技术特征：
技术总结
一种将MEMS管芯附接到表面的方法，包括：将预成型焊料居中并旋转对准在本体的焊接表面上，将MEMS管芯居中并旋转对准在预成型焊料上，以及在回流工艺中加热预成型焊料直到焊料熔融，且熔融的焊料的表面张力将MEMS管芯移动到表面张力平衡的位置，且MEMS管芯居中在本体的焊接表面上，并且与本体的焊接表面旋转对准。
技术研发人员：W.C.朗;J.A.奥赫达;G.K.格利;J.L.阮
受保护的技术使用者：盾安美斯泰克股份有限公司
技术研发日：2017.10.18
技术公布日：2018.05.22