一种MEMS陀螺仪的冷压焊真空封装结构的制作方法

文档序号:21869324发布日期:2020-08-14 19:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种mems陀螺仪的冷压焊真空封装结构,其特征在于:包括管壳底座,所述管壳底座上包括适用于冷压焊的金属外腔(9),金属外腔上具有贯穿金属外腔的引脚(11),引脚(11)表面有金属焊盘,引脚(11)与金属外腔(9)通过绝缘材料(10)进行固定连接,绝缘材料(10)为陶瓷烧结而成,还包括陶瓷基板(7);所述陶瓷基板(7)具有与引脚(11)电气连接的通孔,上下表面均铺有电路层(4),陶瓷基板(7)表面具有利用硅橡胶或环氧树脂胶(3)粘接的mems陀螺仪芯片(5)以及asic电路(1),陶瓷基板(7)、mems陀螺仪芯片(5)以及asic电路(1)采用金丝(2)键合的形式进行电气连接;所述陶瓷基板(7)与引脚(11)采用焊锡或者焊膏(6)进行固定,以完成陶瓷基板(7)与引脚(11)的电气连接,还包括金属管帽(8);所述金属管帽(8)与底座金属外腔(9)均采用适用于冷压焊技术的延性金属制成。

2.如权利要求1所述的一种mems陀螺仪的冷压焊真空封装结构,其特征在于:金属管帽(8)与底座金属外腔(9)在真空环境下通过冷压焊技术进行密封焊接。


技术总结
本实用新型针对真空回流焊工艺以及真空熔焊工艺中出现的成品率差、焊料出气、真空保持性不好、封装过程中施加高温等问题提出了一种新型的适用于MEMS陀螺仪的冷压焊真空封装结构,本实用新型采取冷压焊封帽技术,封装过程中无需施加高温和焊料,很好的避免了高温引起的热致封装效应以及焊料的出气问题,并具有较好的真空保持性可以提高器件的品质因数Q值和其他性能。

技术研发人员:闫桂珍;赵前程;林龙涛;闫俊杰
受保护的技术使用者:北京微元时代科技有限公司
技术研发日:2019.05.22
技术公布日:2020.08.14
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