电镀液循环过滤系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及电镀技术领域，具体为一种电镀液循环过滤系统。
【背景技术】
[0002]UV-Liga工艺分为光刻，微电铸，微复制三个步骤。其中微电铸失败，镀层可能出现:发花或发雾、不亮、粗糙、有麻点、有条纹、疏松、有毛刺、长瘤、长针孔、脱皮、橘皮、泪痕和羽状等现象。因此，电铸的成功与否直接决定了微复制能否成功，而电铸液性能的好坏正是电镀工艺的关键。俗话说得好“三分电镀七分干净”，即电镀液的洁净度对最终的电镀效果可以说起着十分巨大的影响，而传统的电镀行业都没有把循环过滤这一部分考虑到，或者是考虑到了没有提出切实可行的方案来解决这个问题。有的把配好的电镀液一直电镀到完都没有过滤过一次，有的则是电镀一段时间后用滤纸简单过滤一遍后继续使用。显然这些对于洁净度要求相当高的电镀工艺而言是远远不够的。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是为了解决上述现有技术中存在的问题，而提供一种电镀液循环过滤系统。
[0004]本发明是通过如下技术方案实现的:
一种电镀液循环过滤系统，包括电镀槽、PH值测试笔、温度控制系统、超声控制系统、磁力泵、100微米级过滤器和10微米级过滤器；其中，电镀槽分为电镀内槽和电镀外槽，电镀外槽环绕固定在电镀内槽的外侧壁中上部；PH值测试笔插装在电镀内槽或电镀外槽内；温度控制系统和超声控制系统安装固定在电镀内槽的底板外部；磁力泵与电镀外槽的底部连接相通，100微米级过滤器与磁力泵连接相通，10微米级过滤器与100微米级过滤器连接相通，10微米级过滤器与电镀内槽的底部连接相通。
[0005]进一步的，电镀外槽的槽口高于电镀内槽的槽口。电镀内槽和电镀外槽采用喷氟不锈钢材料制作而成。温度控制系统和超声控制系统的整体外部套装有振盒，振盒采用喷氟不锈钢材料制作而成。
[0006]当工艺开始后，温度控制系统、超声控制系统、磁力泵同时启动，磁力泵将电镀外槽中的电镀液压入100微米级过滤器，再经过10微米级过滤器，经过滤的干净电镀液再从电镀内槽底部进入电镀内槽，电镀内槽电镀液溢出后进入电镀外槽，如此，循环往复，直到工艺结束，如图1所示，其中的箭头表示溶液循环路径。对于比较脏的电镀液，请及时更换过滤器滤芯。
[0007]电镀槽槽体采用喷氟不锈钢材料，保证了电镀槽的结构的稳定性和耐腐蚀性；PH值测试笔以方便随时测试并控制电镀液的PH值；温度控制系统用于监测并控制电镀槽内电镀液的温度，可加温可制冷；超声控制系统的超声频率为80KHZ，功率最大为450W，予以保证电镀时电镀液成份的均一稳定以及增强对微小结构尤其是微米级结构电镀的能力；10微米级过滤器和100微米级过滤器组成两层过滤器系统，一是防止大颗粒杂质直接阻塞10微米级过滤器，再是可以使电镀液更加洁净，还有则是减少了 10微米级过滤器的更换次数，从而节约了成本；连接各器件之间的管路材料采用耐腐蚀PP管材，过滤器及磁力泵也采用耐腐蚀材料。最后在该电镀槽上配备喷氟铜电极，以避免电极置于电镀液或则潮湿的空气中的腐蚀现象。
[0008]本发明系统设计科学、结构稳定、耐腐蚀好，在保证了电镀液洁净的基础上也使电镀液的性质更加均一稳定，该系统中增设的温度、超声控制系统不仅使其在微电镀方面的性能优于其他电镀系统，尤其是对于高深宽比的微结构。本发明系统保持了微电镀中电镀液的新鲜以及保持电镀液性能均一稳定，为进一步的电镀工作垫下了坚实的基础，同时也加快了国内像UV-Liga这种基于电镀工艺的发展，进而带动整个行业更好的发展。
【附图说明】
[0009]图1为本发明系统的结构示意图。
[0010]图中:1-PH值测试笔、2-温度控制系统、3-超声控制系统、4-磁力泵、5-100微米级过滤器、6-10微米级过滤器、7-电镀内槽、8-电镀外槽、9-振盒。
【具体实施方式】
[0011]以下结合附图对本发明作进一步的描述:
如图1所示，一种电镀液循环过滤系统，包括电镀槽、PH值测试笔1、温度控制系统2、超声控制系统3、磁力泵4、100微米级过滤器5和10微米级过滤器6 ;其中，电镀槽分为电镀内槽7和电镀外槽8，电镀外槽8环绕固定在电镀内槽7的外侧壁中上部；PH值测试笔I插装在电镀内槽7或电镀外槽8内；温度控制系统2和超声控制系统3安装固定在电镀内槽7的底板外部；磁力泵4与电镀外槽8的底部连接相通，100微米级过滤器5与磁力泵4连接相通，10微米级过滤器6与100微米级过滤器5连接相通，10微米级过滤器6与电镀内槽7的底部连接相通。
[0012]具体实施时，电镀外槽8的槽口高于电镀内槽7的槽口 ；电镀内槽7和电镀外槽8采用喷氟不锈钢材料制作而成；温度控制系统2和超声控制系统3的整体外部套装有振盒9，振盒9采用喷氟不锈钢材料制作而成。
【主权项】
1.一种电镀液循环过滤系统，包括电镀槽，其特征在于:还包括PH值测试笔(1)、温度控制系统(2)、超声控制系统(3)、磁力泵(4)、100微米级过滤器(5)和10微米级过滤器(6);其中，电镀槽分为电镀内槽(7)和电镀外槽(8)，电镀外槽(8)环绕固定在电镀内槽(7)的外侧壁中上部；PH值测试笔(I)插装在电镀内槽(7)或电镀外槽(8)内；温度控制系统(2)和超声控制系统(3)安装固定在电镀内槽(7)的底板外部；磁力泵(4)与电镀外槽(8)的底部连接相通，100微米级过滤器(5)与磁力泵(4)连接相通，10微米级过滤器(6)与100微米级过滤器(5)连接相通，10微米级过滤器(6)与电镀内槽(7)的底部连接相通。
2.根据权利要求1所述的电镀液循环过滤系统，其特征在于:电镀外槽(8)的槽口高于电镀内槽(7)的槽口。
3.根据权利要求1或2所述的电镀液循环过滤系统，其特征在于:电镀内槽(7)和电镀外槽(8)采用喷氟不锈钢材料制作而成。
4.根据权利要求1或2所述的电镀液循环过滤系统，其特征在于:温度控制系统(2)和超声控制系统(3 )的整体外部套装有振盒(9 )，振盒(9 )采用喷氟不锈钢材料制作而成。
5.根据权利要求3所述的电镀液循环过滤系统，其特征在于:温度控制系统(2)和超声控制系统(3)的整体外部套装有振盒(9)，振盒(9)采用喷氟不锈钢材料制作而成。
【专利摘要】本发明为一种电镀液循环过滤系统，包括电镀内槽、电镀外槽、PH值测试笔、温度控制系统、超声控制系统、磁力泵、100微米级过滤器和10微米级过滤器；PH值测试笔插装在电镀内槽或电镀外槽内；温度控制系统和超声控制系统安装固定在电镀内槽的底板外部；磁力泵与电镀外槽的底部连接相通，100微米级过滤器与磁力泵连接相通，10微米级过滤器与100微米级过滤器连接相通，10微米级过滤器与电镀内槽的底部连接相通。本发明系统保持了微电镀中电镀液的新鲜以及保持电镀液性能均一稳定，为进一步的电镀工作垫下了坚实的基础，同时也加快了国内像UV-Liga这种基于电镀工艺的发展，进而带动整个行业更好的发展。
【IPC分类】C25D21-18
【公开号】CN104862769
【申请号】CN201510248943
【发明人】张斌珍, 段俊萍, 王雄师, 徐苏坪, 杨昕, 张勇, 王亮, 葛少雷, 寇海荣, 孙玉洁, 杨婧文, 段亚敏
【申请人】中北大学
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年5月16日