气相沉积炉废气过滤系统的制作方法

1.本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是气相沉积炉废气过滤系统。


背景技术：

2.申请号为cn202021046515.2公开的一种旋转式气相沉积炉的冷却装置，旋转式气相沉积炉呈中空的圆柱体，冷却装置包括热传导冷却机构和喷淋水冷却机构；热传导冷却机构包括多个均布于旋转式气相沉积炉外壁上的翅片；喷淋水冷却机构包括冷却筒，冷却筒包括圆筒以及与圆筒的两端部满焊连接的环形挡板i，旋转式气相沉积炉通过环形挡板i上的中心孔贯穿与其间隙配合的冷却筒，冷却筒的上部设有通过管路与储水池中的水泵连接的进水管，进水管上间隔设有多个喷头，冷却筒的下部竖直设有多个出水管，出水管远离冷却筒的一端与换热器管路连接后延伸至储水池中。该冷却装置将热传导冷却机构和喷淋水冷却机构相结合，提高了旋转式气相沉积炉的散热速度，实现了快速冷却。但是该专利无法实现对气相炉的废气进行处理，并对废气中的灰尘进行吸附。


技术实现要素：

3.本实用新型提供气相沉积炉废气过滤系统，其有益效果为可以实现对气相炉的废气进行处理，并对废气中的灰尘进行吸附。
4.气相沉积炉废气过滤系统，包括废气桶、进气孔、排水口和过滤板，废气桶上设有进气孔，废气桶上设有排水口，过滤板滑动连接在废气桶内。
5.气相沉积炉废气过滤系统还包括搅拌扇，搅拌扇转动连接在废气桶内。
6.气相沉积炉废气过滤系统还包括气孔，过滤板上设有多个气孔。
7.本实用新型气相沉积炉废气过滤系统的有益效果为：
8.本实用新型可以实现对气相炉的废气进行处理，并对废气中的灰尘进行吸附，并且本装置能够多次循环使用，同时本装置清洁难度小。
附图说明
9.下面结合附图和具体实施方法对本实用新型做进一步详细的说明。
10.图1为气相沉积炉废气过滤系统的整体结构示意图一；
11.图2为气相沉积炉废气过滤系统的整体结构示意图二；
12.图3为废气桶和搅拌扇的结构示意图；
13.图4为废气桶的结构示意图；
14.图5为过滤板的结构示意图一；
15.图6为过滤板的结构示意图二；
16.图7为遮挡部的结构示意图。
17.图中：废气桶101；进气孔102；排水口103；滑槽ⅰ104；挡部105；搅拌扇106；控制阀107；；过滤板201；过滤棉202；提拉把手203；配合凹槽204；气孔205；清洁槽301；滑槽ⅱ302；
橡胶条303；弧形把手401；遮挡部402。
具体实施方式
18.参看图1
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2，示出了按照本实用新型中气相沉积炉排出的废气进行过滤的实施例的示意图，进一步地，
19.由于进气孔102设置在废气桶101上，排水口103设置在废气桶101上，废气桶101内滑动连接有过滤板201，工作人员通过将气相沉积炉中排出的气体通过进气孔102排入废气桶101内，从而对使得滑动连接在废气桶101内的过滤板201对废气进行过滤，同时在废气桶101内位于过滤板201下方注入洁净水，从而使得洁净水对废气中的灰尘进行吸附，从而避免排出的废气中带有大量灰尘，从而对环境造成污染的情况出现，当对废气处理结束后，能够通过排水口103将带有灰尘的水排出，从而在将洁净水注入，便于进行下一次的灰尘吸附处理，从而实现装置的循环使用。
20.参看图1
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3，示出了按照本实用新型中避免灰尘沉积在废气桶101底部的实施例的示意图，进一步地，
21.由于废气桶101内转动连接有搅拌扇106，当气体从进气孔102进入到废气桶101内后，在废气进入废气桶101底部的洁净水的同时，气体会推动搅拌扇 106在废气桶101内转动，从而使得洁净水在对气体的灰尘进行吸附时，能够避免灰尘沉积在废气桶101底部，从而导致增大废气桶101内清洁难度，随着搅拌扇106的转动，使得灰尘会浮在水中，待排水口103打开时随水排出，从而能够在一定程度上降低废气桶101内的清洁难度。
22.参看图6，示出了按照本实用新型中气体通过过滤板201的实施例的示意图，进一步地，
23.由于多个气孔205设置在过滤板201上，当废气经过洁净水后，在废气桶 101内向上运动，当遇到过滤板201后，通过过滤板201上设置的多个气孔205，使得废气通过过滤板201，从而排出废气桶101。
24.参看图5，示出了按照本实用新型中进一步对废气进行过滤的实施例的示意图，进一步地，
25.由于过滤板201上通过可拆卸粘接有多个过滤棉202，多个过滤棉202与多个气孔205位于过滤板201上下两侧对应位置，当废气通过多个气孔205后，进入到多个过滤棉202内，从而使得多个过滤棉202对废气内的有害物质进行吸附，从而达到废气过滤的效果，同时由于多个过滤棉202是可拆卸粘接在过滤板201上，当多个过滤棉202达到最大吸附程度时，能够通过将多个过滤棉 202拆下进行更换，从而进一步实现本装置的循环使用效果。
26.参看图3
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6，示出了按照本实用新型中便于将多个过滤棉202拆下的实施例的示意图，进一步地，
27.由于两个滑槽ⅰ104设置在废气桶101内，两个滑槽ⅰ104上滑动连接有过滤板201，提拉把手203设置在过滤板201上，在需要对多个过滤棉202拆下进行更换时，工作人员通过提拉提拉把手203，从而使得过滤板201沿着两个滑槽ⅰ104向上滑动，从而将过滤板201从废气桶101内滑出，从而便于对多个过滤棉202进行拆下并且更换的操作。
28.参看图3、图6，示出了按照本实用新型中对过滤板201进行支撑的实施例的示意图，进一步地，
29.由于两个挡部105设在废气桶101内，两个配合凹槽204设在过滤板201 上，两个配合凹槽204内能够插入两个挡部105，工作人员将过滤板201沿着两个滑槽ⅰ104滑入废气桶101内至无法滑动时，此时两个挡部105插入两个配合凹槽204内，从而使得两个挡部105对过滤板201进行支撑。
30.参看图4，示出了按照本实用新型中控制排水口103的实施例的示意图，进一步地，
31.由于控制阀107设置在排水口103上，当需要排水时，拧开控制阀107从而使得水从排水口103处排出，当注入洁净水时，关闭控制阀107从而防止水从水从排水口103处排出。
32.参看图3、图7，示出了按照本实用新型中便于对废气桶101底部进行清洗的实施例的示意图，进一步地，
33.由于多个清洁槽301设置在废气桶101上，废气桶101上滑动连接有多个遮挡部402，多个清洁槽301与多个遮挡部402对应位置，在工作人员将过滤板 201从废气桶101内滑出后，能够观察到废气桶101底部是否需要进行清理，若需要进行清洁，则将多个遮挡部402滑开，从而通过多个清洁槽301处对废气桶101底部进行清洁，由于本装置使用在气体环境下，故在不需对废气桶101 底部进行清洁使应在多个遮挡部402外侧设置密封棉条，故不可轻易滑动多个遮挡部402对废气桶101底部是否需要清洁进行观察，通过上述方法能够保证在确有需要时滑动多个遮挡部402，从而在一定程度上减少对多个遮挡部402的密封次数，降低工作人员劳动强度。
34.参看图3、图7，示出了按照本实用新型中便于操作多个遮挡部402滑动的实施例的示意图，进一步地，
35.由于多个滑槽ⅱ302设置在废气桶101上，多个遮挡部402上固定连接有弧形把手401，当需要对多个遮挡部402进行滑动时，工作人员能够通过操作弧形把手401从而使得多个遮挡部402沿着多个滑槽ⅱ302进行滑动，从而便于操作多个遮挡部402滑动。
36.参看图3，示出了按照本实用新型中便于将多个遮挡部402滑起固定的实施例的示意图，进一步地，
37.由于多个橡胶条303分别设置在多个滑槽ⅱ302内，在工作人员将多个遮挡部402沿着多个滑槽ⅱ302进行滑动从而将多个清洁槽301漏出后，由于多个橡胶条303的设置，能够使得在撤去外力后多个遮挡部402固定在该位置，从而便于工作人员对废气桶101底部进行清洁。