技术特征：
1.一种用于微机电系统mems设备的控制电路，所述控制电路包括：输入逻辑电路，被配置为接收控制信号和至少一个mems驱动信号，并且基于此导致至少一个修改后的驱动信号的生成，所述至少一个修改后的驱动信号被用于驱动所述mems设备；逻辑电路装置，被配置为：接收来自所述mems设备的反馈信号，并且指示所述反馈信号何时处于其峰值，所述反馈信号指示所述mems设备的运动；以及基于所述反馈信号何时处于其峰值的所述指示，基于所述峰值是否至少等于期望峰值来生成所述控制信号，所述期望峰值指示所述mems设备的所述运动达到期望幅度；其中所述输入逻辑电路被配置为：当所述反馈信号至少等于所述期望峰值时，修改所述至少一个mems驱动信号以生成所述至少一个修改后的驱动信号，对所述至少一个mems驱动信号的所述修改使得所述至少一个修改后的驱动信号具有依赖于所述控制信号的可变频率和/或占空比。2.根据权利要求1所述的控制电路，其中所述逻辑电路装置包括：模数转换器，当所述逻辑电路装置指示所述反馈信号处于其峰值时，所述模数转换器将所述反馈信号数字化；以及比较器，所述比较器将数字化的反馈信号与所述期望峰值进行比较，以生成所述控制信号。3.根据权利要求2所述的控制电路，其中当所述数字化的反馈信号小于所述期望峰值时，所述比较器断言所述比较器的输出，否则解除断言所述比较器的输出；并且其中所述输入逻辑电路包括至少一个与门，所述至少一个与门接收所述控制信号和所述至少一个mems驱动信号作为输入，作为对所述控制信号和所述至少一个mems驱动信号执行逻辑与操作的结果，所述与门生成所述至少一个修改后的驱动信号。4.根据权利要求3所述的控制电路，还包括缓冲器，所述缓冲器被耦合在所述至少一个与门的输出与所述mems设备之间。5.根据权利要求2所述的控制电路，其中当所述数字化的反馈信号小于所述期望峰值时，所述比较器断言所述比较器的输出，否则解除断言所述比较器的输出；其中所述至少一个mems驱动信号包括相位彼此相反的第一mems驱动信号和第二mems驱动信号；其中所述至少一个修改后的驱动信号包括第一修改后的驱动信号和第二修改后的驱动信号，所述第一修改后的驱动信号和所述第二修改后的驱动信号用于驱动所述mems设备；并且其中所述输入逻辑电路包括：第一与门，接收所述控制信号和所述第一mems驱动信号作为输入，作为对所述控制信号和所述第一mems驱动信号执行逻辑与操作的结果，所述第一与门生成所述第一修改后的驱动信号；以及第二与门，接收所述控制信号和所述第二mems驱动信号作为输入，作为对所述控制信号和所述第二mems驱动信号执行逻辑与操作的结果，所述第二与门生成所述第二修改后的驱动信号。6.根据权利要求5所述的控制电路，还包括第一缓冲器和第二缓冲器，所述第一缓冲器被耦合在所述第一与门的输出与所述mems设备之间，所述第二缓冲器被耦合在所述第二与门的输出与所述mems设备之间。
7.根据权利要求1所述的控制电路，还包括驱动频率生成器和驱动时钟生成器，所述驱动频率生成器被配置为生成驱动频率信号，所述驱动时钟生成器被配置为基于所述驱动频率信号生成所述至少一个mems驱动信号。8.根据权利要求7所述的控制电路，还包括：相位延迟电路，被配置为接收所述反馈信号，并且对所述反馈信号施加相位延迟；相位估计电路，被配置为在由所述相位延迟电路对所述反馈信号施加所述相位延迟之后接收所述反馈信号，接收所述至少一个mems驱动信号，并且生成相位估计信号，所述相位估计信号指示所述反馈信号是领先还是滞后于所述至少一个mems驱动信号；群延迟估计电路，被配置为接收所述相位估计信号，以考虑系统相位延迟来确定所述mems设备是否工作在谐振状态，并且基于所述确定来生成输出信号；以及谐振比例-积分-微分环路，被配置为基于来自所述群延迟估计电路的所述输出信号进行操作，以生成驱动频率输入；其中所述驱动时钟生成器被配置为基于所述驱动频率输入而生成所述驱动频率信号。9.根据权利要求1所述的控制电路，其中当所述反馈信号至少等于所述期望峰值时，所述输入逻辑电路通过阻止所述至少一个修改后的驱动信号的生成来修改所述至少一个mems驱动信号，直到所述反馈信号小于所述期望峰值。10.根据权利要求1所述的控制电路，其中当所述反馈信号至少等于所述期望峰值时，所述输入逻辑电路通过缩短所述至少一个修改后的驱动信号的脉冲宽度，来修改所述至少一个mems驱动信号，直到所述反馈信号小于所述期望峰值。11.根据权利要求1所述的控制电路，其中所述mems设备包括mems微镜和位置传感器，所述mems微镜由所述至少一个修改后的驱动信号驱动，所述位置传感器与所述mems微镜相关联，并且生成所述反馈信号。12.根据权利要求1所述的控制电路，其中当所述反馈信号至少等于所述期望峰值时，所述输入逻辑电路通过对所述至少一个驱动信号反相来修改所述至少一个驱动信号。13.根据权利要求1所述的控制电路，其中所述逻辑电路装置包括：峰值估计电路，被配置为接收来自所述mems设备的所述反馈信号，并且指示所述反馈信号何时处于其峰值，所述反馈信号指示所述mems设备的运动；以及逻辑核心，被配置为接收来自所述峰值估计电路的所述指示，所述指示指示所述反馈信号何时处于其峰值，并且基于所述峰值是否至少等于期望峰值来生成所述控制信号，所述期望峰值指示所述mems设备的运动达到期望幅度。14.一种操作mems设备的方法，包括：生成至少一个mems驱动信号；基于控制信号修改所述至少一个mems驱动信号，以生成至少一个修改后的驱动信号；以及通过以下来生成所述控制信号：确定来自所述mems设备的反馈信号何时处于其峰值，当所述反馈信号处于其峰值时将所述峰值与期望值进行比较，以及根据所述峰值是否至少等于期望值来生成所述控制信号；其中基于所述控制信号修改所述至少一个mems驱动信号以生成所述至少一个修改后的驱动信号包括：当所述控制信号指示所述峰值至少等于所述期望值时，跳过所述至少一
个修改后的驱动信号的下一脉冲的生成。15.根据权利要求14所述的方法，其中当所述峰值至少等于期望值时，所述控制信号被断言；并且其中对所述至少一个mems驱动信号的所述修改是通过在所述控制信号和所述至少一个mems驱动信号之间执行逻辑与操作来完成的。16.根据权利要求14所述的方法，其中所述至少一个修改后的驱动信号是在所述反馈信号至少等于所述期望值时，通过至少一些时间对所述至少一个驱动信号进行反相而被生成的。
技术总结
公开了利用稀疏脉冲的MEMS致动设备。一种操作MEMS设备的方法，包括：生成MEMS驱动信号；以及基于控制信号生成和修改MEMS驱动信号以产生修改后的驱动信号。该方法还包括通过确定来自MEMS设备的反馈信号何时处于其峰值来生成控制信号，当反馈信号为其峰值时将峰值与期望值进行比较，以及根据峰值是否至少等于期望值来生成控制信号。基于控制信号修改MEMS驱动信号以生成修改后的驱动信号包括当控制信号指示峰值至少等于期望值时跳过修改后的驱动信号的下一脉冲的生成。信号的下一脉冲的生成。信号的下一脉冲的生成。
技术研发人员：D
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2021.12.09
技术公布日：2022/6/14