一种具有防沉积结构的薄膜传感器的制作方法

本实用新型涉及薄膜传感器技术领域，具体涉及一种具有防沉积结构的薄膜传感器。

背景技术：

薄膜式电容传感器是一种电容压力传感器，专为在高精度和重复性的真空和压力测量应用中使用。其敏感原件是低膨胀合金薄膜，通过入口管承受f压力或真空，薄膜受压力形变转换成与压力成比例的电信号。

在集成电路制造中使用的一些工艺，如刻蚀或者镀膜，往往会产生大量颗粒或者污染物，颗粒或者污染物长期会沉积到薄膜上，从而导致传感器产生零点漂移。因此，现有传感器大多会在进气口处设置过滤机制来防止污染物的沉积。但是任何过滤机制都会影响传感器对工艺腔体真实压力值的测量。

技术实现要素：

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的薄膜传感器在进气口处设置的过滤机制会影响传感器对工艺腔体真实压力值的测量的缺陷，从而提供一种在入口管处设计一种静电吸附装置，通过静电吸附原理，将进入传感器的颗粒物吸附到入口管壁上的薄膜传感器。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种具有防沉积结构的薄膜传感器，包括：

传感器本体，具有用于与待测腔连通的入口管；

静电吸附装置，设置在所述入口管处，以适于在所述入口管处形成静电吸附场。

作为优选方案，所述静电吸附装置为管状包覆在所述入口管的外侧。

作为优选方案，所述静电吸附装置包括：至少两个弧形电极板，多个所述弧形电极板均匀包覆在所述入口管的外壁上。

作为优选方案，所述静电吸附装置通过卡钳结构可拆卸地连接在所述入口管上。

作为优选方案，所述卡钳结构包括：对称的两个半圆形板。

作为优选方案，所述卡钳结构还包括：

卡接块，两端适于通过螺丝分别紧固在两个所述半圆形板上。

作为优选方案，所述卡钳结构还包括：

转动轴，转动连接在相邻两个所述半圆形板之间。

作为优选方案，所述静电吸附装置在轴向上与所述入口管的长度相等。

作为优选方案，所述静电吸附装置与所述入口管之间设置有绝缘板。

作为优选方案，所述绝缘板为绝缘电木。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的具有防沉积结构的薄膜传感器，在传感器入口管处设置静电吸附装置，通过静电吸附原理，可以在保证待测腔与传感器膜片完全无阻挡连通的情况下，将污染物或者颗粒物吸附到入口管壁上，从而防止膜片污染，产生零点漂移；因此，既能有效的防止颗粒物沉积到薄膜上，又能精确测量待测腔体的真实压力值。

2.本实用新型提供的具有防沉积结构的薄膜传感器，静电吸附装置为管状包覆在传感器入口管外侧，与入口管长度相同，可以最大路径来吸附污染物和颗粒物，从而保证薄膜长久保持在洁净状态。

3.本实用新型提供的具有防沉积结构的薄膜传感器，静电吸附装置与传感器通过卡钳结构可拆卸地连接，使静电吸装置可以重复使用在各种薄膜传感器上。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的薄膜传感器的一种具体实施方式的主视剖视图。

图2为本实用新型提供的薄膜传感器的一种具体实施方式的立体图。

附图标记说明：

1、传感器本体；2、入口管；3、静电吸附装置；4、绝缘板；5、半圆形板；6、卡接块；7、转动轴；8、膜片电极；9、参考压力腔；10、外压力测试腔；11、陶瓷电极；12、颗粒物。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1所示，本实施例提供一种具有防沉积结构的薄膜传感器，包括：传感器本体1和在传感器的入口管2处设置的静电吸附装置3。所述传感器本体1内具有膜片电极8，所述膜片电极8将压力腔分为参考压力腔9和外压力测试腔10，所述外压力测试腔10通过入口管2可以与待测腔连通。在所述参考压力腔9内设有陶瓷电极11，通过陶瓷电极11可调整与膜片电极8之间的距离。

所述静电吸附装置3为管状包覆在所述入口管2的外侧，所述静电吸附装置3适于在所述入口管2处形成静电吸附场，通过静电吸附原理，可以在保证待测腔与传感器膜片完全无阻挡连通的情况下，将污染物或者颗粒物12吸附到入口管2壁上，从而防止膜片污染，产生零点漂移。所述静电吸附原理，即当一个带有静电的物体靠近另一个不带静电的物体时，由于静电感应，没有静电的物体内部靠近带静电物体的一边会集聚与带电物体所携带电荷相反极性的电荷(另一侧产生相同数量的同极性电荷)，由于异性电荷互相吸引，就会表现出静电吸附现象。

所述静电吸附装置3在轴向上与所述入口管2的长度相等，因此可以最大路径来吸附污染物和颗粒物12，从而保证薄膜长久保持在洁净状态。

所述静电吸附装置3与所述入口管2之间设置有绝缘板4，所述绝缘板4为绝缘电木，通过绝缘板4以使所述静电吸附装置3与入口管2之间的保持电隔离。

所述静电吸附装置3包括：至少两个弧形电极板，多个所述弧形电极板均匀包覆在所述入口管2的外壁上。另外，作为一种可替换实施方式，所述静电吸附装置3也可以是一个整体的圆筒状结构。

如图2所示，所述静电吸附装置3通过卡钳结构可拆卸地连接在所述入口管2上，使静电吸装置可以重复使用在各种薄膜传感器上。

所述卡钳结构包括：对称的两个半圆形板5和卡接块6。所述卡接块6的两端适于通过螺丝分别紧固在两个所述半圆形板5上。

作为一种可替换实施方式，所述卡钳结构还包括：转动轴7，所述转动轴7转动连接在两个所述半圆形板5之间，使两个半圆可绕所述转动轴7进行转动掰开，以使静电吸附装置3可取出。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。