一种喷流电镀装置的制作方法

文档序号:26127514发布日期:2021-08-03 13:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种喷流电镀装置,其特征在于,包括喷流盒,至少一个隔板,至少一个阳极板和喷嘴机构;

所述至少一个隔板分别设置于所述喷流盒中,用于将所述喷流盒分隔为至少两个腔室;

所述至少一个阳极板设置于所述喷流盒的外侧壁上,用于作为电镀作业的阳极;

所述喷嘴机构穿过所述至少一个阳极板插装于所述喷流盒中,所述喷流盒中的镀液通过所述喷嘴机构喷出。

2.根据权利要求1所述的喷流电镀装置,其特征在于,所述至少一个隔板上均设置有多个导通孔,用于使所述喷流盒中的所述至少两个腔室之间贯通,以使所述至少两个腔室中的压力均匀。

3.根据权利要求1所述的喷流电镀装置,其特征在于,所述喷流盒与所述喷嘴机构连接的一侧设置有多个固定通孔;

所述喷嘴机构依次穿过所述至少一个阳极板插装于所述多个固定通孔中。

4.根据权利要求3所述的喷流电镀装置,其特征在于,所述至少一个阳极板上均设置有多个连接通孔;

所述喷嘴机构穿过所述多个连接通孔并插装于所述多个固定通孔中。

5.根据权利要求4所述的喷流电镀装置,其特征在于,所述喷嘴机构包括多个喷嘴;

所述多个喷嘴分别依次穿过所述至少一个阳极板并分别插装于所述多个固定通孔中;

所述多个喷嘴与所述多个固定通孔一一对应;

所述镀液通过所述多个喷嘴被喷出所述喷流盒。

6.根据权利要求1所述的喷流电镀装置,其特征在于,还包括遮罩板;

所述遮罩板设置于所述喷嘴机构和所述至少一个阳极板之间,用于遮挡所述至少一个阳极板的边缘,以及确定所述至少一个阳极板作为阳极的区域。

7.根据权利要求6所述的喷流电镀装置,其特征在于,所述遮罩板上设置有多个第一通孔;

所述喷嘴机构穿过所述多个第一通孔,并穿过所述至少一个阳极板插装于所述喷流盒中。

8.根据权利要求6所述的喷流电镀装置,其特征在于,所述遮罩板的中部设置有第二通孔;

所述至少一个阳极板上与所述第二通孔对应的区域为作业区域;

所述作业区域为所述电镀作业的阳极区域。

9.根据权利要求1所述的喷流电镀装置,其特征在于,所述喷流盒上设置有密封盖,用于密封所述喷流盒。

10.根据权利要求9所述的喷流电镀装置,其特征在于,所述密封盖上设置有喷流压力管;

所述喷流压力管与所述喷流盒的内部贯通,并用于与外部设备连接,以将所述镀液通过所述喷嘴机构送出所述喷流盒。


技术总结
本申请实施例提供一种喷流电镀装置,包括喷流盒,至少一个隔板,至少一个阳极板和喷嘴机构;所述至少一个隔板分别设置于所述喷流盒中,用于将所述喷流盒分隔为至少两个腔室;所述至少一个阳极板设置于所述喷流盒的外侧壁上,用于作为电镀作业的阳极;所述喷嘴机构穿过所述至少一个阳极板插装于所述喷流盒中,所述喷流盒中的镀液通过所述喷嘴机构喷出。通过喷嘴机构的设置,能够提供具有方向性和强喷压的镀液,使得能够在镀件的凹陷位形成较强的镀液交换,增强凹陷位金属的沉积速率,并避免凹陷镀层中形成包心等瑕疵,最终形成平整的镀层表面。

技术研发人员:张二航
受保护的技术使用者:东莞市康迈克电子材料有限公司
技术研发日:2020.11.12
技术公布日:2021.08.03
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1