装置中气体管路材质为1/8英寸EP级316L不锈钢管路。
[0049]优选地，所述产品气汇流排12中气体管路的数量为五个以上。
[0050]一种配制多瓶混合气的方法，步骤如下:
[0051]步骤一，管路连接:
[0052]I)将十个产品气瓶14分别接入产品气汇流排12上；
[0053]2)将组分气原料气瓶1-1置于电子天平2上，组分气原料气瓶1-1出气口通过减压阀3连接到原料气主管路10 ；
[0054]3)将稀释气原料气瓶1-2通过第二球阀4-2接入原料气主管路10 ；
[0055]步骤二，管路抽真空:
[0056]使针阀13、减压阀3和放空控制阀8处于关闭状态，第一球阀4-1、第二球阀4_2和高真空挡板阀5处于打开状态，打开真空泵7，对管路系统进行抽真空，当真空压力表6示值达到5Pa以下时，关闭真空泵7和高真空挡板阀5 ;
[0057]步骤三，管路气体置换:
[0058]使减压阀3、第一球阀4-1和第二球阀4-2处于打开状态，高真空挡板阀5、放空控制阀8和针阀13处于关闭状态，根据所需配制的混合气体，打开组分气原料气瓶1-1的瓶阀，充入第一种组分气原料气，观察精密压力表11示数到0.5MPa时，关闭组分气原料气瓶1-1的瓶阀、减压阀3、打开高真空挡板阀5，同时打开真空泵7，对管路系统进行抽真空，当真空压力表6示值达到5Pa以下时，关闭真空泵7和高真空挡板阀5 ;重复充气体抽真空三次；
[0059]步骤四，混合气体制备:
[0060]I)充入组分气:从管路中卸下组分气原料气瓶1-1，称量组分气原料气瓶1-1质量，并记录电子天平2的读数；按照步骤一将组分气原料气瓶1-1重新接入管路；使高真空挡板阀5、放空控制阀8和第二球阀4-2处于关闭状态，减压阀3、第一球阀4-1、针阀13和产品气瓶14的瓶阀处于打开状态；根据所需配制的混合气体，打开组分气原料气瓶1-1的瓶阀，充入第一种组分气原料气，同时观察电子天平2的读数，当气体充装量达到所需质量时，关闭组分气原料气瓶1-1的瓶阀和针阀13，系统稳定Imin后，将组分气原料气瓶1_1从管路中卸下，称量组分气原料气瓶1-ι的质量；根据所需组分气体质量，判断是否需要继续充入组分气体；组分气充装完毕后，关闭第一球阀4-1 ；
[0061]在充入组分气过程中，电子天平的读数会受到与气瓶连接的管路的影响，可能会因此产生误差，因此，在充气前和充气后，将原料气瓶从管路上拆下并进行称量，能够减小误差。
[0062]2)充入稀释气:打开稀释气原料气瓶1-2的瓶阀、第二球阀4-2和针阀13，充入稀释气原料气，最后观察精密压力表11的读数，当达到所需的充装压力时，关闭稀释气原料气瓶1-2的瓶阀、针阀13和产品气瓶14的瓶阀，完成配气过程。
[0063]步骤五，管路放空:
[0064]打开放空控制阀8，将残余气体排出。
[0065]本发明包括但不限于以上实施例，凡是在本发明精神的原则之下进行的任何等同替换或局部改进，都将视为在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种配制多瓶混合气的装置，其特征在于，所述装置包括稀释气原料气瓶(1-2)、组分气原料气瓶(1-1)、称量装置、减压阀(3)、第一球阀(4-1)、第二球阀(4-2)、高真空挡板阀(5)、真空压力表(6)、真空泵(7)、放空控制阀(8)、排空管路(9)、原料气主管路(10)、精密压力表(11)、产品气汇流排(12)、针阀(13)、产品气瓶(14);产品气汇流排(12)包含多支气体管路，针阀(13)和产品气瓶(14)的数量均与气体管路的数量相等； 其连接关系如下: 稀释气原料气瓶(1-2)和产品气汇流排(12)分别接入原料气主管路(10)的两端；组分气原料气瓶(ι-1)通过管路接入原料气主管路(10)，在组分气原料气瓶(1-1)和原料气主管路(10)之间的管路上依次设有减压阀(3)和第一球阀(4-1)，组分气原料气瓶(1-1)置于称量装置上；组分气原料气瓶(1-1)与原料气主管路(10)的接入点和稀释气原料气瓶(1-2)之间的管路上设有第二球阀(4-2);组分气原料气瓶(1-1)与原料气主管路(10)的接入点与产品气汇流排(12)之间的原料气主管路(10)上依次接入真空泵(7)和排空管路(9)，真空泵(7)与原料气主管路(10)之间的连接管路上依次设有真空压力表(6)和高真空挡板阀(5)，排空管路(9)上设有放空控制阀(8);产品气汇流排(12)上每支气体管路通过针阀(13)与产品气瓶(14)连接，产品气汇流排(12)上安装有精密压力表(11);气体管路与组分气原料气瓶(1-1)、稀释气原料气瓶(1-2)和产品气瓶(14)之间的管路连接均为柔性连接。2.根据权利要求1所述的一种配制多瓶混合气的装置，其特征在于，所述稀释气原料气瓶(1_2)米用气瓶集装格。3.根据权利要求1所述的一种配制多瓶混合气的装置，其特征在于，所述称量装置为高精度电子天平(2)，感量为10mg。4.根据权利要求1所述的一种配制多瓶混合气的装置，其特征在于，所述精密压力表(11)测量范围为0-16MPa，精度等级为0.25%。5.根据权利要求1所述的一种配制多瓶混合气的装置，其特征在于，所述高真空挡板阀(5)的阀体和阀座漏率彡1.3 X KT7Pa.L.S^106.根据权利要求1所述的一种配制多瓶混合气的装置，其特征在于，所述真空泵(7)为无油分子泵机组。7.根据权利要求1所述的一种配制多瓶混合气的装置，其特征在于，所述装置中气体管路材质为1/8英寸EP级316L不锈钢管路。8.根据权利要求1所述的一种配制多瓶混合气的装置，其特征在于，所述产品气汇流排(12)中气体管路的数量为五个以上。9.一种采用权利要求1所述配制多瓶混合气的装置的配制方法，其特征在于，所述方法步骤如下: 步骤一，管路连接: 1)将产品气瓶(14)分别接入产品气汇流排(12)上； 2)将组分气原料气瓶(1-1)置于电子天平(2)上，组分气原料气瓶(1-1)出气口通过减压阀(3)连接到原料气主管路(10)； 3)将稀释气原料气瓶(1-2)通过第二球阀(4-2)接入原料气主管路(10); 步骤二，管路抽真空: 使针阀(13)、减压阀(3)和放空控制阀(8)处于关闭状态，第一球阀(4-1)、第二球阀(4-2)和高真空挡板阀(5)处于打开状态，打开真空泵(7)，对管路系统进行抽真空，当真空压力表(6)示值达到5Pa以下时，关闭真空泵(7)和高真空挡板阀(5); 步骤三，管路气体置换: 使减压阀(3)、第一球阀(4-1)和第二球阀(4-2)处于打开状态，高真空挡板阀(5)、放空控制阀(8)和针阀(13)处于关闭状态，根据所需配制的混合气体，打开组分气原料气瓶(1-1)的瓶阀，充入第一种组分气原料气，观察精密压力表(11)示数到0.5MPa时，关闭组分气原料气瓶(1-1)的瓶阀、减压阀(3)、打开高真空挡板阀(5)，同时打开真空泵(7)，对管路系统进行抽真空，当真空压力表(6)示值达到5Pa以下时，关闭真空泵(7)和高真空挡板阀(5);重复充气体抽真空三次； 步骤四，混合气体制备: 1)充入组分气:从管路中卸下组分气原料气瓶(1-1)，称量组分气原料气瓶(ι-1)质量，并记录电子天平(2)的读数；按照步骤一将组分气原料气瓶(1-1)重新接入管路；使高真空挡板阀(5)、放空控制阀⑶和第二球阀(4-2)处于关闭状态，减压阀(3)、第一球阀(4-1)、针阀(13)和产品气瓶(14)的瓶阀处于打开状态；根据所需配制的混合气体，打开组分气原料气瓶(1-1)的瓶阀，充入第一种组分气原料气，同时观察电子天平(2)的读数，当气体充装量达到所需质量时，关闭组分气原料气瓶(1-1)的瓶阀和针阀(13)，系统稳定Imin后，将组分气原料气瓶(1-1)从管路中卸下，称量组分气原料气瓶(1-1)的质量；根据所需组分气体质量，判断是否需要继续充入组分气体；组分气充装完毕后，关闭第一球阀(4-1)； 2)充入稀释气:打开稀释气原料气瓶(1-2)的瓶阀、第二球阀(4-2)和针阀(13)，充入稀释气原料气，最后观察精密压力表(11)的读数，当达到所需的充装压力时，关闭稀释气原料气瓶(1-2)的瓶阀、针阀(13)和产品气瓶(14)的瓶阀，完成配气过程； 步骤五，管路放空: 打开放空控制阀(8)，将残余气体排出。
【专利摘要】本发明公开了一种配制多瓶混合气的装置与方法，属于混合气体的配气领域。所述装置包括稀释气原料气瓶、组分气原料气瓶、称量装置、减压阀、第一球阀、第二球阀、高真空挡板阀、真空压力表、真空泵、放空控制阀、排空管路、原料气主管路、精密压力表、产品气汇流排、针阀、产品气瓶；产品气汇流排包含多支气体管路，针阀和产品气瓶的数量均与气体管路的数量相等。所述方法步骤如下：步骤一，管路连接；步骤二，管路抽真空；步骤三，管路气体置换；步骤四，混合气体制备；步骤五，管路放空。采用本发明所述的装置及方法配制低浓度气体，减小了称量误差，提高了配气精度，配气速度快，适合批量生产，节约了配气成本。且装置简单，方法容易操作。
【IPC分类】B01F3/02, B01F13/06, B01F15/04
【公开号】CN104888635
【申请号】CN201510319163
【发明人】代伟娜, 刘晓林, 董云峰, 王峰, 刘保锋, 闫云, 黄国庆, 龙庆云, 苏玲燕
【申请人】中国船舶重工集团公司第七一八研究所
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年6月11日