技术总结
本发明涉及一种用于检测和/或调节摆动体围绕摆动轴线的摆动幅度的设备、用于检测摆动体在围绕摆动轴线摆动期间的运动方向的设备、一种MEMS设备和相应方法，其中摆动体摆动时发生在摆动体的至少一个电极与一个固定电极之间的电容的电容变化，设备具有：检测电路，用于检测表示电容变化量度的信号。此外，存在评估电路用于从信号确定信息，该信息是用于信号中的预定事件距通过摆动的基准位置的时间点的时间间隔的量度，该预定事件对应于摆动体的角位置，其中评估电路被设计为从所确定的信息和摆动体的摆动的所测定的周期计算摆动体的摆动幅度，和/或在使用所确定的信息和所测定的摆动体摆动周期的情况下调节摆动体的摆动幅度。
技术研发人员：C·斯坦纳;S·G·阿尔伯特;F·M·达勒;M·E·亨内克;T·图尔纳;H·范利罗普
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2019.07.12
技术公布日：2020.01.21