传感器封装结构、电子设备以及封装方法与流程

文档序号:21606146发布日期:2020-07-24 17:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种传感器封装结构,其特征在于,包括:

封装基板,所述封装基板设置有容置槽;

asic芯片,所述asic芯片固定于所述容置槽内,所述asic芯片与所述封装基板电连接;

封装材料,所述封装材料覆盖所述asic芯片;

mems芯片,所述mems芯片固定于所述封装基板的表面;

引线,所述引线穿过所述封装材料并电连接所述mems芯片与所述asic芯片。

2.根据权利要求1所述的传感器封装结构,其特征在于,所述mems芯片对应固定于所述asic芯片的上方位置。

3.根据权利要求1所述的传感器封装结构,其特征在于,所述封装材料的表面与所述封装基板的表面齐平。

4.根据权利要求1所述的传感器封装结构,其特征在于,所述mems芯片粘接于所述封装材料的表面。

5.根据权利要求1所述的传感器封装结构,其特征在于,所述asic芯片焊接于所述容置槽内。

6.根据权利要求1所述的传感器封装结构,其特征在于,采用塑封工艺使所述封装材料覆盖所述asic芯片。

7.根据权利要求1所述的传感器封装结构,其特征在于,所述封装材料为塑封胶或塑封树脂。

8.根据权利要求1所述的传感器封装结构,其特征在于,所述asic芯片通过金线与所述封装基板电连接。

9.一种电子设备,其特征在于,包括如权利要求1-8中任意一项所述的传感器封装结构。

10.一种传感器封装方法,其特征在于,该方法包括:

准备封装基板;

在封装基板上形成容置槽;

将asic芯片固定于所述容置槽内;

将所述asic芯片与所述封装基板电连接;

将引线的一端与所述asic芯片电连接,并将另一端引出至所述容置槽外;

将所述asic芯片封装于所述容置槽内;

将mems芯片固定于封装所述asic芯片的封装材料表面;

将所述引线引出所述容置槽外的一端与所述mems芯片电连接。

11.根据权利要求10所述的传感器封装方法,其特征在于,所述mems芯片固定于所述asic芯片的正上方。

12.根据权利要求10所述的传感器封装方法,其特征在于,将所述asic芯片封装于所述容置槽内的过程中,将所述封装材料的表面设置为与所述封装基板的表面齐平。


技术总结
本发明公开了一种传感器封装结构、电子设备以及封装方法,包括:封装基板,所述封装基板设置有容置槽;ASIC芯片,所述ASIC芯片固定于所述容置槽内,所述ASIC芯片与所述封装基板电连接;封装材料,所述封装材料覆盖所述ASIC芯片;MEMS芯片,所述MEMS芯片固定于所述封装基板的表面;引线,所述引线穿过所述封装材料并电连接所述MEMS芯片与所述ASIC芯片。本发明的一个技术效果在于,通过将MEMS芯片固定在用于封装ASIC芯片的封装材料表面,减小了传感器封装在水平方向的尺寸。

技术研发人员:徐超
受保护的技术使用者:歌尔微电子有限公司
技术研发日:2020.03.27
技术公布日:2020.07.24
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