技术特征：
技术总结
本发明公开了一种硅基凸面反射镜的制备方法，该方法是将常规作为电极的薄铂片做成空心球体并把从空心球体上截得的一个球冠做成阴极，圆形硅片为阳极，球冠形薄铂片的凸面背离着硅片；先采用恒流源对硅片进行电化学腐蚀，在硅片靠近球冠形薄铂片的一侧面上形成剖面为凸形的多孔硅膜；再采用化学腐蚀的方法腐蚀掉多孔硅膜，从而形成硅基凸面反射镜。通过本发明的方法，能获得硅基凸面反射镜，能广泛应用于微光机电系统，为微光机电系统领域作出了重大的贡献。
技术研发人员：龙永福
受保护的技术使用者：湖南文理学院
技术研发日：2018.08.16
技术公布日：2018.12.21