基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质的制作方法

技术特征：

1.一种基板装卸装置，利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件对基板进行夹持来保持所述基板，该基板装卸装置的特征在于，

具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，

该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，

该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，该第二保持器保持装置以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

2.如权利要求1所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述第一姿势是相对于所述基板装卸装置的设置面大致垂直的姿势。

3.如权利要求1或2所述的基板装卸装置，其特征在于，

还具备支承装置，

该支承装置具有第一支承板和固定机构，

该第一支承板用于在所述第二保持器保持装置的相反侧对所述第一保持部件进行支承，

该固定机构用于将所述第一保持部件保持于所述第一支承板。

4.如权利要求3所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述支承装置具有多根连杆，

该多根连杆与所述第一支承板中的支承有所述第一保持部件的一侧的相反侧的面连结，

通过所述多根连杆的移动，所述第一支承板能够进行移动。

5.如权利要求3所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述固定机构具有按压部件，该按压部件能够在与所述第一保持部件的面重叠的位置和与所述第一保持部件的面不重叠的位置之间旋转。

6.如权利要求3所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述第一保持部件具有臂部，

所述第一保持器保持装置还具有臂接收部，

该臂接收部对所述第一保持部件的臂部进行支承，

所述第一保持部件悬架于所述臂接收部。

7.如权利要求6所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述臂接收部具有定位销，

该定位销能够在用于与定位孔卡合的位置以及与所述定位孔不卡合的位置之间移动，

该定位孔设于所述第一保持部件的所述臂部。

8.如权利要求6所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述臂接收部具有通电确认装置，

该通电确认装置用于对经由所述第一保持部件的连接器的所述基板的电导通进行检查，

所述通电确认装置对所述连接器的多个外部连接接点对的外部连接接点间的电阻值进行测定。

9.如权利要求3所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述第一支承板构成为矩形状且对多边形形状的所述第一保持部件进行支承。

10.如权利要求1所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述第二保持器保持装置具有第一促动器，

该第一促动器用于使设于所述第一保持器保持装置所支承的所述第一保持部件的夹紧件动作，使所述第二保持部件保持于所述第一保持部件。

11.如权利要求10所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述第一促动器具有第一棒状部件，

该第一棒状部件在与第一支承板垂直的方向上移动，

通过该第一棒状部件对与所述夹紧件连结的杆进行按压，使所述第一保持部件的所述夹紧件绕与所述第一支承板平行的轴旋转。

12.如权利要求11所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述第一棒状部件是由气缸驱动的活塞。

13.如权利要求1所述的基板装卸装置，其特征在于，

第二保持器保持装置具有第二支承板和第二促动器，

该第二支承板用于对所述第二保持部件进行支承，

该第二促动器设于所述第二支承板，

所述第二促动器使设于所述第二保持部件的夹持件动作，使所述基板保持于夹持件。

14.如权利要求13所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述第二促动器具有第二棒状部件，

该第二棒状部件在与所述第二支承板垂直的方向上移动，

通过该第二棒状部件使所述第二保持部件的夹持件绕与所述第二支承板平行的轴旋转。

15.如权利要求14所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述第二棒状部件是由气缸驱动的活塞。

16.如权利要求1所述的基板装卸装置，其特征在于，

第二保持器保持装置具有：

吸附装置，该吸附装置用于将所述第二保持部件保持于所述第二支承板；

回旋机构，该回旋机构用于使所述第二支承板回旋；以及

直线运动机构，该直线运动机构使所述第二支承板相对于所述第一保持部件接近和离开。

17.如权利要求16所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述吸附装置具有推入吸附缸体，

所述推入吸附缸体具有吸盘和开口部，

该吸盘按压于所述第二保持部件，

该开口部在所述吸盘开口且用于向所述第二保持部件侧供给气体。

18.如权利要求16或17所述的基板装卸装置，其特征在于

所述回旋机构具有第一电动马达，

该第一电动马达用于使所述第二支承板旋转。

19.如权利要求16所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述直线运动机构具有第二电动马达和旋转直线运动转换机构，

该旋转直线运动转换机构将第二电动马达的动力转换到直线方向，

所述第二电动马达具有电磁制动器。

20.如权利要求16所述的基板装卸装置，其特征在于，

第二保持器保持装置还具有水平定位装置，

该水平定位装置与所述第二保持部件的侧面抵接，且用于在所述第二支承板的面内对所述第二保持部件进行定位。

21.如权利要求16所述的基板装卸装置，其特征在于，

所述第二支承板构成为矩形状且对多边形形状的所述第二保持部件进行支承。

22.一种镀覆装置，其特征在于，

具备基板装卸装置以及镀覆处理部，

该基板装卸装置利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件对基板进行夹持来保持所述基板，

该镀覆处理部接收在所述基板装卸装置中保持了所述基板的所述基板保持器且对所述基板实施镀覆处理，

所述基板装卸装置具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，

该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，

该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，该第二保持器保持装置以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

23.一种基板装卸装置的控制装置，所述基板装卸装置利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件对基板进行夹持来保持所述基板，该控制装置的特征在于，执行包含下述步骤的处理：

通过第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承；

通过第二保持器保持装置在以第二姿势对所述第二保持部件进行支承的状态下使所述基板固定于所述第二保持部件，再将所述第二保持部件回旋到所述第一姿势，所述第二姿势与所述第一姿势大致正交；

使第二保持器保持装置朝所述第一保持器保持装置直行；以及

通过第二保持器保持装置将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

24.一种存储介质，存储有用于使计算机执行基板装卸装置的控制方法的程序，该基板装卸装置利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件对基板进行夹持来保持所述基板，该存储介质的特征在于，存储有用于使计算机执行下述步骤的程序：

通过第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承；

通过第二保持器保持装置在以第二姿势对所述第二保持部件进行支承的状态下使所述基板固定于所述第二保持部件，再将所述第二保持部件回旋到所述第一姿势，所述第二姿势与所述第一姿势大致正交；

使第二保持器保持装置朝所述第一保持器保持装置直行；以及

通过第二保持器保持装置将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。