专利名称：干泵尾气管道的制作方法
干泵尾气管道
技术领域：
本发明涉及一种干泵尾气管道，尤其涉及一种应用于半导体制程工艺中的干泵尾气管道。
背景技术：
在半导体制程的某些工艺中，干泵已被广泛应用，例如在低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中、半导体刻蚀工艺中，而在这些生产工艺中，往往会用到或者生成腐蚀性气体和研磨微粒，此时，需要干泵来对半导体制程设备及处理室进行净化和抽真处理，并将微粒或者气体排出干泵外。为了使干泵能顺利排放微粒或粉尘，干泵的尾气管道处通常都设有加热装置，来去除微粒或粉尘的凝结，达到良好的排放效果。例如，在氮化硅等粉尘CVD工艺设备中，干泵(Dry Pump)的尾气管道通常需要使用加热氮气的装置来除去粉尘的凝结，而目前这种加热方式主要是使用电热管加热方式进行处理，如图1所示为用于尾气管道上的电热管100’。由于这种电热管加热方式存在加热面积小、电热管内电热丝容易烧断的缺陷，同时，由于电热管的加热圈10’为接触式电热圈， 其直接接触空气，导致加热时有很多能量都被耗散到空气中，造成能源浪费。鉴于上述问题，有必要提供一种新的干泵尾气管道来解决上述问题。
发明内容本发明所解决的技术问题在于提供一种干泵尾气管道，其可有效减少能量消耗并具有更高的安全可靠性。为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案一种干泵尾气管道，包括一管体，该管体设有一内表面和一外表面，所述干泵尾气管道进一步包括一电磁感应加热装置， 该电磁感应加热装置包括一缠绕于所述管体外表面上的感应线圈及位于所述感应线圈内侧的保温隔层。作为本技术方案的进一步改进，所述管体的内表面上设有用于传热的不锈钢片。作为本技术方案的进一步改进，所述管体呈圆形并设有一通气口及用于安装的安装部。相较于现有技术，本发明所述的干泵尾气管道通过加装一电磁感应加热装置来实现对管体的加热，大大提高了加热效率，减少了能量的消耗。
图1为现有技术中干泵尾气管道所用电热管的结构示意图。图2为本发明所述的干泵尾气管道的立体示意图。图3为本发明所述的干泵尾气管道的剖面结构示意图。
具体实施方式
请参图2、图3所示，本发明提供一种干泵尾气管道100，其包括圆形管体10及安装于所述圆形管体10上的电磁感应加热装置20。所述圆形管体10的两端分别设有一通气口 11，且至少一端设有用于安装的安装部12。所述通气口 11呈圆形，用于供干泵抽真排出气体或粉尘微粒。所述安装部12也呈圆形，并尺寸大于所述管体10的其他部分。所述圆形管体10设有一个内管面13及外表面 14，该内管面13上安装有用于导热的不锈钢片14，如此，可方便热量通过导热的不锈钢片 15传至管体10内的气体。请参阅图3所示，所述电磁感应加热装置20包括一绕设于所述管体10外表面14 上的感应线圈21及一包裹在所述管体10上的保温隔层22。其中，所述感应线圈21呈圆形缠绕于管体10上并通过通电产生涡流而实现对管体10进行加热，而所述保温隔层22贴于所述管体10的表面并位于所述感应线圈21的内侧，使得感应线圈21直接贴于所述保温隔层22上，如此，使得涡流所产生的热量大部分将被所述保温隔层22所保留，可被充分地利用起来对管体10内的气体进行加热处理，减少了热量的损耗，极大的提高了加热效率，同时，电磁感应的加热方式也更为安全可靠，且具有使用寿命长、温度控制方便等特点。以上所述，仅是本发明的最佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，利用上述揭示的方法内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，均属于权利要求书保护的范围。
权利要求
1.一种干泵尾气管道，包括一管体，该管体设有一内表面和一外表面，其特征在于所述干泵尾气管道进一步包括一电磁感应加热装置，该电磁感应加热装置包括一缠绕于所述管体外表面上的感应线圈及位于所述感应线圈内侧的保温隔层。
2.如权利要求1所述的干泵尾气管道，其特征在于所述管体的内表面上设有用于传热的不锈钢片。
3.如权利要求2所述的干泵尾气管道，其特征在于所述管体呈圆形并设有一通气口及用于安装的安装部。
全文摘要
本发明提供了一种干泵尾气管道，包括一管体，该管体设有一内表面和一外表面，所述干泵尾气管道进一步包括一电磁感应加热装置，该电磁感应加热装置包括一缠绕于所述管体外表面上的感应线圈及位于所述感应线圈内侧的保温隔层。相较于现有技术，本发明所述的干泵尾气管道通过加装一电磁感应加热装置来实现对管体的加热，大大提高了加热效率，减少了能量的消耗。
文档编号F04B39/06GK102562530SQ20101060535
公开日2012年7月11日 申请日期2010年12月27日 优先权日2010年12月27日
发明者何亮, 孙建华 申请人:无锡华润上华科技有限公司