一种可在线监测的小型回旋加速器固体靶电镀装置的制作方法

文档序号:11752296阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可在线监测的小型回旋加速器固体靶电镀装置,其特征在于,所述电镀装置包括:底板、底座、盖板、垫圈、管柱、顶板、支柱、导线和电极;其中,在底板上固定或镶嵌底座;所述底座的中央具有与靶体形状相一致的凹槽,靶体放置在底座的凹槽内;在靶体上设置盖板,将靶体固定在底座上;所述盖板为环形,中间具有通孔,裸露靶体中央的表面;在盖板的环形上设置有导线孔,导线从导线孔穿入,并由盖板将导线压在靶体上;在靶体裸露的表面上设置一根垂直的管柱,所述管柱是透明的;所述管柱的形状为内部中空的圆筒;所述管柱与靶体之间设置垫圈;在管柱的顶端设置顶板,将管柱压紧在垫圈上;在顶板和底板之间设置多根支柱,相互牵拉顶板和底板;在顶板的中央与管柱相对应的位置设置有电极孔,电极通过电极孔插入管柱内部。

2.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述底板是受力部件,采用结构材料。

3.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述底座采用耐受电解液和洗涤液的材料。

4.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述管柱的内部中空的截面尺寸和靶体的电镀区域的尺寸相同;管柱采用耐受电解液的硬质透明材料。

5.如权利要求4所述的电镀装置,其特征在于,所述管柱的材料采用石英。

6.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述垫圈的水平形状和尺寸与管柱的截面相同;垫圈的材料采用耐受电解液的材料。

7.如权利要求6所述的电镀装置,其特征在于,所述垫圈的材料采用聚硅酮。

8.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述顶板是受力部件,采用结构材料。

9.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述支柱的两端具有承受底板和顶板的拉力的结构;支柱采用结构材料。

10.如权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述支柱的底端具有外螺纹,底板与支柱相应的位置具有螺纹孔;所述支柱的顶端具有螺纹孔,顶板与支柱相应的位置具有螺纹孔,螺钉通过顶板的螺纹孔和支柱的螺纹孔,旋进支柱的顶端。

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