新型的电极结构和多功能传感器阵列及使用他们的多功能传感装置的制作方法

文档序号:13942314阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种电极结构,包括第一电极层和第二电极层,

第一电极层包括具有第一电极图案的绝缘基底和形成在该基底上的导电层,第一电极图案包括能沿第一方向拉伸的第一可拉伸结构和第一接线端,

第二电极层包括具有第二电极图案的绝缘基底和形成在该基底上的导电层,第二电极图案包括能沿第二方向拉伸的第二可拉伸结构和第二接线端,并且第二方向不同于第一方向,

其中,第一电极层与第二电极层如下进行叠置,使得第一电极图案的第一可拉伸结构和第二电极图案的第二可拉伸结构不发生搭接,而第一接线端与第二接线端部分相交,其中第一接线端与第二接线端在相交处绝缘,而第一接线端与第二接线端各自未相交的部分相对布置,从而形成用于容纳并电连接电子器件的节点。

2.一种电极结构阵列,包括第一电极层和第二电极层,

第一电极层包括在该层内平铺的一个以上彼此平行的具有第一电极图案的绝缘基底和形成在该基底上的导电层,第一电极图案包括一个或多个能沿第一方向拉伸的第一可拉伸结构和一个或多个第一接线端,其中第一可拉伸结构与第一接线端交替相连,

第二电极层包括在该层内平铺的一个以上彼此平行的具有第二电极图案的绝缘基底和形成在该基底上的导电层,第二电极图案包括一个或多个能沿第二方向拉伸的第二可拉伸结构和一个或多个第二接线端,其中第二可拉伸结构与第二接线端交替相连,并且第二方向不同于第一方向,

其中,第一电极层与第二电极层如下进行叠置,使得第一电极图案的每个第一可拉伸结构和第二电极图案的任一个第二可拉伸结构都不发生搭接,而每一个第一接线端与仅一个第二接线端发生相交且仅部分相交,其中发生部分相交的第一接线端与第二接线端在相交处绝缘,而该第一接线端与该第二接线端各自未相交的部分相对布置,从而形成用于容纳并电连接电子器件的节点。

3.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其中所述可拉伸结构为蜿蜒结构。

4.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其中第一电极层与第二电极层以第一方向与第二方向彼此垂直的方式叠置。

5.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其中第一接线端和第二接线端分别设置为半圆弧形,从而使得第一接线端与第二接线端在部分相交时形成弧形节点。

6.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其特征在于,所述可拉伸结构和所述接线端的线宽分别为5μm到500μm。

7.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其特征在于,所述可拉伸结构和所述接线端的线宽分别为5μm到300μm。

8.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其特征在于,所述可拉伸结构和所述接线端的线宽分别为5μm到200μm。

9.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其特征在于,所述可拉伸结构和所述接线端的线宽分别为5μm到100μm。

10.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其中所述第一电极层和所述第二电极层的厚度分别为5μm到125μm。

11.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其特征在于,所述绝缘基底由适于微纳加工的聚合物制成。

12.根据权利要求11所述的电极结构阵列,其特征在于,所述聚合物选自聚酰亚胺、聚甲基硅氧烷、聚氨基甲酸酯。

13.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其特征在于,所述导电层由可沉积导电材料形成。

14.根据权利要求13所述的电极结构阵列,其特征在于,所述可沉积导电材料选自Al、Cu、Au、Pt、W、Mo、TiN、PEDOT:PSS、石墨烯。

15.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其特征在于,所述电极阵列结构的第一接线端和第二接线端分别用于与电子器件的两端电连接。

16.根据权利要求15所述的电极结构阵列,其特征在于,所述电子器件包括传感器或执行器。

17.根据权利要求2所述的电极结构阵列,其中在第一电极层的导电层上还施加了电气绝缘层;和/或,在第二电极层的导电层上还施加了电气绝缘层。

18.一种多功能传感器阵列,包括

(a)根据权利要求1的电极结构或根据权利要求2-17任一项所述的电极结构阵列;和

(b)一种或多种传感器,

其中所述一种或多种传感器中的每一个设置在所述电极结构阵列的节点处,分别连接第一接线端和第二接线端,形成电连接。

19.根据权利要求18所述的多功能传感器阵列,其特征在于,所述多功能传感器阵列中包含两个或更多个叠置的电极结构阵列。

20.根据权利要求18所述的多功能传感器阵列,其特征在于,所述传感器选自温度传感器、湿度传感器、光传感器、磁传感器、应力传感器。

21.根据权利要求18所述的多功能传感器阵列,其特征在于,还可以在所述电极结构阵列的节点中设置加温执行器。

22.根据权利要求18-21中任一项所述的多功能传感器阵列,其特征在于,所述传感器作为功能模块以平面分布式布置在电极结构阵列中。

23.根据权利要求18-21中任一项所述的多功能传感器阵列,其特征在于,所述传感器作为功能模块以叠层式布置在所述电极结构阵列中。

24.根据权利要求18-21中任一项所述的多功能传感器阵列,其特征在于,(a)根据权利要求1的电极结构或根据权利要求2-16任一项所述的电极结构阵列和(b)一种或多种传感器被集成且封装在一起。

25.一种可拉伸且可弯曲的多功能传感装置,该多功能传感装置能用来同时监测面积大小和/或表面形貌存在变化的区域的多种不同信号,其特征在于,所述多功能传感装置包括根据权利要求1的电极结构或根据权利要求2-16中任一项的电极结构阵列或根据权利要求18-24中任一项的多功能传感器阵列,以及信号输出机构。

26.根据权利要求25所述的多功能传感装置,其为电子皮肤或可穿戴装置。

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