端部12a(喷嘴12的顶端侧)被插入到锥部28时，在喷嘴12和锥部28之间形成与通孔30连通的间隙32，其中，锥部28与该喷嘴12对应而随着从一表面20a侧向另一表面20b侧而缩径；通孔30形成于锥部28的小径部分28b和另一表面20b之间。负压产生机构24具有排出孔34和空气供给孔36(流体供给孔)，通过使从空气供给源22供给的压缩空气(流体)从空气供给孔36经由排出孔34的另一端34b排出到外部，据此产生从锥部28经由通孔30朝向排出孔34的负压的流动，其中，排出孔34的一端34a与通孔30连通，其另一端34b与外部连通；空气供给孔36使排出孔34与空气供给源22连通。

另外，本实施方式所涉及的喷嘴附着物除去方法具有：对于具有一端34a与喷嘴插入部件20的通孔30连通的排出孔34和与该排出孔34连通的空气供给孔36的负压产生机构24，通过从空气供给源22经由空气供给孔36向排出孔34供给压缩空气，并使该压缩空气经由排出孔34的另一端34b排出到外部，据此产生从通孔30朝向排出孔34的负压的流动的步骤(步骤s1)；和在喷嘴插入部件20具有锥部28和通孔30的情况下，使喷嘴12的顶端部12a插入锥部28，据此在喷嘴12和锥部28之间形成有与通孔30连通的间隙32的步骤(步骤s2)，其中，锥部28随着从该喷嘴插入部件20的一表面20a侧向另一表面20b侧而缩径，通孔30形成于锥部28和另一表面20b之间。

如此，当从空气供给源22向空气供给孔36供给压缩空气时，产生从锥部28经由通孔30朝向排出孔34的负压的流动。当在该状态下将喷嘴12的顶端部12a插入锥部28时，在喷嘴12的顶端部12a和锥部28之间形成与喷嘴12的顶端部12a的形状相适配的间隙32。

据此，通过从空气供给源22供给适当的压缩空气，能够利用负压效果(整流效果)抽吸喷嘴12的附着物14，从而清扫喷嘴12。另外，通过调整间隙32，负压的流速增大，从而能够得到更大的负压效果。并且，如果在产生负压后将喷嘴12的顶端部12a逐步插入锥部28，则间隙32中的负压的流速容易提高，因此能够获得更大的附着物14的除去效果。

特别是，对于将具有粘性的涂布材料(粘接剂)涂布于工件的喷嘴12而言，在使用喷嘴12后，能够高效地抽吸附着于该喷嘴12的涂布材料(附着物14)，从而在短时间内清扫该喷嘴12。另外，也不需要进行使用海绵等从喷嘴12擦拭附着物14的作业。如此，在本实施方式中，能够不使装置大型化而高效地(经济地)除去喷嘴12的附着物14。

另外，锥部28具有落座部52和至少一个槽部50，其中，落座部52是在喷嘴12的顶端部12a被插入到锥部28时，该喷嘴12的顶端部12a的一部分落座的锥部28的壁面48；至少一个槽部50形成于壁面48，与通孔30连通，且在喷嘴12的顶端部12a被插入到锥部28时形成间隙32。据此，即使喷嘴12的顶端部12a落座于落座部52，也能够通过槽部50来保持负压的流动。另外，能够容易地形成间隙32，并且通过改变槽部50的大小，能够容易地调整负压的流速。

并且，在从喷嘴12观察通孔30时，在锥部28的壁面48上，多个槽部50从通孔30呈放射状延伸。据此，能够一边使喷嘴12绕轴旋转，一边利用负压效果来可靠且高效地除去附着在喷嘴12的顶端部12a的外周面上的附着物14。

另外，喷嘴附着物除去装置10还具有从锥部28的大径部分28a向通孔30供给压缩空气(流体)的另一空气供给源60和空气喷射喷嘴62(流体供给机构)。据此，通过负压产生机构24的负压效果和从空气喷射喷嘴62喷射的压缩空气，能够更高效且可靠地除去喷嘴12的顶端部12a的附着物14。

而且，在喷嘴12的顶端部12a离开锥部28的情况下，如果空气喷射喷嘴62从锥部28的大径部分28a向通孔30供给压缩空气，或者空气供给源22从空气供给孔36向排出孔34供给流体，则能够在喷嘴12的附着物14的除去作业之后执行将附着于锥部28的附着物14除去的清扫作业。

另外，在喷嘴12的顶端部12a被插入到锥部28时，空气喷射喷嘴62通过从锥部28的大径部分28a向通孔30供给流体，能够更高效且可靠地除去喷嘴12的顶端部12a的附着物14。另外，也可以同时进行将来自喷嘴12的顶端部12a的附着物14和附着于锥部28的附着物14除去的作业。

并且，如果喷嘴插入部件20中的至少形成锥部28的部分由树脂制成，则能够避免作为附着物14的粘接剂紧贴在锥部28上，并且能够避免在进行附着物14的除去作业时损伤喷嘴12的顶端部12a。

另外，空气供给源22在喷嘴12的顶端部12a被插入到锥部28之前，开始从空气供给孔36向排出孔34供给压缩空气。据此，在喷嘴12的顶端部12a被逐步插入到锥部28时，伴随着间隙32的间隔缩小，能够容易地使间隙32中的负压的流速上升。据此，能够获得更大的附着物14的除去效果。

另外，负压产生机构24还具有筒状部件59，该筒状部件59被设置在排出孔34与空气供给孔36的连结部位57处，具有连通排出孔34的一端34a侧和另一端34b侧的连通孔59a，且其外周面59c随着从排出孔34的一端34a侧朝向另一端34b侧而缩径。空气供给孔36以面向筒状部件59的外周面59c的方式与排出孔34连通。

据此，如图3的纸面上所示，从空气供给源22经由空气供给孔36被供给到连结部位57的压缩空气沿着外周面59c向斜下方朝向排出孔34的另一端34b流动。据此，连通孔59a、排出孔34的一端34a侧、通孔30和锥部28的空气被压缩空气推动而朝向排出孔34的另一端34b侧流动。其结果，能够容易且高效地产生负压的流动。

此外，本发明不局限于上述实施方式，当然可以根据本说明书的记载内容而采用各种结构。