专利名称：一种充气接头的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及仪器仪表(分析仪器)领域，特别是一种分子泵用的充气接头。
背景技术：
分子泵是一种常用的真空获得设备，它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体 分子，使之获得定向速度，使气体被压缩并驱向至排气口，再使气体被前级抽走的一种真空 泵。其中，耐腐蚀分子泵应用于腐蚀性气体工作环境，如离子刻蚀、等离子体和半导体器件 等的生产中。耐腐蚀分子泵的主轴与防油盖之间存在一定的运动间隙，在工作过程中腐蚀性气 体会通过这一间隙进入分子泵内部的，对分子泵内部的上轴承、电机、下轴承等轴系结构的 零件进行腐蚀破坏。因此，现有技术中的耐腐蚀分子泵会在上述轴系结构中使用专用防腐 润滑油并设置气体保护机构(即充入保护性气体，如氩气等惰性气体，或氮气、空气等)来 实现对轴系结构的保护。气体保护机构的设置如图1所示，在耐腐蚀分子泵的泵体1上设置 有接头2，所述接头2与成型在所述泵体1内部的气体管路3连通，所述气体管路3的出口 端与导管4连通，所述导管4适于插入主轴5与防油盖6之间的间隙。在进行充气保护时， 外界保护性气体的气源通过所述接头2进入所述间隙，以稀释所述间隙中的腐蚀性气体浓 度，或者通过增大所述间隙中的气压来阻止腐蚀性气体进入所述间隙，从而实现对轴系结 构的保护。但是，不同耐腐蚀分子泵在不同使用过程中所需要的保护性气体的气体流量是不 同的，需要根据实际情况进行调节，因此现有技术中在保护性气体通入所述接头2之前，会 在耐腐蚀分子泵的外部单独设置用于控制气体流量的专用装置；另外，充入所述间隙的保 护性气体还必须要保持干燥，并且不能含有粉尘等杂质，这是由于一旦过多的水分和杂质 进入轴系结构将影响轴承的润滑作用，缩短轴系结构零件的使用寿命，因此现有技术中在 保护性气体通入所述接头2之前，还会在耐腐蚀分子泵的外部单独设置一个用于干燥和过 滤保护性气体的专用装置，从而使保护性气体经过气流控制和过滤后再通过充气接头进入 轴系结构中进行保护。从上述叙述可以看出，现有技术中的充气接头只起到连通气源，使保护性气体进 入轴系结构的作用，而保护性气体的气流控制和过滤只能利用独立设置在耐腐蚀分子泵外 部的专用装置才能进行，这无疑使整体设备更加庞杂，增加了设备成本，而且还会对设备的 维护造成极大不便，使设备维护的成本大大增加。
实用新型内容为此，本实用新型所要解决现有技术中充气接头只能起到连通气源和导通气体的 作用，而保护性气体的气流控制只能利用独立设置在耐腐蚀分子泵外部的专用装置才能进 行的问题，而提供一种能够对充入的保护性气体有效地进行流量控制的充气接头。另外，本 实用新型提供的充气接头还能对充入的保护性气体进行过滤。[0007]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下一种充气接头，包括本体，所述本体的内部成型有充气孔；所述充气接头还包括 用于控制气体流量的气流控制机构，所述气流控制机构设置于所述充气孔内。 上述充气接头中，所述充气孔的靠近进气口的一端为装配通孔，靠近出气口的一 端为通气小孔，所述通气小孔比所述装配通孔的横截面积小；所述气流控制机构为可限位 地安装在所述装配通孔中的限流部件，所述限流部件包括限位体和阀针，所述限位体成型 有与所述充气孔连通的气体通道，所述阀针为上大下小且适于插入所述通气小孔中的尖锥 形；所述限流部件和所述装配通孔之间还设有限位机构。上述充气接头中，所述充气孔的所述进气口与所述限流部件之间设置有气体过滤 机构，保护性气体通过所述气体过滤机构进入所述气体通道。上述充气接头中，所述气体过滤机构包括过滤芯体和锁紧部件，所述过滤芯体设 置在所述限流部件和所述锁紧部件之间，所述锁紧部件可拆卸地设置在所述装配通孔中， 且所述锁紧部件内成型有与所述充气孔连通的通气孔。上述充气接头中，所述锁紧部件内部还成型有腔室，所述过滤芯体设置于所述腔室中。上述充气接头中，所述限流部件内部成型有容纳腔，所述过滤芯体设置于所述容 纳腔中。上述充气接头中，所述锁紧部件成型有向所述进气口凹陷的锁紧部件凹槽，所述 限流部件成型有向所述出气口凹陷的限流部件凹槽，所述锁紧部件凹槽和所述限流部件凹 槽相互配合形成用于容纳所述过滤芯体的容纳腔。上述充气接头中，所述气体通道为气体导孔。上述充气接头中，所述限位机构包括成型在所述装配通孔内壁的内螺纹和成型在 所述限流部件外表面、与所述内螺纹配合的外螺纹。上述充气接头中，所述锁紧部件和所述限流部件的上表面均成型有操作槽。本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点①本实用新型的充气接 头，在充气孔内设置有气体流量控制机构，可对所充入的保护性气体流量进行有效控制，取 代了现有技术中独立设置在耐腐蚀分子泵外部的专用气体流量控制装置，节约了整体设备 的制造成本，使整体设备结构紧凑，且维护方便、成本低；②本实用新型的充气接头，其中气 体流量控制机构为可限位地安装在装配通孔中的限流部件，限流部件包括限位体和阀针， 阀针为上大下小且适于插入通气小孔中的尖锥形，通过限位机构调节阀针插入通气小孔的 多少，来调节通气小孔用于导通气体的横截面的大小，从而控制气体的流量，上述结构简 单、易于实现，而且可根据实际需要随时调节、改变气体流量的大小，操作简易、方便；③本 实用新型的充气接头，在充气孔的进气口与限流部件之间还设有气体过滤机构，能够对充 入的保护性气体进行干燥和过滤，去除保护性气体中的水分和粉尘等杂质，取代了现有技 术中独立设置在耐腐蚀分子泵外部的专用过滤装置，节约了整体设备的制造成本，使整体 设备结构更加紧凑，且维护方便、成本低，能够对耐腐蚀分子泵中轴系结构进行有效保护； ④本实用新型的充气接头，其中气体过滤机构包括过滤芯体和锁紧部件，过滤芯体设置在 限流部件和锁紧部件之间，过滤芯体可设置在锁紧部件内的腔室中，在调节好保护性气体 的流量后，通过安装锁紧部件，来防止限流部件发生松动，而且还能有效防止由于误操作而导致的气体流量变化，从而确保气体流量控制的准确性；⑤本实用新型的充气接头，其中过 滤芯体还可设置在限流部件内部的容纳腔中，或者设置在由锁紧部件凹槽和限流部件凹槽 相互配合形成的容纳腔中，使结构更加紧凑严密；⑥本实用新型的充气接头，其中限位机构 包括成型在装配通孔内壁的内螺纹和成型在限流部件外表面、与内螺纹配合的外螺纹，上 述限位机构结构简单、易于实现而且操作方便，利于进行气体流量控制；⑦本实用新型的充 气接头，锁紧部件和限流部件的上表面均成型有操作槽，能与螺丝刀等工具配合，以转动限 流部件调节气体流量和拧紧/松开锁紧部件。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施 例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中图1是现有技术中耐腐蚀分子泵的剖视示意图；图2是本实用新型充气接头的装配示意图；图3是图2的俯视图；图4是本实用新型充气接头中本体的示意图；图5是图4的俯视图；图6是本实用新型充气接头中锁紧部件的示意图；图7是图6的俯视图；图8是本实用新型充气接头中限流部件的示意图；图9是图8的俯视图。图中附图标记表示为1_泵体，2-接头，3-气体管路，4-导管，5-主轴，6-防油盖， 7-本体，8-装配通孔，9-通气小孔，10-限流部件，11-气体导孔，12-过滤芯体，13-锁紧部 件，14-通气孔，15-限位体，16-阀针，17-腔室，18-操作槽。
具体实施方式
如图2和3所示，是本实用新型充气接头的优选实施例。所述充气接头包括本体 7，气流控制机构和气体过滤机构。所述本体7的内部成型有充气孔，所述气流控制机构和所述气体过滤机构均设置 在所述充气孔内。如图4和5所示，所述充气孔靠近进气口的一端为装配通孔8，靠近出气 口的一端为通气小孔9，所述通气小孔9比所述装配通孔8的横截面积小。所述气流控制机构用于控制充入的保护性气体的气体流量，所述气流控制机构包 括限流部件10，所述限流部件10可限位地安装在所述装配通孔8，所述限流部件10和所述 装配通孔8之间设有限位机构。如图8和9所示，所述限流部件10包括限位体15和阀针 16，所述限位体15成型有与所述充气孔连通的气体通道，在本实施例中所述气体通道为气 体导孔11。所述阀针16为上大下小且适于插入所述通气小孔9中的尖锥形。在本实施例 中，所述限位机构包括成型在所述装配通孔8内壁的内螺纹和成型在所述限流部 件10外表 面、与所述内螺纹配合的外螺纹。另外，在所述限流部件10的上表面还成型有操作槽18，所 述操作槽18能与螺丝刀等工具配合，以调节所述阀针16进入所述通气小孔9中的多少，来 改变所述通气小孔9用于导通气体的横截面的大小，从而实现对充入的保护性气体的流量控制。所述气体过滤机构用于对充入的保护性气体进行干燥和过滤，去除保护性气体中的水分和粉尘等杂质。所述气体过滤机构设置在所述充气孔的所述进气口与所述限流部件 10之间，保护性气体通过所述气体过滤机构进入所述限流部件10的所述气体导孔11。所 述气体过滤机构包括过滤芯体12和锁紧部件13，所述过滤芯体12设置在所述限流部件10 和所述锁紧部件13之间。所述锁紧部件13的外表面成型有与所述装配通孔8内壁的所述 内螺纹相配合的外螺纹，使所述锁紧部件13可拆卸地设置在所述装配通孔8中。所述锁紧 部件13内成型有与所述充气孔连通的通气孔14和腔室17，如图6和7所示，所述过滤芯体 12设置于所述腔室17中；所述锁紧部件13的上表面还成型有操作槽18，所述操作槽18能 与螺丝刀等工具配合，以锁紧固定。利用本实用新型提供的所述充气接头进行充气的具体工作过程详述如下第一，将所述充气接头安装在耐腐蚀分子泵的泵体1上，将保护气体的气源接头 与所述充气接头固定连通；第二，充入保护性气体，所述保护性气体将从所述充气孔的所述进气口进入所述 充气接头，并通过所述过滤芯体12进入所述限流部件10的所述气体导孔11，所述保护性气 体进而通过由所述阀针16与所述通气小孔9形成的气道进入所述耐腐蚀性分子泵的轴系 结构，以实现对所述轴系结构的保护。在其他实施例中，所述限流部件10内部还可成型有容纳腔，使所述过滤芯体12设 置在所述容纳腔中。在其他实施例中，所述锁紧部件13还成型有向所述进气口凹陷的锁紧 部件凹槽，所述限流部件10还成型有向所述出气口凹陷的限流部件凹槽，所述锁紧部件凹 槽和所述限流部件凹槽相互配合形成容纳腔，所述过滤芯体12可设置在该容纳腔中。在其他实施例中，所述限位体15的所述气体通道还可为通气槽等。显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对 于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或 变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或 变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
权利要求一种充气接头，包括本体(7)，所述本体(7)的内部成型有充气孔；其特征在于所述充气接头还包括用于控制气体流量的气流控制机构，所述气流控制机构设置于所述充气孔内。
2.根据权利要求1所述的充气接头，其特征在于所述充气孔的靠近进气口的一端 为装配通孔(8)，靠近出气口的一端为通气小孔(9)，所述通气小孔(9)比所述装配通孔 (8)的横截面积小；所述气流控制机构为可限位地安装在所述装配通孔(8)中的限流部件 (10)，所述限流部件(10)包括限位体(15)和阀针(16)，所述限位体(15)成型有与所述充 气孔连通的气体通道，所述阀针(16)为上大下小且适于插入所述通气小孔(9)中的尖锥 形；所述限流部件(10)和所述装配通孔(8)之间还设有限位机构。
3.根据权利要求2所述的充气接头，其特征在于所述充气孔的所述进气口与所述限 流部件(10)之间设置有气体过滤机构，保护性气体通过所述气体过滤机构进入所述气体 通道。
4.根据权利要求3所述的充气接头，其特征在于所述气体过滤机构包括过滤芯体 (12)和锁紧部件(13)，所述过滤芯体(12)设置在所述限流部件(10)和所述锁紧部件(13) 之间，所述锁紧部件(13)可拆卸地设置在所述装配通孔(8)中，且所述锁紧部件(13)内成 型有与所述充气孔连通的通气孔(14)。
5.根据权利要求4所述的充气接头，其特征在于所述锁紧部件(13)内部还成型有腔 室(17)，所述过滤芯体(12)设置于所述腔室(17)中。
6.根据权利要求4所述的充气接头，其特征在于所述限流部件(10)内部成型有容纳 腔，所述过滤芯体(12)设置于所述容纳腔中。
7.根据权利要求4所述的充气接头，其特征在于所述锁紧部件(13)成型有向所述进 气口凹陷的锁紧部件凹槽，所述限流部件(10)成型有向所述出气口凹陷的限流部件凹槽， 所述锁紧部件凹槽和所述限流部件凹槽相互配合形成用于容纳所述过滤芯体(12)的容纳 腔。
8.根据权利要求2所述的充气接头，其特征在于所述气体通道为气体导孔(11)。
9.根据权利要求2-8任一所述的充气接头，其特征在于所述限位机构包括成型在所 述装配通孔(8)内壁的内螺纹和成型在所述限流部件(10)外表面、与所述内螺纹配合的外 螺纹。
10.根据权利要求9所述的充气接头，其特征在于所述锁紧部件(13)和所述限流部 件(10)的上表面均成型有操作槽(18)。
专利摘要一种充气接头，包括本体(7)，所述本体(7)的内部成型有充气孔；所述充气接头还包括用于控制气体流量的气流控制机构，所述气流控制机构设置于所述充气孔内。本实用新型提供的充气接头能对充入的保护性气体进行流量控制。
文档编号F04D29/00GK201593524SQ20092035074
公开日2010年9月29日 申请日期2009年12月30日 优先权日2009年12月30日
发明者曾秋林, 赵海标 申请人:北京中科科仪技术发展有限责任公司