1.一种气相HF熏蒸装置的进气系统，其特征在于，包括气态乙醇进气支路，在所述气态乙醇进气支路上设置有盛装有液态乙醇的容器，在所述容器上设置有氮气输入管路和乙醇输出管路，其中，所述氮气输入管路的出气口位于所述容器内的液态乙醇的液面之上，所述乙醇输出管路的一端插入液态乙醇内部。
2.根据权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述氮气输入管路上设置有调压阀。
3.根据权利要求2所述的进气系统，其特征在于，所述乙醇输出管路上设置有蒸发器和/或第一流量控制器，所述蒸发器设置在所述流量控制器之后。
4.根据权利要求1-3任一所述的进气系统，其特征在于，还包括氮气进气支路，所述氮气进气支路上设置有第二流量控制器。
5.根据权利要求4所述的进气系统，其特征在于，还包括HF气体进气支路，所述HF气体进气支路上设置有第三流量控制器。
6.根据权利要求5所述的进气系统，其特征在于，还包括进气管路，所述进气管路用于汇合所述气态乙醇进气支路、所述氮气进气支路以及所述HF气体进气支路的气体。
7.一种气相HF熏蒸装置，其特征在于，包括权利要求1-6任一所述的进气系统。
8.根据权利要求7所述的气相HF熏蒸装置，其特征在于，还包括反应室，所述反应室与进气系统相连通，所述反应室为低真空腔。
9.根据权利要求8所述的气相HF熏蒸装置，其特征在于，还包括出气系统，所述出气系统用于排出所述气相HF熏蒸装置内的气体，所述出气系统包括出气管路，所述出气管路上设置有抽气泵。
10.根据权利要求8或9所述的气相HF熏蒸装置，其特征在于，还包括加热装置，所述加热装置用于给所述进气系统和反应室加热。