技术特征：
技术总结
本发明提供了一种微纳结构的制备方法，包括以下步骤：在金属基板单面部分覆盖玻璃片，得到基体；在基体覆盖有玻璃片的一面进行等离子体刻蚀，得到微纳结构；所述等离子体刻蚀用气体包括含氟气体和Ar。本发明提供的微纳结构制备方法简单，由本发明实施例可知，本发明提供的方法制备得到的微纳结构形貌较好。
技术研发人员：叶鑫;胡锡亨;邵婷;伍景军;石兆华;夏汉定;李青芝;刘红婕;杨李茗;郑万国;吴卫东;黄进;王凤蕊
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
技术研发日：2018.09.03
技术公布日：2019.01.01