技术特征：
技术总结
本发明提供一种MEMS麦克风及其形成方法，所述MEMS麦克风包括：背极膜，所述背极膜包括相对的第一面和第二面，所述背极膜包括功能区和包围所述功能区的支撑区；位于所述背极膜第一面上的振片膜，所述功能区振片膜中具有第一振片孔，所述第一振片孔贯穿所述振片膜；位于所述第一振片孔中的隔离件，所述隔离件凸出于所述振片膜朝向背极膜的面；位于所述支撑区的背极膜和振片膜之间的支撑件。所述隔离件能够起到支撑所述振片膜和背极膜的作用，从而能够防止振片膜与所述背极膜接触，进而能够防止振片膜与所述背极膜相互吸附，影响MEMS麦克风的正常工作。
技术研发人员：王伟
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
技术研发日：2017.03.22
技术公布日：2018.10.09