一种锥形磁场与电场复合的定域沉积加工装置的制作方法

文档序号:12458382阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种锥形磁场与电场复合的定域沉积加工装置,通过在电沉积系统的阳极和阴极间施加一个倒圆锥形磁场,使沉积离子在受到电场力驱动向阴极运动过程中,同时受磁场作用产生洛伦兹力;沉积离子在电场和磁场的共同作用下沿磁感线方向做螺旋前进运动,从而提高电沉积的定域性。加入磁场后还可以加快液相传质,提高沉积速度,减少反应气泡停留在沉积表面的时间,细化晶粒,提高沉积质量。本发明适用于对微机械或微电子机械系统中微细金属零件的加工制造,也可用于微小型零件的修复和表面强化,属于微细快速成型加工领域。

技术研发人员:戴学仁;张朝阳;杨敬博;焦健;徐金磊;曹增辉
受保护的技术使用者:江苏大学
文档号码:201610566789
技术研发日:2016.07.18
技术公布日:2016.12.21

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