技术特征：
技术总结
本发明一种基于旋转折叠梁和纳米光学谐振腔的面内加速度计及方法，由一个旋转折叠梁‑质量块‑硅外框的加速度位移敏感结构和一个由纳米光学谐振腔、激光器、光隔离器、分光棱镜、两个光电探测器探测组成的位移测量机构组成，其中纳米光学谐振腔包含一个覆盖银膜的亚波长硅光栅、一层空气间隙和一个覆盖银膜的硅基底。本发明利用旋转折叠梁的弹性结构实现了高加速度‑位移灵敏度、低离轴串扰的面内加速度位移转换，通过纳米光学谐振腔实现了超高灵敏度的位移测量，两者结合实现了高测量灵敏度的面内加速度测量；本发明加速度位移敏感结构和纳米光学谐振腔均由单片绝缘体上硅晶圆制成，因此本发明可实现大规模、低成本和高精度的面内加速度测量。
技术研发人员：卢乾波;姚远;方卫栋;白剑;王学文
受保护的技术使用者：西北工业大学
技术研发日：2019.07.31
技术公布日：2019.10.15