技术特征：
技术总结
在所描述的实例中，MEMS装置(206)包封在包含在按体积计大于1％的水平的非金属氧化物气体的密封封装(200)内。在至少一个实例中，所述MEMS装置(206)针对来自各种起因的早期故障受到保护，所述起因包含通过所述非金属氧化物气体的部分与在所述MEMS装置(206)的所述封装(200)内的各种暴露的表面和/或所述表面上的吸附的水层反应的充电、粒子生长和静摩擦。
技术研发人员：S·J·雅各布斯;M·N·辛格
受保护的技术使用者：德州仪器公司
技术研发日：2017.12.14
技术公布日：2019.07.05