过滤器滤材的制作方法
【技术领域】
[0001] 本申请要求日本国特愿2013 - 171609号的优先权并W引用的方式将其编入本申 请说明书的记载中。
[0002] 本发明设及一种用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的过滤器滤材，特别是设及一 种对包括用于捕集该颗粒的多孔质层和粘合于该多孔质层的基材层的滤材原材进行打桐 加工而成的过滤器滤材。
【背景技术】
[0003] W往，作为在制造半导体、液晶的工厂的洁净室等中使用的过滤器滤材，公知有一 种通过对构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材进行打桐加工而成的过滤 器滤材。该过滤器滤材包括：多个弯曲部，该多个弯曲部是通过将滤材原材在多处弯曲而形 成的；W及多个平板部，该多个平板部由滤材原材中的除了弯曲部W外的区域形成并W对 時的方式配置。
[0004] 另外，该过滤器滤材还包括多个间隔保持部，该多个间隔保持部用于保持相邻的 平板部之间的间隔同时将相邻的平板部相互间连结起来。该间隔保持部由多个肋化ead) 部形成，肋部是通过在滤材原材的两个面上空开间隔地涂敷粘接剂（热烙胶等）而形成的。 具体地讲，间隔保持部是通过将形成于相邻的两个平板部的肋部相互间连结起来而形成的 (参照专利文献1)。
[0005] 另外，作为构成所述那样的过滤器滤材的滤材原材，公知有一种将用于捕集被过 滤气体所含有的颗粒的多孔质层（例如由聚四氣乙締构成的材料等）和具有透气性的基材 层（例如无纺布等）粘合（例如热层压等）而成的滤材原材（参照专利文献2和专利文献 3)。
[0006] 专利文献1 :日本国特开平09 - 313856号公报
[0007] 专利文献2 :日本国特开2004 - 000990号公报 阳00引专利文献3 :日本国特开2009 - 101254号公报
[0009] 另外，有时所述那样的过滤器滤材被意外地向使平板部之间的间隔扩大那样的方 向（W下也记作拉长方向）拉长，在该情况下，形成于滤材原材的一个面侧的间隔保持部 (W下也记作一面侧间隔保持部）和形成于滤材原材的另一面侧的间隔保持部（W下也记 作另一面侧间隔保持部）沿着拉长方向被拉开。
[0010] 另外，即使在过滤器滤材本身没有被拉长的情况下，在形成间隔保持部的原材料 的收缩等影响下，有时一面侧间隔保持部和另一面侧间隔保持部也被沿着拉长方向拉开。
[0011] 在运些情况下，在过滤器滤材中的一面侧间隔保持部和另一面侧间隔保持部隔着 平板部重叠的部分（W下也记作间隔保持部重叠部）中，将多孔质层和基材层剥离那样的 力会施加于滤材原材。因此，在间隔保持部重叠部中，多孔质层和基材层有可能剥离而在多 孔质层与基材层之间形成空间（W下也记作剥离空间）。并且，运样的剥离空间成为导致过 滤器滤材的捕集效率降低的主要原因。
【发明内容】
发巧要解决的间颗
[0013] 因此，本发明的课题在于，提供一种能够通过防止在形成了过滤器滤材的状态下 在形成过滤器滤材的滤材原材中形成剥离空间、来防止因形成剥离空间而导致捕集效率降 低的过滤器滤材。
[0014] 用于解决间颗的方案
[0015] 本发明提供一种过滤器滤材，其是将滤材原材在多处弯曲而形成为皱葉状而成 的，该滤材原材包括用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的多孔质层和粘合于该多孔质层的 至少一个面的基材层，其特征在于，该过滤器滤材包括：多个弯曲部，该多个弯曲部是通过 将所述滤材原材弯曲而形成的；多个平板部，该多个平板部由滤材原材中的除了多个弯曲 部W外的区域形成并W对時的方式配置；W及多个间隔保持部，在滤材原材的一个面侧， 在各平板部之间形成有该间隔保持部，在滤材原材的另一面侧，在各平板部之间形成有该 间隔保持部，用于保持相邻的平板部之间的间隔同时将相邻的平板部相互间连结起来，形 成于所述滤材原材的一个面侧的各间隔保持部和形成于滤材原材的另一面侧的各间隔保 持部W隔着各平板部重叠的方式形成，使滤材原材中的多孔质层和基材层被剥离时的剥离 强度为0. 4NW上，并使被间隔保持部连结起来的各平板部相互间被分离时的分离强度为 0. 6N~3N。
[0016] 优选的是，形成于滤材原材的一个面侧的各间隔保持部和形成于滤材原材的另一 面侧的各间隔保持部中的隔着各平板部重叠的部分线性地排列。
【附图说明】
[0017] 图1是表示本实施方式的过滤器滤材的立体图。
[0018] 图2是表示本实施方式的过滤器滤材所使用的滤材原材的立体图和局部放大剖 视图。
[0019] 图3是利用与平板部交叉的面剖切该实施方式的过滤器滤材而成的剖视图。
[0020] 图4是利用沿着过滤器滤材的长度方向和宽度方向延伸的面剖切该实施方式的 过滤器滤材的间隔保持部重叠部而成的剖视图。
[0021] 图5是本实施方式的过滤器滤材的剖视图。
[0022] 图6是表示构成另一实施方式的过滤器滤材的滤材原材的立体图。
[0023] 图7是表示该实施方式的过滤器滤材的间隔保持部的剖视图。
【具体实施方式】
[0024] W下，参照图1~图4说明本发明的实施方式。另外，在W下的附图中，对相同或 者相当的部分标注相同的参照附图标记，不重复其说明。
[0025] 如图1所示，本实施方式的过滤器滤材1是通过将用于捕集被过滤气体所含有的 颗粒的滤材原材2在多处弯曲而形成为皱葉状而成（W下也记作打桐加工）的过滤器滤 材。另外，过滤器滤材1包括：多个弯曲部la,该多个弯曲部Ia是通过将滤材原材2沿着 一个方向弯曲而形成的；W及多个平板部化（具体地讲是弯曲部la、la之间的平板状的部 分），该多个平板部化由过滤器滤材的除了该弯曲部laW外的区域形成并W对時的方式配 置。另外，过滤器滤材1还包括多个间隔保持部3,该多个间隔保持部3用于保持相邻的平 板部化、化之间的间隔同时将相邻的平板部化、化相互间连结起来。
[0026] 间隔保持部3形成在滤材原材2的一个面侧的各平板部化和另一面侧的各平板 部化之间。另外，间隔保持部3是通过将涂敷在滤材原材2中的用于形成各平板部化的 区域的粘接剂（W下也记作肋部）3a在相邻的平板部化、化相互间连结起来而形成的。具 体地讲，肋部3aW与滤材原材2中的用于形成各弯曲部Ia的区域相交叉的方式呈线状形 成于该区域的峰侧面。然后，通过在相邻的平板部化、化之间将肋部3a、3a相互间连结起 来而形成间隔保持部3。作为构成肋部3a的粘接剂，并没有特别的限定，例如，能够使用热 烙化等。
[0027] 如图2所示，所述滤材原材2在进行打桐加工之前的状态下形成为与一个方向正 交的另一个方向为长度方向。也就是说，在本实施方式中，滤材原材2的一个方向相当于滤 材原材2的宽度方向。另外，滤材原材2既可W构成为通过自形成为长条状且被卷起的状 态放卷而成为片状，也可W是形成为规定长度的单片体状。
[0028] 另外，滤材原材2包括用于捕集包含在被过滤气体所含有的颗粒的多孔质层2a、 和层叠于该多孔质层2a的至少一个面侧的基材层2b。在本实施方式中，将具有透气性的基 材层化粘合于多孔质层2a的一个面而形成滤材原材2。
[0029] 使用能够捕集所述颗粒的多孔质的片材（W下也记作多孔质片）来形成所述多孔 质层2a。作为该多孔质片，并没有特别的限定，能够根据过滤器滤材1的用途而适当选择， 作为该多孔质片，可列举出例如将聚四氣乙締（PTF巧形成为片状而成的PTFE片。作为形 成该PTFE片的方法，可列举出例如下述方法。