一种可在线监测的小型回旋加速器固体靶电镀装置的制作方法

文档序号:11752296阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种可在线监测的小型回旋加速器固体靶电镀装置。本实用新型的电镀装置包括:底板、底座、盖板、垫圈、透明的管柱、顶板、支柱、导线和电极;本实用新型采用透明的管柱垂直压在靶体上,在管柱内加入电解液并插入电极进行电镀,能够实时对电镀液和镀层进行观察和监测,通过肉眼观察电解液的颜色、气泡产生速率、电极的高度和靶体上电镀层的情况;还可以将小型机械搅拌器插入管柱内,对电解液进行搅拌;还可以在管柱四周搭设光路,对电解液进行光学检测;本实用新型使电镀装置的关键部分及电解液在装置组装和电镀过程中皆处于可见状态;使得操作人员可以实时在线的观察和测量镀层和电解液情况,继而调控电镀参数。

技术研发人员:任秋实;孟祥溪;朱华;杨志
受保护的技术使用者:北京大学
文档号码:201621080966
技术研发日:2016.09.26
技术公布日:2017.05.03

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