专利名称：介质润滑剂的原位紫外固化的制作方法
技术领域：
本发明涉及包含用于薄膜存储介质的改进的润滑剂的记录介质，所述改进的润滑剂是通过原位紫外固化制备的。
背景技术：
几乎在所有的计算机系统中都使用包含可磁化介质的磁盘进行数据存储。目前的磁性硬盘驱动器在操作时，读-写磁头仅位于磁盘表面上方几纳米处，其速度相当高，通常为数米/秒。由于读-写磁头在操作过程中会与磁盘表面相接触，因此在磁盘表面上涂敷有一层润滑剂，以减少磨损和摩擦力。
图1显示了磁盘记录介质，还显示了表现纵向记录和垂直记录之间的区别的磁盘的横截面。虽然图1只显示了非磁性磁盘的一面，但是磁性记录层被溅射沉积在图1的非磁性铝基片的两个面上。另外，虽然图1只显示了铝基片，但是其它的实施方式包括由以下材料制成的基片玻璃、玻璃-陶瓷、NiP/铝、金属合金、塑料/聚合物材料、陶瓷、玻璃-聚合物、复合材料或其它非磁性材料。
硬盘上的润滑剂膜为下面的磁性合金提供保护，以防碳外涂层被磨损。另外，润滑剂膜与外涂层一起提供保护，以防下面的磁性合金被腐蚀。硬盘的可靠性取决于薄膜介质的耐久性。随着人们进一步减小磁头和磁盘之间的间距以改进面存储密度，介质正面临许多严重的技术问题，例如耐久性差，读-写磁头带走润滑剂的情况严重，无法控制的静摩擦/摩擦等。为克服这些技术难题，润滑剂毫无疑问起着重要的作用。
二(4-氟苯氧基)-四(3-三氟甲基苯氧基)环三膦腈(X1-p)之类的润滑添加剂部分可改进薄膜介质的摩擦性能和耐腐蚀性。通常通过将磁盘浸入包含润滑剂的浴内，将润滑剂施用到磁盘表面上。所述浴通常包含润滑剂和涂敷溶剂，以改进润滑剂(通常是粘性的油)的涂敷特性。将磁盘从浴中取出，使溶剂蒸发，在磁盘表面上留下一层润滑剂。通过改变溶液浓度和排流速率来控制吸附在磁盘外涂层上的润滑剂部分和添加剂部分的量。但是需要增大润滑剂和介质之间的化学相互作用的大小，以提高介质在长期、反复使用中的润滑性能。
发明内容
本发明的实施方式涉及一种系统，该系统包括沉积室，该沉积室具有氙准分子灯，还包括用来将润滑剂沉积在所述沉积室内的入口，所述沉积室能够气相沉积润滑剂，还能够使润滑剂原位紫外曝光。较佳的是，所述系统还包括源室，所述源室与所述沉积室连通。较佳的是，所述氙准分子灯所产生的能量中25％以上的波长等于或小于185纳米。较佳的是，所述氙准分子灯在真空下操作。较佳的是，所述系统不包括用冷却剂进行清洗来冷却所述氙准分子灯。较佳的是，所述沉积室处于真空条件下。
本发明的其它实施方式涉及一种方法，该方法包括在沉积室内，在磁性记录介质上沉积润滑剂，以及用来自氙准分子灯的辐射使所述润滑剂原位紫外曝光。较佳的是，该方法还包括从源室向沉积室提供润滑剂，所述源室与所述沉积室连通。较佳的是，该方法还包括使用真空源对所述沉积室和源室进行抽气操作，使压力降至低于大气压。较佳的是，所述方法还包括对源室内的润滑剂进行加热，使得源室内的压力高于沉积室内的压力。较佳的是，在沉积室内将润滑剂沉积在磁性记录介质上的操作包括使得所述磁性记录介质在沉积室中暴露于润滑剂足够的时间，从而在磁性记录介质的表面上沉积润滑剂顶涂层。较佳的是，在沉积室中，在磁性介质上沉积润滑剂的操作是在不大于约100托的压力下进行的。较佳的是，该方法还包括对源室中的润滑剂进行加热，还包括使用控制器阀控制润滑剂在源室和沉积室之间的流动。较佳的是，所述氙准分子灯所产生的能量中35％以上的波长等于或小于185纳米。
本发明另外的实施方式涉及一种方法，该方法包括使用紫外辐射辐照润滑剂膜，所述紫外辐射由氙准分子灯发射，其波长相当于所述润滑剂膜的最大紫外辐射吸收波长，所述润滑剂薄膜包含至少一种全氟聚醚化合物和膦腈衍生物。较佳的是，所述润滑剂薄膜形成于数据/信息存储和检索介质的表面上。较佳的是，所述数据/信息存储和检索介质是圆盘形的磁性或磁-光(MO)记录介质。较佳的是，所述介质包括形成在基片表面上的层叠结构(layer stack)，该层叠结构包含最上层的含碳(C)保护外涂层，所述润滑剂薄膜是与含碳(C)保护外涂层相接触地覆盖在所述含碳(C)保护外涂层的上面的顶涂层。较佳的是，所述膦腈衍生物是二(4-氟苯氧基)-四(3-三氟甲基苯氧基)环三膦腈。较佳的是，该方法还可包括通过在辐照过程中改变润滑剂薄膜的温度，从而改变所述润滑剂薄膜的最大紫外辐射吸收波长。
通过以下详述，本发明的其它优点对于本领域技术人员将是显而易见的，在以下详述中仅显示和描述了本发明的优选实施方式，仅通过对实施本发明的最佳方式进行说明这种方式来完成。人们将意识到，本发明还包括其它的和不同的实施方式，可以对本发明的细节进行各种明显的修改，而不会背离本发明。因此，这些附图和描述被看做是说明性的而非限制性的。
结合附图，参照本发明详述可以更好地理解本发明，在附图中图1显示了磁性记录介质。
图2显示了生产磁性记录介质的顺序工艺。
图3显示了本发明润滑剂的化学结构，其中B是提高结合力的化学基团，该基团包括羟基、2，3-二羟基-1-丙氧基和乙酰胺。
图4显示了PFPE润滑剂部分的羟基端基与活化的环三膦腈环部分结合，形成光合成的润滑剂分子。
图5显示了常规的氙准分子紫外灯(来自Xeradex灯具销售手册，OsramGmbH)的示意图。
图6显示了使用放电汞灯和氙准分子灯在大气压氮气气氛下进行试验的时候，结合的润滑剂随时间的变化情况。
图7是人们接受的润滑剂紫外结合的物理机理的示意图。
具体实施例方式
本发明涉及一种用润滑剂涂敷基片、特别是记录介质(记录磁盘)的方法，在本说明书中，所述润滑剂也被称为“润滑油”。润滑剂通常是液态全氟代聚醚，包含分子量为数百至数千道尔顿的组分。
紫外(UV)光已被广泛用于磁盘驱动工业中，以增大介质润滑剂和介质碳外涂层之间的化学相互作用。这种增大的相互作用通常用工业术语“结合的润滑剂”表示，该术语被广泛应用，但是从化学上来讲是不准确的。在此术语中，结合的润滑剂的分数表示在进行一些标准化的溶剂清洗步骤之后，仍保留在碳外涂层上的总润滑剂膜的百分数。在对润滑剂膜进行紫外曝光之后，通常会看到结合的润滑剂的总量的分数增大，有时候会显著增大。增大的量取决于许多因素，包括紫外曝光时间，磁盘表面的紫外功率密度，紫外波长，润滑剂种类和初始厚度，还取决于曝光环境条件，例如温度和氧气分压。氧气分压被看做是特别相关的参数，这是由于在固化过程中，具有足够高能量的紫外光子能够使O2键断裂，形成腐蚀性气体臭氧。
可使用汞放电灯进行紫外固化，但是这种方法具有大量的本发明人已经意识到的缺点。首先，放电汞灯在其寿命期间会损失功率，需要很长的加热时间和连续操作，在高温下运作，会对环境有害。
紫外法很大程度上依赖于紫外光子能量。对于放电紫外汞灯，其输出的总能量中仅有一小部分(＜15％)处于有用的185纳米的波长，光子能量为6.7电子伏特，所消耗能量的主要部分是用处较小的波长254纳米、光子能量4.9eV的能量。
紫外灯的有用输出较小造成达到所需膜性质所需的固化时间更长，可能需要很多的灯来完成大规模生产工艺的产出量。除了总功率随时间的减低以外，灯的能量中波长为185纳米的能量所占的相对分数也会随时间减小，使得工艺难以控制，所述灯的功率输出和功率损失速率会随着灯的温度变化。紫外固化通常是在专用的设备中，在大气压下进行的，在操作中大量鼓入干燥的氮气，以防形成臭氧和帮助冷却灯。这些设备很昂贵，而且会占用大量昂贵的清洁室的面积，所需的用来防止形成臭氧的氮气吹扫也是很昂贵的。另外，氮气吹扫可能效率很差，导致紫外室内具有残余的臭氧。最后，尽管185纳米的紫外光的能量不足以使N2三重键断裂，但是大气压的氮气吹扫气体会降低磁盘表面上的紫外能量，从而进一步降低固化效率。另外，这种降低削弱作用与灯和磁盘之间的间距有关，而这种间距会成为另一种工艺变数。
另一方面，氙准分子紫外灯产生有用的波长为172纳米、光子能量为7.2eV的紫外光。在这种高能量下，172纳米的紫外光子具有足以破坏许多化学键的高能量。尽管不希望被关于氙准分子紫外灯工作方式的描述所限制，但是人们相信氙原子(Xe)被电子激发形成激发的氙原子(Xe*)。激发的Xe*原子在三体碰撞中反应，形成Xe*2准分子复合物，该复合物发射波长为172纳米的辐射。可以以极高的功率密度(＞1兆瓦/厘米2)对该准分子系统进行泵浦，而且由于该准分子没有稳定的基态，因此不会发生自吸收。
由于如上所述认识到了使用放电汞灯的问题以及使用准分子紫外灯来紫外固化润滑剂的优点，本发明一个实施方式涉及使用高效率准分子紫外灯进行紫外固化，通过以所述灯作为真空原位处理步骤，将其与润滑剂真空原位气相沉积相结合，以减小或消除放电汞灯和常规方法所固有的缺陷。“原位”表示在制造过程中，在处理基质的时候，无需将介质从室内取出置于独立的区域进行术语“原位”所表示的处理步骤。
较佳的是，在介质上的气相沉积，以及随后用准分子紫外灯使该介质曝光的操作，可以在同一室内进行，更优选的是，在所述气相沉积和用准分子紫外灯进行紫外曝光的步骤之间，不移动所述介质。
在本发明的实施方式中，用来对润滑剂进行原位气相沉积和紫外曝光的同一个室可以是如下的室。本发明的实施方式包括如美国专利第6214410号和第6183831号所述，将磁性记录介质悬挂在沉积室内，并在源室中提供润滑剂，所述专利参考结合入本文中。所述沉积室和源室可以用任意的材料制成，只要这些材料可用于低于大气压的压力下，不会影响沉积过程，而且不会对制得的产物所需的性质造成负面影响即可，例如玻璃、陶瓷或金属。可使用真空源将所述沉积室和源室抽空至低于大气压的压力，例如压力约小于760托。然后可将源室(即作为向沉积室提供的润滑剂的源的室)中润滑剂的温度升高到高于沉积室中磁性记录介质的温度，这种升高的温度使得源室中蒸发的润滑剂从源室流到沉积室，凝结在磁性记录介质的表面上，形成润滑剂顶涂层。等到经过的时间足以沉积出具有基本均匀的厚度、基本完全覆盖所述记录介质表面的顶涂层之后，可将沉积室排气至大气压，或通入所需的气体。可以随后在同一沉积室内对磁性记录介质进行原位紫外处理，最后取出。
根据本发明的实施方式，可以基本上同时地将所述沉积室和源室抽空至基本相同的大约100-10-10托的相对压力。在将沉积室和源室抽空至所需的压力之后，可以使用常规的阀门将源室与沉积室和真空源相隔离。之后对源室中的润滑剂进行加热，使得源室中的压力相对于沉积室中的压力增大。打开阀门，源室中的润滑剂蒸气将从源室流到沉积室。由于沉积室的温度和压力较低，来自源室的加热的润滑剂沉积在沉积室内的磁性记录介质上。阀门打开一段时间，这段时间足以沉积具有所需均匀厚度的润滑剂顶涂层。然后关闭阀门，使沉积室排气，移出记录介质，然后重复该方法步骤。
在本发明的实施方式中，可以使用位于真空源和设备之间的另一阀门，将真空源和设备隔离。可以在使沉积室内的磁性记录介质暴露于润滑剂蒸气之前，关闭所述阀门，将真空源与沉积室相隔离。实际的因素可能需要在对源室内的润滑剂进行加热的时候对沉积室施以真空，以确保两个室之间存在足够的压力差。本发明一个实施方式包括在沉积室和真空源之间使用阀门。
根据本发明，应当理解，通过在低于大气压力的压力下，在磁性记录介质的表面上沉积润滑剂顶涂层，导致对所沉积的顶涂层的控制获得提高。从源室流到沉积室的润滑剂蒸气的量、品质和分子量取决于这两个室之间的相对压力差和相对温差。
将沉积室内的压力减小到约10-10-10托、例如约10-3-10-9托是特别有效的。另外，通过升高源室中润滑剂的温度，使得源室中压力相对于沉积室中的压力升高。本发明的实施方式包括使源室中润滑剂的温度升至约高于35℃、但是约低于300℃，例如升高到约120-220℃。通过升高源室中润滑剂的温度，源室中的压力也升高。本发明的实施方式包括将源室抽空至约700-10-5托，例如约100-0.01托。
可以使用包括所述沉积室的辐照设备对介质进行辐照。在这种辐照过程中，可以将磁盘置于底座上，在专用的处理室内，将其单独升高到两盏紫外灯之间的空间。
为了实际应用，原位紫外固化处理需要以能够得到大约等于或小于10秒的固化时间的足够高的光子能量，输出足够高的功率的适用于真空条件的紫外灯。准分子紫外灯能够以大约50毫瓦/厘米2的功率密度输出单一高能波长(例如172纳米)，能量转化效率约为40％。与之相对的是，放电汞灯的总功率输出通常为20-30毫瓦/厘米2，在185纳米的有用波长处，其输出功率仅为3-5毫瓦/厘米2或更低，其转化效率低得多。所述准分子灯还可使用适用于真空的部件制成，放电汞灯是难以做到这一点的。准分子灯使用对环境无害的氙气作为工作气体，消除了与汞相关的危害。最后，准分子灯工作时的温度显著低于放电汞灯，无需外部冷却。
在真空中操作准分子灯，省去了过程中所需的氮气吹扫，而且消除了臭氧的产生。如果在另一方面发现臭氧实际上是有益的，可以通过以控制的方式向沉积室重新填充氧气，从而在该过程中加入臭氧。原位紫外法与润滑剂的气相沉积相结合，可以省去外加紫外固化装置及其所占的面积，还省去了处理步骤。由于使用放电汞灯的紫外法会由于大气压氮气降低紫外功率，进一步使得使用准分子灯的真空法比使用放电汞灯的紫外法更高效。与需要很长加热时间、而且需要连续运作以保持稳定输出的放电汞灯不同，准分子灯达到最大功率所需的加热时间小于1秒，因此可以在原位过程中进行开和关。
图2显示了制造磁性记录介质的顺序工艺的示意图。磁盘基片依次从加热器移动到下籽晶层(sub-seed layer)沉积位点，在磁盘基片上形成下籽晶层。然后将磁盘基片传送到籽晶层位点，以沉积籽晶层，通常为NiAl。在沉积下籽晶层和籽晶层之后，使磁盘基片通过下层沉积位点，在此位点沉积下层。然后使磁盘移动到磁性层沉积位点，然后移动到保护碳外涂层沉积位点。最后，使磁盘通过润滑剂膜沉积位点。
溅射操作使得溅射后的磁盘上形成一些颗粒。需要除去这些颗粒，以确保它们不会在磁头和基片之间形成划痕。因此，优选在基片表面上施涂润滑油，作为基片的顶层之一。
本发明的实施方式包括随后在第一处理室内进行碳沉积，然后(依照美国专利第6183831号所述的方法，该专利参考结合入本文中)在独立的室内真空沉积润滑剂，然后在其后的室内，在真空条件下进行紫外固化，然后将磁盘从顺序沉积系统中取出。本发明的实施方式还可包括离线真空系统，该系统与所述金属和碳顺序系统相分离，所述系统优选仅依次进行润滑剂真空沉积、真空紫外固化、排气和取出。
因此，通过三步法制备所述磁盘，并测试其品质。首先，抛光头从表面上经过，除去任意的凸起物(技术术语称为粗糙)。然后滑动头从表面上经过，检查是否有残余的凸起物。最后验证头检查该表面的制造缺陷，同时测量基片的磁性记录能力。
所述润滑剂部分包含可以用羟基、羧基或氨基之类的极性基团进行端基官能化的聚氟代醚组合物。所述极性基团可以使润滑剂更好地结合或粘结在记录介质的表面上。这些氟化油是可在市场上购得的，其商品名为例如Fomblin Z、Fomblin Z-Dol、Fomblin Ztetraol、Fomblin Am2001、FomblinZ-DISOC(Montedison)、Demnum(Daikin)和Krytox(Dupont)。
一些Fomblin润滑剂的化学结构如下。
X-CF2-[(OCF2-CF2)m-(OCF2)n]-OCF2-XFomblin Z非活性端基X＝FFomblin Zdol活性端基X＝CH2-OHFomblin AM2001活性端基 Fomblin Ztetraol活性端基 X1p是最广泛用于薄膜存储介质的润滑剂添加剂。X1p可购自DowChemical公司。其化学式为 DOW Chemicals X-1p(环三膦腈润滑剂)X1p应用最显著的优点是显著提高存储介质的耐久性。然而，X1p的耐久性的优点可能伴有潜在的问题，例如由于X1p在PFPE润滑剂中混容性有限造成的X1p相分离、磁头污染和润滑剂粘着。将Zdol之类的润滑剂分子与环三膦腈部分化学连接，可以消除润滑剂和X1p之间混容性低的问题。然而，紫外光可非常有效地使X1p活化。X1p中环三膦腈环上的氟代苯酚和三氟甲基苯酚取代基会很容易地被紫外曝光活化。会引发一系列的光化学反应，包括氟代苯酚和三氟甲基苯酚取代基从环三膦腈环上解离。当所述反应体系中包含PFPE润滑剂的时候，来自润滑剂的羟基端基会与活化的环三膦腈环结合，形成具有图4所示的所需结构的分子。
本发明中可添加到润滑剂部分中的添加剂部分包括X1-p及其衍生物。另外，在主润滑剂中增加可紫外固化的端基还会显著缩短饱和时间。例如，以下可紫外固化的化合物可用于Z-DOL丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯和乙烯基酯。
可通过在以下反应中使Z-DOL与丙烯酰氯反应，将可紫外固化的端基加入Z-DOL中 除了丙烯酸酯官能团以外，包括甲基丙烯酸酯、乙烯基酯和4-乙烯基苄化物之类的其它的可聚合官能团也可用来提供可紫外固化的官能端基。本领域普通技术人员可以根据包括除了Z-DO1以外的其它润滑剂的具体应用，在不背离所附权利要求书所述的本发明范围的前提下改变具体的紫外波长和可紫外固化的端基。
所述润滑剂涂层的厚度应至少为0.5纳米，优选至少1纳米，更优选至少1.2纳米，通常低于3纳米，优选为1-3纳米。能够提供更大的膜厚度的相关组分的分子量为1-10kD，优选2-8kD。
一种描述聚合物分子组分的分布(即多分散性)的方法是将重均分子量与数均分子量相比较，重均分子量定义为Mw＝∑miMi/∑mi式中mi是聚合物中分子量为Mi的分子组分的总质量，数均分子量定义为Mn＝∑NiMi/∑Ni式中Ni是聚合物中分子量为Mi的分子组分的总数。聚合物的重均分子量(Mw)永远大于数均分子量(Mn)，这是由于后者对各种Mi的分子的贡献进行计数，而前者根据它们的质量对它们的贡献进行加权。因此，当使用质量而非数量作为加权因素的时候，具有高分子量的分子组分的贡献高于平均水平。
对于多分散性聚合物，Mw/Mn之比永远大于1，该比值与1相差的大小可用来衡量聚合物的多分散性。Mw/Mn之比越大，聚合物分子量分布的宽度越大。
可以对凝结在适当表面上的蒸气进行取样，然后用校准的尺寸排阻色谱法进行分析，从而获得气相的分子量分布。
需要所述润滑剂的分子组分具有较窄的分子量分布。实际上，分子量分布越窄，越容易将蒸气中的一种或多种组分保持在稳定态的浓度。例如，如果聚合物中最高和最低分子量组分具有非常类似的分子量，它们的蒸气压将非常接近。另一方面，如果分子量(蒸气压)显著不同，对润滑剂的加热将会需要高得多的温度和过程控制，以保持稳定态的浓度。用于本发明的润滑剂的Mw/Mn之比应为1-1.6，优选为1-1.3，更优选为1-1.2。
可使用任意具有较大或较小多分散性的市售润滑剂，或者使用已预先分馏制备的具有较小多分散性的润滑剂实施本发明。本发明的优选实施方式不包括对润滑剂预先分馏。但是预先分馏的润滑剂可用来提供较窄分子量的润滑剂。如果在本发明中使用预先分馏的润滑剂，可采用蒸馏、色谱、萃取或其它技术进行分离，根据分子量制得预先分馏的润滑剂。
实施例图5显示了准分子紫外灯(德国，慕尼黑，Osram GmbH)的一个例子。使用购自另外的制造商的类似的灯在大气压下采集结合效率以及灯的操作性能的数据。图6(a)和图6(b)比较了准分子灯和放电汞灯的润滑剂结合速率。用来评价使用准分子灯和放电汞灯的润滑剂结合速率所用的介质和紫外曝光条件是相同的，图6(a)的润滑剂体系是分馏的Zdol和X1p，图6(b)为Ac-Zdol。Ac/Zdol是上文和此处所述的包含紫外活性丙烯酸酯基团的润滑剂。较佳的是，在Ac/Zdol中，可通过以下反应使Z-DOL与丙烯酰氯反应，将可紫外固化的基团加入Z-DOL中 在此试验中，在大气压的氮气压力下，在使用润滑剂体系RMW/X1P和Ac-Zdol的时候，准分子灯的结合速率分别大约比放电汞灯快4倍和10倍。预期当在真空环境下操作的时候，准分子灯的效率会进一步提高。图7显示了人们普遍接受的润滑剂与碳外涂层紫外结合的机理。由于全氟聚醚(PFPE)润滑剂对紫外光是透明的，需要进行另外的方法来替代对润滑剂进行的直接光激发，才能观察到化学变化。在此提出的机理中，X1P/Zdol反应由紫外光电子引发。通过能量高于基片的表面功函数的紫外光子，从基片注入了低能光电子。已显示PFPE润滑剂具有很高的用来俘获低能电子的横截面，人们认为结合过程是通过由制得的PFPE负离子的衰减引发的化学反应进行的。另外的试验说明，可以直接用低能电子束完成润滑剂结合，从而支持了该机理。172纳米的准分子灯和放电汞灯185纳米谱带的能量都足以克服碳外涂层的功函数，而放电汞灯254纳米处的大部分功率非常接近光电子生成的阈值。
材料功函数和光子能量石墨5.0eV铬 4.5eV254纳米UV 4.9eV185纳米UV 6.7eV172纳米UV 7.2eV在此申请中，词语“包含……的”表示一种材料包含该词语“包含……的”中所述的元素或化合物，但是该材料还包含其它的元素和化合物。本申请在文字和附图中揭示了一些数值范围。本文中所揭示的数值范围本身支持在所揭示数值范围之内的任意范围或数值(即使本说明书中并未逐字指明精确的范围限制)，这是由于本发明可在整个所揭示的数值范围内实施。
通过以上描述使得本领域技术人员可以实现和利用本发明，在上下文中提供了特殊应用及其要求。对优选实施方式的各种改变对本领域技术人员是显而易见的，可以在不背离本发明精神和范围的前提下将本文所述的一般原理应用于其它的实施方式和应用。因此本发明不仅限于所示的实施方式，而是包括与本文所述原理和特征相符的最宽泛的范围。最后，本申请中所提及的专利和公开出版物的全文都参考结合入本文。
权利要求
1.一种系统，该系统包括沉积室，该沉积室具有氙准分子灯，还包括用来将润滑剂沉积在所述沉积室内的入口，所述沉积室能够气相沉积润滑剂，还能够使所述润滑剂原位紫外曝光。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括源室，所述源室与所述沉积室连通。
3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述氙准分子灯所产生的能量中25％以上的波长等于或小于185纳米。
4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述氙准分子灯在真空下运行。
5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统不包括用冷却剂吹扫来冷却所述氙准分子灯。
6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述沉积室处于真空条件之下。
7.一种方法，该方法包括在沉积室内，在磁性记录介质上沉积润滑剂，以及用来自氙准分子灯的辐射原位紫外辐照所述润滑剂。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，该方法还包括从源室向沉积室提供润滑剂，所述源室与所述沉积室连通。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，该方法还包括使用真空源对所述沉积室和源室进行抽气操作，使压力降至低于大气压。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括对源室内的所述润滑剂进行加热，使得源室内的压力高于沉积室内的压力。
11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，在沉积室内将润滑剂沉积在磁性记录介质上包括使所述磁性记录介质在沉积室中暴露于润滑剂足够的时间，从而在磁性记录介质的表面上沉积润滑剂顶涂层。
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，在沉积室中，在磁性介质上沉积润滑剂的操作是在不大于约100托的压力下进行的。
13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，该方法还包括对源室中的所述润滑剂进行加热，还包括使用控制阀控制润滑剂在源室和沉积室之间的流动。
14.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述氙准分子灯所产生的能量中35％以上的波长等于或小于185纳米。
15.一种方法，该方法包括使用紫外辐射辐照润滑剂膜，所述紫外辐射由氙准分子灯发射，其波长相当于所述润滑剂膜的最大紫外辐射吸收波长，所述润滑剂薄膜包含至少一种全氟聚醚化合物和膦腈衍生物。
16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述润滑剂薄膜形成于数据/信息存储和检索介质的表面上。
17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，所述数据/信息存储和检索介质是圆盘形的磁性或磁-光(MO)记录介质。
18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，所述介质包括形成在基片表面上的层叠结构，该层叠结构包含最上层的含碳(C)保护外涂层，所述润滑剂薄膜是与含碳(C)保护外涂层相接触地覆盖在所述含碳(C)保护外涂层的上面的顶涂层。
19.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述膦腈衍生物是二(4-氟苯氧基)-四(3-三氟甲基苯氧基)环三膦腈。
20.如权利要求15所述的方法，其特征在于，该方法还可包括通过在辐照过程中改变润滑剂薄膜的温度，从而改变所述润滑剂薄膜的最大紫外辐射吸收波长。
全文摘要
揭示了一种系统，该系统包括沉积室，该沉积室具有氙准分子灯，还包括用来将润滑剂沉积在所述沉积室内的入口，所述沉积室能够气相沉积润滑剂，还能够使所述润滑剂原位紫外曝光。还揭示了一种方法，该方法包括在沉积室内，在磁性记录介质上沉积润滑剂，以及用来自氙准分子灯的辐射使所述润滑剂原位紫外曝光。
文档编号C10M107/32GK101058868SQ20071000370
公开日2007年10月24日 申请日期2007年1月12日 优先权日2006年1月13日
发明者M·J·施蒂尼曼, 刘建伟 申请人:希捷科技有限公司