气相沉积炉废气过滤系统的制作方法

文档序号:27962935发布日期:2021-12-12 22:03阅读:来源:国知局

技术特征:
1.气相沉积炉废气过滤系统,其特征在于:包括废气桶(101)、进气孔(102)、排水口(103)和过滤板(201),废气桶(101)上设有进气孔(102),废气桶(101)上设有排水口(103),过滤板(201)滑动连接在废气桶(101)内,还包括搅拌扇(106),搅拌扇(106)转动连接在废气桶(101)内,还包括气孔(205),过滤板(201)上设有多个气孔(205),还包括过滤棉(202),多个过滤棉(202)粘接在过滤板(201)上,多个过滤棉(202)位于多个气孔(205)上。2.根据权利要求1所述的气相沉积炉废气过滤系统,其特征在于:还包括滑槽ⅰ(104)和提拉把手(203),废气桶(101)内设置有两个滑槽ⅰ(104),过滤板(201)滑动连接在两个滑槽ⅰ(104)上,过滤板(201)上设有提拉把手(203)。3.根据权利要求2所述的气相沉积炉废气过滤系统,其特征在于:还包括挡部(105)和配合凹槽(204),废气桶(101)内设置有两个挡部(105),过滤板(201)上设有两个配合凹槽(204),两个挡部(105)能够插入两个配合凹槽(204)内。4.根据权利要求3所述的气相沉积炉废气过滤系统,其特征在于:还包括控制阀(107),排水口(103)上设有控制阀(107)。5.根据权利要求4所述的气相沉积炉废气过滤系统,其特征在于:还包括清洁槽(301)和遮挡部(402),废气桶(101)上设有多个清洁槽(301),多个遮挡部(402)均滑动连接在废气桶(101)上,多个遮挡部(402)设置在多个清洁槽(301)对应位置。6.根据权利要求5所述的气相沉积炉废气过滤系统,其特征在于:还包括滑槽ⅱ(302)和弧形把手(401),废气桶(101)上设有多个滑槽ⅱ(302),弧形把手(401)固定连接在多个遮挡部(402)上。7.根据权利要求6所述的气相沉积炉废气过滤系统,其特征在于:还包括橡胶条(303),多个滑槽ⅱ(302)内分别设置有多个橡胶条(303)。

技术总结
本实用新型涉及气相炉设备技术领域,更具体的说是气相沉积炉废气过滤系统。本实用新型提供气相沉积炉废气过滤系统,其有益效果为可以实现对气相炉的废气进行处理,并对废气中的灰尘进行吸附。气相沉积炉废气过滤系统,包括废气桶、进气孔、排水口和过滤板,废气桶上设有进气孔,废气桶上设有排水口,过滤板滑动连接在废气桶内。气相沉积炉废气过滤系统还包括搅拌扇,搅拌扇转动连接在废气桶内。气相沉积炉废气过滤系统还包括气孔,过滤板上设有多个气孔。孔。孔。


技术研发人员:董家海
受保护的技术使用者:浙江诺华陶瓷有限公司
技术研发日:2021.07.06
技术公布日:2021/12/11
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