加热干燥装置的制造方法
【专利摘要】提供加热干燥装置，对于搬送路径上的基板，也能够以抑制形成在基板上的涂布膜产生干燥不匀的方式进行干燥。该加热干燥装置在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬送路径上对基板进行加热干燥，其具有：加热器部，其对基板上的涂布膜进行加热；腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态；以及排气部，其对腔室部内进行排气，在腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动板上的基板接近而与基板整个面相对，排气部构成为一边通过从排气口对腔室部内进行排气而将腔室部内形成为减压状态，一边通过使加热器部进行加热而使基板上的涂布膜干燥。
【专利说明】
加热干燥装置
技术领域
[0001]本发明涉及加热干燥装置，对于一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送路径上的基板，使形成在基板上的涂布膜干燥。【背景技术】
[0002]在液晶显示器或等离子显示器等平板面板显示器中，使用在基板上涂布有抗蚀液的基板(称为涂布基板)。该涂布基板是在借助涂布装置将抗蚀液均匀地涂布在基板上而形成涂布膜之后借助基板搬送装置而被搬送、并借助干燥装置将涂布膜干燥而生产的。通常， 干燥装置与基板搬送装置分体地设置，通过利用机械手等将基板搬入干燥装置并保持规定的时间而将基板上的涂布膜干燥。该干燥装置通常使用减压干燥装置，使腔室内呈真空状态而使基板上的涂布膜干燥，由此能够以抑制在涂布膜上产生干燥不匀的方式进行干燥。
[0003]近年来，为了提高生产节拍，研究在基板搬送路径上使涂布膜干燥的方案。具体而言，开发出如专利文献1所示、在利用超声波振动使基板上浮的基板搬送装置上使涂布膜干燥的装置(参照专利文献1)。这里，图15、图16是利用超声波振动使基板上浮的基板搬送装置的图，图15是从上侧观察的图，图16是从侧面侧观察的图。该基板搬送装置具有进行超声波振动的振动板1〇〇以及对基板W进行引导的基板引导件101，构成为把持着已超声波上浮的状态下的基板W的基板引导件101沿着振动板100行驶由此搬送基板W。即，通过使基板引导件101沿着轨道102行驶(通过使基板引导件101从实线移动到双点划线)，而在保持基板W 上浮的状态下将其搬送到相邻的下一振动板100。并且，在基板搬送装置中设置有加热干燥装置，该加热干燥装置在一部分的振动板100的背面侧具有加热器部103,通过利用该加热器部103加热振动板100而使基板W上的涂布膜干燥。具体而言，借助加热干燥装置，当使基板W停止在设置有加热器部103的振动板100上时，通过使基板W的停止状态维持干燥所需要的规定的时间而使基板W上的涂布膜干燥。
[0004]专利文献1:日本特开2014-022538号公报[〇〇〇5]但是，在上述的加热干燥装置中，存在基板W上的涂布膜产生干燥不匀的情况这样的问题。即，在上述的加热干燥装置中，由于对停止在振动板100上的基板W进行加热干燥， 因此有时因涂布膜附近的空气的微小的流动变化导致在涂布膜上产生沿着气流的流动的不匀(气流不匀)。并且，存在如下的问题:因涂布膜整体和与其接触的空气之间的关系导致涂布膜整体的干燥状态不均匀，当在该状态下进行干燥时，有时会在涂布膜上残留干燥不匀(明暗不匀)。
【发明内容】
[0006]本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种加热干燥装置，对于搬送路径上的基板，也能够以抑制形成在基板上的涂布膜产生干燥不匀的方式进行干燥。
[0007]为了解决上述课题，本发明的加热干燥装置在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬送路径上对基板进行加热干燥，其特征在于，该加热干燥装置具有:加热器部，其对形成在所搬送的基板上的涂布膜进行加热;腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态；以及排气部，其对所述腔室部内进行排气，在所述腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动板上的基板接近而与基板整个面相对，所述排气部在所述腔室盖部中的与所述顶板的中心位置相对的位置上具有排气口，一边通过从所述排气口对所述腔室部内进行排气而将所述腔室部内形成为减压状态，一边通过使所述加热器部进行加热而使基板上的涂布膜干燥。
[0008]根据上述加热干燥装，通过使腔室盖部与振动板抵接而形成腔室部，当该腔室部内通过排气部而被排气时，腔室部内形成为比大气压稍小的减压状态，由此涂布膜附近被平稳地吸引。并且，由于设置于腔室盖部的顶板被设置为与基板整个面相对，因此顶板与基板上的涂布膜的距离在涂布膜整体上均匀，涂布膜附近的空气的流动实现均匀化。因此，形成在基板上的涂布膜被加热器部加热而产生溶剂，另一方面所产生的溶剂被平稳均匀地吸引并且进行干燥，由此能够抑制在涂布膜上产生气流不匀和明暗不匀。
[0009]并且，也可以构成为在所述顶板中设置有对顶板进行加热的顶板加热器部。
[0010]根据该结构，由于通过顶板加热器部加热顶板，因此能够使基板的正面背面成为大致相同的温度。即，在顶板的温度较低的情况下，会产生如下的问题:所蒸发的溶剂的结露及溶剂附着于顶板且结露下落到涂布膜而导致涂布膜成为不良品的问题、或者因溶剂附着于顶板而导致排气部的溶剂的流动变得不均匀而产生气流不匀和明暗不匀的问题，通过设置顶板加热器部而能够避免这些问题。[〇〇11]并且，优选采用如下的结构:该加热干燥装置具有定位销，该定位销与对在所述振动板上被搬送的基板进行支承的基板引导件不同，在所述腔室部内对基板进行定位而进行支承。
[0012]根据该结构，由于能够在使基板定位于腔室部内的状态下进行加热干燥，因此能够抑制因在加热干燥中移动基板而导致的气流不匀的影响。并且，能够消除因在加热干燥中基板移动而导致的在腔室上升后基板向基板引导件的交接误差。
[0013]并且，也可以构成为在所述腔室盖部中设置有位置限制销，其对加热干燥中的基板的位置进行限制。
[0014]根据该结构，由于对基板的位置进行限制的位置限制销设置于腔室盖部，因此与在振动板中设置位置限制销的结构相比能够均匀地保持腔室部内的温度，能够抑制干燥不匀的产生。即，在振动板中设置有位置限制销的结构中，由于需要在振动板中设置供位置限制销插通的贯通孔，因此设置有该贯通孔的部分与其他的部分相比有可能因温度环境不同而产生温度不匀，但通过在腔室盖部中设置位置限制销而能够抑制该温度不匀的产生。
[0015]根据本发明的加热干燥装置，对于搬送路径上的基板，也能够以抑制形成在基板上的涂布膜产生干燥不匀的方式进行干燥。【附图说明】
[0016]图1是示出具有本发明的一实施方式的加热干燥装置的基板搬送装置的俯视图。
[0017]图2是将具有上述加热干燥装置的基板搬送装置的1单元放大的俯视图。
[0018]图3是具有上述加热干燥装置的基板搬送装置的1单元的侧视图。
[0019]图4是具有上述加热干燥装置的基板搬送装置的1单元的主视图。
[0020]图5是示出通过上述基板引导件将基板搬送到相邻的载台部的状态的俯视图。
[0021]图6是示出上述基板引导件退让且定位销呈突出状态的状态的俯视图。
[0022]图7是示出上述基板引导件复位到原来的位置的状态的俯视图。[0〇23]图8是上述基板引导件的俯视图。[〇〇24] 图9是图8的A-A剖视图。[〇〇25]图10是上浮单元的放大剖视图。[〇〇26]图11是示出气垫部55的图，(a)是从底面侧观察气垫部55的图，(b)是从侧面侧观察的剖视图。
[0027]图12是示出本发明的加热干燥装置的图，(a)是示出腔室盖部处于上方位置的状态的图，(b)是示出腔室盖部与振动板抵接的状态的图。
[0028]图13是示出另一实施方式的加热干燥装置的图，(a)是示出腔室盖部处于上方位置的状态的图，(b)是示出腔室盖部下降且通过位置限制销对基板进行位置限制的状态的图。
[0029]图14是示出在上述其他的实施方式中腔室盖部与振动板抵接的状态的图。[〇〇3〇]图15是具有以往的加热干燥装置的基板搬送装置的俯视图。
[0031]图16是具有以往的加热干燥装置的基板搬送装置的侧视图。[〇〇32] 标号说明[〇〇33]1:基板搬送装置;2:基板；12:振动板；14:定位销；15:加热器部；16:载台部；16C:带有加热干燥装置的载台部;30:基板引导件;91:腔室盖部;92:排气部;93:腔室部;95:顶板;96:位置限制销。【具体实施方式】
[0034]使用附图对本发明的加热干燥装置的实施方式进行说明。
[0035]图1是示出具有加热干燥装置的基板搬送装置的俯视图，图2是将具有加热干燥装置的基板搬送装置的一部分放大的俯视图，图3是具有加热干燥装置的基板搬送装置的局部侧视图，图4是具有加热干燥装置的基板搬送装置的局部主视图。
[0036]在图1至图4中，基板搬送装置1用于对基板2在使其上浮的状态下进行搬送，能够将从上游侧供给的基板2以使其上浮的状态保持原样地不改变朝向地搬送到下游侧。另外， 在图1中，载台部16A是上游侧，从载台部16A朝向载台部16C搬送基板2。
[0037]另外，在以下的说明中，将搬送基板2的搬送方向设为X轴方向，将在水平面上与其垂直的方向设为Y轴方向，将与X轴方向和Y轴方向这双方垂直的方向设为Z轴方向而进行说明。[〇〇38]基板搬送装置1具有载台单元10和搬送单元20,在载台单元10的Y轴方向两侧配置有搬送单元20。载台单元10载置基板2,能够将所载置的基板2保持在上浮的状态。并且，搬送单元20—边约束上浮的基板2—边在搬送方向(X轴方向)上对其进行搬送。即，供给到载台单元10的基板2在载台单元10上上浮，并且被设置于搬送单元20的基板引导件30约束。并且，通过使基板引导件30在X轴方向上行驶而在X轴方向上搬送基板2。
[0039]载台单元10具有多个载台部16,在图1的例中，通过将载台部16A至16D排列在一个方向上而形成搬送路径。另外，在共同地表示载台部16A至16D的情况下简称为载台部16。
[0040]载台部16使所载置的基板2振动上浮，如图3、图4所示那样载台部16具有:振动板 12,其载置在基台11上且形成为平坦状；以及振动上浮构件13,其使基板2从该振动板12的正面振动上浮。振动板12是矩形状的较薄的金属制平板状部件，以水平的姿势配置。即，在图1的例中通过将各载台部16A至16D的4张振动板12配置为保持相同的高度而形成搬送路径。并且，振动板12具有与所供给的基板2相对的振动板12的正面12a(也简称为正面12a)， 整体形成为平坦状。在本实施方式中，振动板12的正面12a形成为比基板2大的尺寸，所供给的基板2整个面不会突出而与该振动板12的正面12a相对。
[0041]并且，在振动板12中设置有定位销14,通过该定位销14将搬送来的基板2定位在规定的位置。该定位销14在1个振动板12上设置有4根，每2根设置在1条对角线上。具体而言， 该定位销14配置在当基板2供给到振动板12上时夹着基板2的对角线上的2个角部分的位置。即，定位销14根据所搬送的基板2的尺寸而配置在基板2与定位销14形成微小的间隙的位置。[〇〇42]并且，该定位销14能够进行升降动作，在收纳状态下，将定位销14整体收纳在振动板12下，在突出状态下，定位销14在振动板12正面上突出。因此，在定位销14处于收纳状态下供给基板2,当基板2供给到振动板12的正面12a上时，定位销14成为突出状态，基板2的侧面2a与定位销14接触，由此基板2被定位。即，当将基板2供给到振动板12上时基板2为上浮且能够自由移动的状态，但通过使定位销14与基板2的侧面2a接触而约束基板2的移动，将基板2定位在振动板12上的规定的位置(定位范围)。[〇〇43]并且，振动上浮构件13使所供给的基板2振动上浮到距振动板12的正面12a规定的高度的位置。在本实施方式中，如图3、图4所示，在振动板12的背面12b设置有振子13a，通过借助该振子13a施加特定的频率的振动，从而振动板12上的基板2能够从振动板12的正面 12a上浮。具体而言，例如当利用超声波使振子13a振动时，该振动被传递，振动板12自身因超声波而振动。由此，在振动板12的正面12a与基板2之间形成微小的空气层，基板2从振动板12的正面12a上浮。即，当使振子13a以特定频率振动时，基板2以从振动板12的正面12a上浮到规定的高度位置的状态保持在振动板12上。[〇〇44]并且，搬送单元20经由基板引导件30在搬送方向上搬送振动板12上的基板2。搬送单元20具有在一个方向上延伸的基台11a，被设置为沿着振动板12的搬送方向从Y方向侧夹持振动板12。并且，搬送单元20具有基板引导件30,能够通过基台11a上的搬送驱动部40使多个基板引导件30移动而搬送基板2。即，基板引导件30与各振动板12分别对应地设置，各个基板引导件30能够进行从1个振动板12移动到下游侧的下一振动板12然后复位到原来的振动板12的动作。各振动板12的每个基板引导件30同时进行这样的动作，由此能够在搬送方向上搬送基板2。
[0045]具体而言，当将基板2供给到1个振动板12时该基板2被基板引导件30约束(图1的状态)。并且，通过基板引导件30的移动将该基板2搬送到下游侧的下一振动板12(图5的状态)，并载置在下游侧的振动板12上(图6的状态)。并且，下游侧的基板引导件30复位到上游侧的原来的振动板12(图7的状态)，并重新约束由上游侧的基板引导件30搬送来的基板2。 通过利用各振动板12重复进行该操作而在搬送方向上搬送基板2。即，通过多个基板引导件 30的接替方式来搬送基板2。另外，在图1、图5至图7中，在定位销14是黑色的情况下表示突出状态，在其为白色的情况下表示收纳状态。即，在图5中，定位销14处于收纳状态，在图6、图7中处于突出状态。[〇〇46]搬送驱动部40具有:在一个方向上延伸的轨道41、搭载基板引导件30的搬送主体部42、以及驱动搬送主体部42的线性电动机43。轨道41是具有平滑面的平板状部件，且以平滑面朝上的方式设置在各个基台11上。即，如图2、图4所示，轨道41以沿着振动板12的搬送方向夹持振动板12的正面12a的方式设置在分别距振动板12等距离的位置。并且，各个轨道 41的平滑面的高度位置分别设定为共同的高度位置。[〇〇47]并且，在轨道41的平滑面上设置有LM引导件44和线性电动机43。具体而言，线性电动机43的定子(磁性板)以在X轴方向上延伸的方式设置在平滑面的Y轴方向中央位置，LM引导件44在该定子的两侧被设置为在X轴方向上延伸。并且，搬送主体部42与该LM引导件44连结，设置于搬送主体部42的可动件与定子连接。因此，当通过驱动线性电动机43使可动件沿着定子移动时，搬送主体部42能够沿着轨道41移动。即，通过对线性电动机43进行驱动控制，搬送主体部42能够沿着X轴方向移动且在任意的位置停止。[〇〇48]搬送主体部42具有搭载基板引导件30的搭载部42a和从该搭载部42a延伸的腿部 42b，形成为截面大致n字状。LM引导件44与该腿部42b连结，搭载部42a被配置为朝上。并且，在该搭载部42a上设置有1个基板引导件30，基板引导件30被配置为分别位于振动板12 的对角线上。即，配置在与定位销14所在的对角线不同的对角线上。并且，当对线性电动机 43进行驱动控制时，搬送主体部42在维持着基板引导件30存在于对角线上的位置关系的状态下在搬送方向上移动。另外，图2的双点划线表示移动后的搬送主体部42和基板引导件 30 〇
[0049]如图8、图9所示，基板引导件30具有:约束基板2的基板引导件主体31、支承该基板引导件主体31的引导件支承部32、以及使基板引导件主体31从振动板12的正面12a上浮的上浮单元50。并且，具有对基板引导件主体31向振动板12的正面12a侧施力的施力构件60、 上浮单元50以及施力构件60,能够将基板引导件主体31维持在距振动板12的正面12a的规定的高度位置。
[0050]引导件支承部32具有平板状的臂部32a，在其前端部分设置有基板引导件主体31。 该臂部32a经由升降机构设置于搬送主体部42的搭载部42a，能够相对于搭载部42a在Z方向上进行升降动作。在本实施方式中，将空气滑动台81用于升降机构，通过控制对该空气滑动台81的空气的供给量而能够使臂部32a在Z方向上移动。即，对于空气滑动台81而言，呈直线状移动的台81a被安装为能够在Z方向上移动，臂部32a经由空气滑动台82安装于该台81a。 并且，控制空气的供给量，通过使臂部32a朝下移动而使基板引导件主体31接近基板2,通过使臂部32a朝上移动而使基板引导件主体31在远离基板2的方向上移动。在本实施方式中， 基板引导件主体31能够从约束基板2的位置上升到不与突出状态的定位销14接触的程度。 即，在如图5所示将基板2搬送到下游侧的下一振动板12之后，如图6所示，基板2被突出状态的定位销14约束。另外，像上述那样在图1、图5至图7中，在定位销14为黑色的情况下表示突出状态，在其为白色的情况下表示收纳状态。并且，通过在使基板引导件主体31上升之后， 使搬送主体部42行驶，基板引导件30能够越过该突出状态的定位销14的上方而返回到原来的振动板12(图7的状态)。另外，该空气滑动台81像后述那样也作为施力构件60发挥作用。 [〇〇51]并且，引导件支承部32具有进退机构，能够使臂部32a相对于基板2进行进退动作。 在本实施方式中，对该进退机构使用空气滑动台82,通过控制对该空气滑动台82的空气的供给量而能够使基板引导件主体31以能够相对于基板2接触分离的方式进行动作。具体而言，空气滑动台82的主体安装于空气滑动台81，被安装为:呈直线状移动的空气滑动台82的台82a能够在朝向被定位的基板2的中心的方向上移动。并且，通过控制对空气滑动台82的空气的供给量而能够使台82a在基板2的中心方向上进行进退动作。即，能够移动成臂部32a在基板2的中心方向上延伸的突出状态以及臂部32a收缩到主体侧的退让状态。即，在使基板2被基板引导件主体31约束的情况下，使臂部32a向基板2侧突出(图7—图1)，并在基板引导件主体31与基板2抵接的状态下停止。并且，在如图5所示将基板2搬送到下一振动板12的情况下，使臂部32a向基板2的相反侧移动而成为退让状态，由此能够释放基板2(图6的状态)。
[0052]如图8、图9所示，基板引导件主体31被引导件支承部32的臂部32a的前端部分支承。在本实施方式中，将2个基板引导件主体31安装于臂部32a的前端部分，通过使配置在对角线上的这2个基板引导件主体31与基板2接触而能够约束基板2。
[0053]基板引导件主体31由圆柱状部件形成，是使其外周面与基板2抵接的基板抵接部34。并且，这2个基板引导件主体31固定在距臂部32a的中心等距离的位置，当驱动空气滑动台82时，引导件支承部32的臂部32a向基板2侧突出，由此基板抵接部34与基板2的侧面2a抵接，能够约束基板2。即，配置在对角线上的各个基板引导件30的基板抵接部34轻微压接在基板2的角部分的侧面2a上，由此约束上浮至振动板12的正面12a的基板2的动作。另外，SP使在基板抵接部34不对基板2的侧面2a施加按压而以能够形成微小的间隙的程度与基板2的侧面2a抵接的情况下也会约束基板2。即，只要以能够抑制上浮至振动板12的正面12a的基板2自由移动的程度进行约束即可。
[0054]并且，上浮单元50使基板引导件主体31(基板抵接部34)从振动板12的正面12a上浮。本实施方式的上浮单元50被设置为固定于引导件支承部32，配置在基板引导件主体31与进退机构的空气滑动台82之间。即，为了可靠地使基板引导件主体31上浮，上浮单元50配置在基板引导件主体31附近。该上浮单元50具有气垫部55。这里，图10是上浮单元50的放大剖视图。并且，图11是示出气垫部55的图，(a)是从底面侧观察气垫部55的图，(b)是从侧面侧观察的剖视图。气垫部55整体上是圆盘形状，具有排出空气的空气排出部55a和覆盖该空气排出部55a的壳部55b。该空气排出部55a由多孔质烧结材料形成，形成为将供给到壳部55b的空气通过烧结材料排出。即，通过控制供给到壳部55b的空气量而能够调节从空气排出部55a排出的空气的排出量。并且，气垫部55以空气排出部55a与振动板12的正面12a相对的状态被安装。因此，当向气垫部55供给空气时，空气从气垫部55的空气排出部55a向振动板12的正面12a喷出，由此引导件支承部32受到上浮力并且与引导件支承部32连结的基板引导件主体31也受到上浮力，基板引导件主体31从振动板12的正面12a轻微地上浮。
[0055]并且，施力构件60使基板引导件主体31向振动板12的正面12a侧按压。本实施方式的施力构件60是空气滑动台81，通过控制供给到空气滑动台81的空气而将基板引导件主体31向振动板12的正面12a侧按压。即，通过控制空气，空气滑动台81的台81a要朝下移动，从而与台81a连结的进退机构、引导件支承部32以及基板引导件主体31始终朝下受力，基板引导件主体31向振动板12的正面12a侧被按压。
[0056]能够利用该上浮单元50的上浮力与施力构件60的作用力达到平衡的位置将基板引导件主体31(基板抵接部34)的高度位置维持为基板2的侧面2a的高度位置。即，当从气垫部55的空气排出部55a排出空气时，空气与振动板12碰撞，包含基板引导件主体31的引导件支承部32要上浮，但引导件支承部32整体被施力构件60向正面12a侧抑制，由此在气垫部55与振动板12之间形成有微小的间隙的状态下、且在上浮单元50的上浮力与施力构件60的作用力达到了平衡的状态下静止。这样，将基板引导件主体31(基板抵接部34)的高度位置保持为恒定。并且，通过在该状态下使搬送单元20移动，而能够在不使基板引导件主体31(基板抵接部34)与振动板12的正面12a接触的情况下搬送基板2。
[0057]并且，在上浮单元50中形成有放气流路70ο该放气流路70是将从气垫部55的空气排出部55a排出的空气放出的流路。即，抑制从空气排出部55a排出的空气朝向基板2流动。
[0058]该放气流路70至少设置在空气排出部55a与抵接于基板抵接部34而被保持的基板2之间，形成为将由气垫部55与振动板12形成的间隙的空气朝向比基板2的高度位置高的位置放出。如图11所示，本实施方式的放气流路70由以包围空气排出部55a的方式形成的环状槽71和与该环状槽71连通的贯通孔72形成。具体而言，环状槽71形成于壳部55b，在从空气排出部55a离开规定的尺寸的位置、以在整个外周范围内包围空气排出部55a的方式形成为圆环状。并且，以从壳部55b的上方(与空气排出部55a相反的一侧)与环状槽71连通的方式在4个部位形成有贯通孔72。在图11的(a)的例中，按照90度方向均等地形成在4个部位。由此，由于进入到环状槽71的空气能够通过贯通孔72向上方排气，因此能够使进入到环状槽71的空气通过贯通孔72而将其引导至外部(排气)，能够抑制存在于该间隙的空气向基板2侧流动(图10的标有X的箭头)。
[0059]并且，以放气流路70的压力损失比由气垫部55与振动板12形成的间隙的压力损失小的方式形成。具体而言，作为放气流路70的环状槽71和贯通孔72被设计为其流路尺寸比由气垫部55与振动板12形成的间隙大。由此，由于放气流路70的压力损失比该间隙小，因此与该间隙相比，空气更易于流动到放气流路70。由此，能够有效地抑制存在于该间隙的空气向基板2侧流动。即，从空气排出部55a排出的空气从由空气排出部55a与振动板12形成的间隙在气垫部55的外径方向上呈放射状流动，并流入到环状槽71。并且，流入到环状槽71的空气不会进一步向压力损失较大的由外径侧的气垫部55与振动板12形成的间隙流动，而向压力损失较小的与环状槽71连通的贯通孔72流动，并从贯通孔72朝向比基板2的高度位置高的位置排气。因此，能够抑制从空气排出部55a排出的空气向基板2侧流动，抑制在基板2上的涂布膜C中形成干燥不匀，该干燥不匀是作为空气的流动的轨迹而形成的。
[0060]并且，在载台部16C中设置有加热干燥装置。该加热干燥装置使形成在利用振动板12进行搬送的基板2上的涂布膜干燥。该加热干燥装置具有加热器部15、腔室盖部91以及排气部92，通过使腔室盖部91与振动板12抵接而形成腔室部93，在该腔室部93内对基板2上的涂布膜进行加热并使其干燥。这里，图12是示出载台部16C的图，(a)是示出腔室盖部91从振动板12分离的状态的图，(b)是示出腔室盖部91与振动板12抵接而形成腔室部93的状态的图。
[0061]加热器部15对载置在载台部16C上的基板2上的涂布膜进行加热。具体而言，在载台部16C的振动板12的背面12b侧(正面12a的相反侧)配置有加热器部15，通过该加热器部15对基板2上的涂布膜进行加热并使其干燥。本在实施方式的加热器部15中，将盒加热器、封装加热器插入到矩形的铝框而形成的部件成为热源，这些加热器以与各振动板12的背面12b相对的方式配置在分开规定的间隔的位置上。因此，当在加热器部15的工作过程中搬送基板2时，利用来自振动板12的背面12b的辐射热量进行加热，由此将形成在基板2上的涂布膜干燥。
[0062]并且，腔室盖部91是用于在振动板12上形成腔室部93并使基板2呈密封状态的部件。腔室盖部91配置在载台部16C的上方，腔室盖部91下降而与振动板12抵接由此能够形成腔室部93。具体而言，腔室盖部91具有形成为比基板2大的长方形的平板状的基部板91a以及从该基部板91a向朝向振动板12的方向突出的侧壁部91b。该侧壁部91b在基部板91a的整个周围范围内连续地形成，朝向振动板12延伸的尺寸在整个周围范围内形成为相同的尺寸。并且，在侧壁部91b的振动板相对面91c上，在振动板相对面91c的整个外周范围内设置有朝向振动板12突出的密封部件(未图示)，通过使该密封部件与振动板12抵接，而能够使腔室盖部91与振动板12密接。
[0063]在该腔室盖部91中安装有升降气缸94，通过使升降气缸94进行动作而能够使腔室盖部91相对于振动板12接触分离。因此，当从腔室盖部91位于上升位置的状态(图12的(a))起使升降气缸94进行动作而使腔室盖部91下降时，腔室盖部91的密封部与振动板12抵接，由此能够形成用于借助腔室盖部91和振动板12使基板2呈密封状态的腔室部93(图12的
(b))o
[0064]并且，在腔室盖部91中设置有排气部92。该排气部92将腔室内设定为减压环境下。具体而言，在腔室盖部91的中央部分设置有排气口，该排气口与连结于未图示的真空栗的配管连接。因此，当使真空栗进行动作时，腔室部93内的空气通过排气口而被吸引，将腔室部93内设定为比大气压低的压力(减压环境)。这里，减压环境是指比大气压稍低的压力环境，在本实施方式中设定为80kPa。即，当将大气压按照绝对值压力基准设为Iatm =101.33kPa时，将减压环境设定为SOkPa左右。即，由于进行超声波振动的振动板12形成得薄，因此当设定为通常的由减压干燥装置设定的高真空环境时，振动板12会发生变形而使振动板12的平坦度受损并产生损伤作为搬送路径的功能这样的问题。因此，通过调整真空栗的吸引力使排气口产生轻微的吸引力而设定成减压环境，由此能够在维持着振动板12的平坦度的状态下快速吸引蒸发的溶剂，因此能够抑制在涂布膜上产生干燥不匀。
[0065]并且，在腔室盖部91中设置有顶板95。顶板95用于使相对于基板2的整个正面的间隙均匀。顶板95形成为具有比基板2整体大的面积的平板形状，设置在腔室盖部91的内部。具体而言，顶板95的正面被设置为与基板2相对，在腔室盖部91下降而形成腔室部93的状态下，在顶板95与基板2的正面之间在基板2的整个正面的范围内形成均匀的间隙。能够通过该顶板95抑制干燥不匀的产生。即，当涂布膜被加热器部15加热时溶剂蒸发。另一方面，由于排气口的中心配置在与顶板95的中心相对的位置，因此当使排气口产生吸引力而形成减压环境时，在顶板95与基板2之间的间隙中均等地形成朝向顶板95的端部的恒定的较弱的气流。即，由于从涂布膜蒸发的溶剂不会滞留在顶板95与基板2之间的间隙而是朝向顶板95的端部顺利地流动并从排气口排出，因此与在不存在顶板95的情况下产生的溶剂一边伴随着流速变化一边在基板2上流动的情况相比，能够抑制在涂布膜上产生干燥不匀。
[0066]并且，在顶板95上设置有对顶板95进行加热的顶板加热器部95a。该顶板加热器部95a设置在顶板95的上表面上，能够控制顶板95的温度。具体而言，顶板加热器部95a是面状加热器，被设置为大致覆盖顶板95的上表面。并且，被设定为当使面状加热器进行动作时对顶板95整体进行加热，并成为与由加热器部15进行温度控制的振动板12相同的温度。由此，能够抑制溶剂附着于顶板95。即，由于当加热涂布膜而溶剂蒸发时该溶剂在基板2与顶板95之间悬浮，因此与顶板95接触。此时，当顶板95的温度较低时，有时产生如下的问题:溶剂发生结露而结露后的溶剂下落由此导致异物混入涂布膜。并且，因结露后的溶剂的存在而导致形成在基板2与顶板95之间的气流紊乱，因此有时会产生该气流的紊乱导致涂布膜的干燥不匀的问题。因此，通过将顶板95控制为与振动板12大致相同的温度，能够避免溶剂在顶板95上结露，因此能够抑制异物混入涂布膜或产生干燥不匀这样的问题。
[0067]接着，对具有加热干燥装置的基板2的动作进行说明。
[0068]这里，在对基板2进行搬送之前的状态下，各基板引导件30在与各个振动板12相邻的位置待机，引导件支承部32的臂部32a成为退让状态。并且，定位销14收纳在振动板12的正面12a的下方，并维持收纳状态。
[0069]首先，进行基板2的定位。即，为了利用基板引导件30约束基板2而进行基板2的定位动作。具体而言，当供给结束了上一工序的基板2时，处于收纳状态的定位销14从振动板12的正面12a突出，由此将基板2定位在定位范围。即，当对借助振子13a而振动的振动板12上供给基板2时，基板2从振动板12的正面12a上浮并在振动板12的正面12a上自由移动，但因与突出状态的定位销14接触而基板2的移动受到限制。由此，将基板2定位在定位范围(图7)。
[0070]接着，进行由基板引导件30实现的约束动作。即，引导件支承部32的臂部32a向基板2侧延伸。具体而言，空气从基板引导件主体31的气垫51喷出，该上浮力与施力构件60的作用力达到平衡而基板引导件主体31由臂部32a支承并且在振动板12的正面12a上上浮。在该状态下，基板抵接部34的高度位置被调整为与基板2的侧面2a抵接的高度位置。并且，当臂部32a延伸时，基板引导件主体31接近基板2的侧面2a，基板抵接部34与基板2的侧面2a抵接，由此臂部32a停止延伸动作。即，基板2的角部分的侧面2a与基板引导件主体31的配置在对角线上的4个基板抵接部34抵接，由此约束基板2(图1)。因此，在该状态下，基板2的动作被基板引导件30和定位销14约束。
[0071]接着，对基板2进行搬送。即，所约束的基板引导件30从当前的振动板12被载置到在下游侧相邻的下一振动板12，并重复进行该动作从而搬送基板2。具体而言，使约束基板2的动作的定位销14下降而成为仅利用基板引导件30进行约束的状态。并且，驱动搬送驱动部40而使基板引导件30向下游侧移动。
[0072]并且，在搬送中，从基板引导件30的气垫部55持续喷出空气，从而能够将基板引导件主体31维持为从振动板12的正面12a上浮的状态，另一方面，从气垫55排出的空气通过放气流路70而向比基板2高的位置放出。即，从气垫部55的空气排出部55a排出的空气从由空气排出部55a与振动板12形成的间隙在气垫部55的外径方向上呈放射状流动，但在流入到环状槽71之后，从贯通孔72排气。由此，能够抑制从气垫部55排出的空气向基板2侧流动，抑制在基板2上的涂布膜上形成干燥不匀，该干燥不匀是作为空气的流动的轨迹而形成的。
[0073]并且，当基板2到达在下游侧相邻的下一振动板12时，以基板2位于规定的位置的方式对搬送驱动部40进行驱动控制并使基板引导件30停止。即，停止在当定位销14成为突出状态的情况下基板2的背面不会与定位销14碰撞的位置(图5)。
[0074]接着，从基板引导件30释放基板2。具体而目，定位销14从振动板12的正面12a突出，将借助该定位销14而搬送的基板2约束在下游侧的下一振动板12的正面12a上。即，基板2被定位销14与基板引导件30约束。并且，基板引导件30的臂部32a退让而返回到原来的位置，并且臂部32a通过升降机构上升。即，基板引导件主体31上升到不与定位销14接触的位置。由此，进行基板引导件30对基板2的释放，仅利用定位销14约束基板2(图6)。
[0075]接着，当臂部32a的退让动作和上升动作结束时，基板引导件30复位到原来的位置(图7)。即，对搬送驱动部40进行驱动，而使基板引导件30移动到与释放了基板2后的振动板12相邻的上游侧的振动板12。此时，虽然定位销14为了约束基板2而呈突出状态，但由于基板引导件主体31比定位销14进一步上升，因此由于基板引导件30的移动，基板引导件主体31与定位销14不会接触。
[0076]并且，被搬送到下游侧的振动板12的基板2被最初就设置于振动板12的基板引导件30、即已从比该振动板12靠下游侧的振动板12复位的基板引导件30约束，并进一步搬送到下游侧的振动板12。这样，基板2被设置于各个振动板12的基板引导件30接替性地约束而移动到下游侧的下一振动板12。即，基板2从载台部16A经载台部16B而搬送到设置有加热干燥装置的载台部16C。
[0077]对搬送到载台部16C的基板2进行加热干燥处理，进行形成在基板2上的涂布膜的干燥。具体而言，当将基板2载置在载台部16C的振动板12上时定位销14从振动板12的正面12a突出。然后，基板引导件30的臂部32a退让而返回到原来的位置，由此基板2被定位销14约束。通过从该状态起驱动升降气缸94使腔室盖部91下降而形成腔室部93。即，将基板2收纳在腔室部93内而形成密封体(参照图12的(b))。
[0078]这里，当在载台部16C的振动板12上载置基板2时，借助预先加热的加热器部15的辐射热量而开始干燥。并且，在形成了腔室部93的状态下，借助顶板加热器部95a进行温度控制的顶板95以在与涂布膜之间形成微小的间隙的方式相对地配置。即，通过在被控制成大致相同的温度的振动板12与顶板95之间配置基板2，而将基板2的正面与背面保持为大致相同的温度，推进加热干燥。并且，通过使排气部92的真空栗进行动作，腔室部93内的空气通过排气口而被吸引，将腔室部93内设定成比大气压低的压力(减压环境)。由此，由于从涂布膜蒸发的溶剂不会滞留在顶板95与基板2之间的间隙而是朝向顶板95的端部顺利地流动而从排气口排出，因此与溶剂伴随着流速变化在基板2上流动的情况相比，能够抑制在涂布膜上产生干燥不匀。并且，由于能够避免溶剂在顶板95上结露，因此能够抑制异物混入涂布膜或产生干燥不匀这样的问题。
[0079]并且，当在腔室部93内保持了规定的时间之后，加热干燥处理结束。即，使腔室部93内恢复到大气压，并使腔室盖部91上升。并且，进行由基板引导件30实现的约束动作，并且在收纳了定位销14之后，基板引导件30向下游侧移动。通过重复进行该操作，而将基板2搬送到基板2的最终位置。
[0080]这样，根据上述加热干燥装置，腔室盖部91与振动板12抵接由此形成腔室部93，当该腔室部93内向排气部92排气时，腔室部93内形成为比大气压稍小的减压状态，由此涂布膜附近被平稳地吸引。并且，由于设置于腔室盖部91的顶板95被设置为与基板2整个面相对，因此顶板95与基板2上的涂布膜之间的距离在整个涂布膜的范围内达到均匀，涂布膜附近的空气的流动实现均匀化。因此，形成在基板2上的涂布膜被加热器部15加热由此产生溶剂，另一方面一边对所产生的溶剂平稳均匀地进行吸引一边推进干燥，由此能够抑制在涂布膜上产生气流不匀及明暗不匀。
[0081]并且，在上述实施方式中，对在加热干燥处理时利用设置于各载台部16的定位销14进行保持的例子进行了说明，但也可以如图13、图14所示，在腔室盖部91中具有在加热干燥处理时对基板2的位置进行限制的位置限制销96。这里，图13是示出其他的实施方式的加热干燥装置的图，(a)是示出腔室盖部处于上方位置的状态的图，(b)是示出腔室盖部91下降而通过位置限制销96对基板2进行位置限制的状态的图。图14是示出腔室盖部91进一步下降而腔室盖部与振动板抵接的状态的图。位置限制销96设置在腔室盖部91中的定位销的正上方。具体而言，设置于与位于对角的基板引导件30不同的对角的位置，当从基板引导件30改变为位置限制销96时，位置限制销96构成为不会与基板引导件30接触。
[0082]并且，位置限制销96具有位置限制销主体96a以及收纳该位置限制销主体96a的销壳部96b。位置限制销主体96a是棒状的圆柱部件，能够通过与基板2抵接而限制基板2的位置。该位置限制销主体96a构成为其一部分收纳在销壳部96b内，能够相对于销壳部96b出入。该位置限制销96在未形成腔室部93的状态、即腔室盖部91从振动板12分离且位于上方的状态下，以位置限制销96的前端部分从腔室盖部91的侧壁部91b的密封部件突出的状态被保持。
[0083]并且，销壳部96b收纳位置限制销96的一部分，位置限制销96以仅以滑动行程的量在腔室盖部91的上方延伸的状态构成。该销壳部96b被设置为在腔室盖部91的基部板91a上开口，位置限制销96能够穿过该开口部分而出入。并且，在开口部分中设置有支承位置限制销96的销引导件(未图示)，位置限制销96形成为通过在支承于该销引导件的状态下滑动而能够相对于销壳部96b(腔室盖部91)出入。
[0084]利用这样的位置限制销96，当将保持在基板引导件30上的基板2载置在载台部16C上时，使升降气缸94进行动作而使位于上方的腔室盖部91下降。即，使腔室盖部91下降到位置限制销主体96a到达能够与基板2的侧面抵接的位置为止(图13(b))。此时，像上述那样，在腔室盖部91中，由于位置限制销主体96a最向下方突出，因此虽然使腔室盖部91下降到能够与基板2的侧面抵接的位置，腔室盖部91也不会与基板2、振动板12以及基板引导件30接触。并且，通过使基板引导件30退让而利用位置限制销96对振动板12上的基板2的位置进行限制。然后，如图14所示，进一步使腔室盖部91下降而利用振动板12和腔室盖部91形成腔室部93，并对腔室部93内的基板2进行加热干燥处理。具体而言，与上述实施方式同样地，通过预先加热的加热器部15和顶板加热器部95a对涂布膜进行加热，并且对腔室部93内进行排气，由此在减压环境下进行加热干燥处理。
[0085]在这样将位置限制销96设置于腔室盖部91的结构中，与在振动板12上设置定位销14的结构相比，不存在产生因定位销14与振动板12接触而导致的振动上浮搬送不良、或由于设置定位销14而因形成于振动板12的贯通孔的存在导致加热不匀的担心，能够更可靠地进行振动上浮搬送以及高精度的加热干燥处理。
[0086]并且，在上述实施方式中，对设置顶板加热器部95a的例子进行了说明，但也可以是省略顶板加热器部95a的结构。即，虽然通过设置顶板加热器部95a能够避免蒸发的溶剂的结露等问题，但在通过加热器部15的温度设定使与顶板95的温度差较小从而不会产生结露等的情况下，能够省略顶板加热器部95a而降低装置的成本。
[0087]并且，在上述实施方式中，对将加热器部15仅设置于载台部16C的例子进行了说明，但也可以采用分别设置于各载台部16的结构、以及在搬入到加热干燥装置之前通过各加热器部15预备性地对基板2上的涂布膜进行加热处理的结构。
【主权项】
1.一种加热干燥装置，其在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬 送路径上对基板进行加热干燥，其特征在于，该加热干燥装置具有:加热器部，其对形成在所搬送的基板上的涂布膜进行加热；腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态； 以及排气部，其对所述腔室部内进行排气，在所述腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动 板上的基板接近而与基板整个面相对，所述排气部在所述腔室盖部中的与所述顶板的中心位置相对的位置上具有排气口，一边通过从所述排气口对所述腔室部内进行排气而将所述腔室部内形成为减压状态， 一边通过使所述加热器部进行加热而使基板上的涂布膜干燥。2.根据权利要求1所述的加热干燥装置，其特征在于，在所述顶板中设置有对顶板进行加热的顶板加热器部。3.根据权利要求1或2所述的加热干燥装置，其特征在于，该加热干燥装置具有定位销，该定位销与对在所述振动板上被搬送的基板进行支承的 基板引导件不同，在所述腔室部内对基板进行定位而进行支承。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的加热干燥装置，其特征在于，在所述腔室盖部中设置有位置限制销，该位置限制销对加热干燥中的基板的位置进行 限制。
【文档编号】B05C13/02GK106000819SQ201610171873
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年3月24日
【发明人】滨川健史, 奥田大辅, 冈本贯志
【申请人】东丽工程株式会社