技术特征：
技术总结
本申请涉及包括膜和致动器的MEMS器件。MEMS器件包括具有第一腔体的半导体支撑体，包括固定到支撑体的周边部分和悬置部分的膜。第一可变形结构与膜的悬置部分的中心部分相隔一段距离，并且第二可变形结构朝向膜的周边部分而相对于第一可变形结构横向偏移。将突出区域固定在膜下方。第二可变形结构是可变形的，以便沿第一方向平移膜的悬置部分的中心部分，并且第一可变形结构是可变形的，以便沿第二方向平移膜的悬置部分的中心部分。
技术研发人员：D·帕希;D·朱斯蒂
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2018.08.06
技术公布日：2019.02.26