技术总结
本发明提供一种触诊探头及其制造方法，所述触诊探头所述触诊探头包括探头基座，以及位于所述探头基座上的MEMS传感器阵列，其中：所述MEMS传感器阵列中的各个MEMS传感器在行和列的方向均对齐排布，每行所述MEMS传感器共用一个下电极；所述探头基座包括被衬，所述被衬的表面设置有数量与所述MEMS传感器阵列行数相同的胶条槽；每行所述MEMS传感器通过设置在所述胶条槽内的第一导电胶条与所述被衬粘接。采用本发明提供的触诊探头及其制造方法，可以不使用线路板，减少触诊探头上的传感器与探头基座的连接线，使触诊探头具有结构紧凑、便于生产、封装结构稳定可靠性好等优点。
技术研发人员：宋军华;王洪超;何常德;王晓琴;陈金;胡志杰;薄云峰;薛黄琦;何静;
受保护的技术使用者：北京先通康桥医药科技有限公司;
技术研发日：2018.02.07
技术公布日：2018.06.19