专利名称：真空泵以及真空泵中使用的部件的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于半导体制造装置中的进行处理腔等真空容器的排气处理的涡轮分子泵等真空泵，详细地说，涉及改善因排气口及连接器的设置位置而降低的排气性能，或者使真空泵小型化的技术。
背景技术：
作为涡轮分子泵的大流量泵，将旋转翼部和圆筒螺旋部组合而成的复合翼型泵广为普及。在图9中示出了这种复合翼型泵的一例。该复合翼型泵200包括在上部形成有从未图示的腔室吸引气体的吸气口 10的筒状的壳体20，在该壳体20的内部设置在旋转体 30上的多片旋转翼32，与这些旋转翼32交互地设置的固定翼40，构成通过牵引作用进行排气的螺旋槽部80的带螺旋的衬套45和旋转翼圆筒部50，覆盖壳体20的下部的圆盘状的基座70，将从吸气口所在的上游侧排出的气体向下游侧的外部排出的排气口 90，存在于外部并且与用于控制该泵的控制器电连接的连接器100，以及覆盖底部的后盖110。旋转体30由径向轴承34、36以及推力轴承38通过磁悬浮而非接触地支撑，并且位置被控制。该旋转体30由驱动用马达驱动而高速旋转。通过该旋转体30高速旋转，设在该旋转体30上的旋转翼32也同时高速旋转，在与交互配置的固定翼40的相互作用下进行排气。一般来说，在涡轮分子泵中，存在泵的性能因背压侧(排气口侧)的压力而受到影响的背压依存性。为此，在复合翼型泵中，通过扩大螺旋槽部80的直径，将螺旋槽部80的轴向长度取为较长，在将吸气口侧的压力维持在低压的状态下增大背压，其结果使泵的性會旨提尚。但是，复合翼型泵要在与设置有关的制约条件中进行设计，特别是当将螺旋槽部 80的长度加长时，泵自身的轴向长度将变长，会产生设置上的问题。在专利文献1中，公开了用于防止因加长螺旋槽部而排气口的泵内侧的开口面积缩小、排气性能降低的技术。即，当泵的旋转部从内侧封堵了排气口的泵内侧的开口部的一部分时，排气性能降低。这是由于当开口部减小时，传导力降低，妨碍了向排气口流动的缘故。为此，在该技术中，通过相对于从螺旋槽部向设在基座或者带螺旋的衬套上的排气口连接的圆筒孔从内侧设置半径方向为深度方向的二字型的槽，从而防止排气口的开口面积的缩小，其结果提高了泵的排气性能。但是，作为专利文献1记载的技术的相对于朝向排气口的圆筒孔从内侧设置-字槽在进行车床加工之际需要特殊的切削工具及定位，加工困难。而且，即使能够加工，在作业上也花费人力和时间，不可否定地制造成本将上升。进而，当要铸造箱体时，由于在内侧存在凹槽，所以难以从模具中取出，存在模具的构造复杂化，铸造的成本飞涨的问题。
除此之外，当螺旋转子部在旋转中破坏时，其碎片与螺旋定子部碰撞，当力作用在该螺旋定子部上或经由其作用在箱体上时，在所形成的槽部的拐角产生应力集中，存在此处成为泵的强度上的弱点而使泵自身的强度降低的可能性。而且，即使在半导体制造装置中，当在干法蚀刻装置中腔室内反应的处理气体的压力上升时，如果不是高于常温的温度，则状态从气体变化成固体。由于该性质，在将复合翼型泵用于干法蚀刻装置的排气中的情况下，该处理气体固化后的反应生成物堆积在气体的压力增高的螺旋槽部，泵的排气性能降低。因此，需要定期除去堆积在泵内部的反应生成物，但由于清洗剂及除去用的道具难以进入二字槽的内部，所以也存在除去作业繁杂的问题。进而，在除去反应生成物时，需要目视确认是否已全部除去。并且由于除去后一般来说干法蚀刻装置的处理气体腐蚀性强，所以需要目视确认有无螺旋定子部或箱体的气体流路面的腐蚀，和为了防腐蚀对策而实施的电镀等有无表面覆膜的剥离，在有的情况下进行修复。当在气体流路面上存在不能够目视的部分时，该部分的反应生成物的残留或腐蚀被忽视，在未修补的状态下再次开始真空泵的使用。并且在腐蚀加剧，螺旋定子或箱体的强度劣化，产生了上述那样的定子破坏的情况下，存在其断裂而产生漏气的可能性。即使是现有技术那样二字槽，通过使槽的深度较浅而能够减少不能够目视的部分，但在这种情况下， 则产生了为了使槽较浅而不能够确保充分的开口面积的问题。另一方面，作为别的问题，存在与连接器有关的问题。在涡轮分子泵中，为了电力向马达及磁轴承供给和信号的输入输出，设有起到与控制器连接作用的连接器。该连接器的配线能穿入其中的孔成为了与排气流路完全隔离的构造。这是由于当通过孔与排气流路连接，气体流入连接器侧时，将产生排气性能的劣化或连接器部的腐蚀，在某些情况下成为故障的原因，存在泵中引起重大问题的可能性的缘故。而且，在螺旋槽部下端的高度位置低于连接器配线穿入用的孔的高度位置的情况下，必须要减小连接器配线穿入用的孔的开口面积，从马达及磁轴承向连接器连接的配线的穿入作业更难。因而加长螺旋槽部在连接器部也与排气口同样地存在必须增大真空泵的高度尺寸的问题。在上述以往的技术中，并未考虑这种与连接器有关的问题。专利文献1 特开2008-163857号公报。
发明内容
本发明的第一目的是提供一种真空泵，在以减小真空泵的高度尺寸等的目的，将螺旋槽部在泵内向下方延长或配置在下方时，能够减小随之产生的排气性能的降低。本发明的第二目的是提供一种真空泵，在以减小真空泵的高度尺寸等的目的，将螺旋槽部在泵内向下方延长或配置在下方时，改善了随之降低的连接器配线的作业容易性。本发明技术方案1所记载的真空泵，具备吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，以及用于排出经过上述吸气口吸引的气体的排气口，在上述气体的流路上，形成有连通上述旋转体的下游的空间与上述排气口作用的气体排出通路，上述旋转体延伸到上述气体排出通路的上述旋转体的径向内周侧，其特征
5在于，对于上述气体排出通路的上述下游的空间侧的开口缘部，从上方侧和斜上方侧中的至少一侧、或者从下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察形成上述气体排出通路的气体排出通路形成部件时，没有不可视部分。本发明技术方案2的真空泵的特征在于在上述技术方案1中，上述气体排出通路形成部件为上述定子。本发明技术方案3的真空泵的特征在于在上述技术方案1中，具备覆盖上述旋转体以及/或者上述定子的外周侧的壳体，上述气体排出通路形成部件为上述壳体。本发明技术方案4的真空泵的特征在于在上述技术方案1中，具备支撑上述定子的箱体或者基座部件，上述气体排出通路形成部件为上述箱体或者上述基座部件。本发明技术方案5的真空泵的特征在于在上述技术方案1中，具备形成上述排气口，并且向上述真空泵内部延伸的排气口部件，上述气体排出通路形成部件为上述排气口部件。本发明技术方案6的真空泵的特征在于在上述技术方案1至5任意一项中，上述开口缘部的拐角部为减小应力集中的拐角倒角形状。本发明技术方案7所记载在种真空泵具备吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，以及用于排出经过上述吸气口吸引的气体的排气口，在上述气体的流路上，形成有连通上述旋转体的下游的空间与上述排气口作用的气体排出通路，上述旋转体延伸到上述气体排出通路的上述旋转体的径向内周侧，其特征在于，上述气体排出通路的上述下游的空间侧的开口缘部的拐角部为减小应力集中的拐角倒角形状。即使仅使拐角倒角形状的倒角半径R为0. Imm,也能够得到应力集中的减小的效果。若进一步增大该倒角半径R，能够得到更大的应力集中的减小效果。本发明技术方案8的真空泵的特征在于在上述技术方案1至7任意一项中，具备连接控制上述旋转体旋转的控制器的连接器，在上述箱体或者上述基座部件上，设有与上述旋转体的旋转中心轴线大致同轴状的大致同轴状孔，连接上述连接器与上述马达的导线能穿入其中的导线穿入孔，以及连通上述大致同轴状孔与上述导线穿入孔的槽。控制器既可以与连接器直接连接，也可以经由缆线与连接器连接。本发明技术方案9所记载的真空泵具备吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，支撑上述定子的箱体或者基座部件，以及连接控制上述旋转体旋转的控制器的连接器，其特征在于，在上述箱体或者上述基座部件上，设有与上述旋转体的旋转中心轴线大致同轴状的大致同轴状孔，连接上述连接器与上述马达的导线能穿入其中的导线穿入孔，以及连通上述大致同轴状孔与上述导线穿入孔的槽。本发明技术方案10的真空泵的特征在于在上述技术方案8或9中，上述大致同轴状孔和上述导线穿入孔和上述槽的缘部中的至少一个为转角倒角形状，以减少上述导线因与上述缘部接触而受到的损伤。本发明技术方案11的真空泵的特征在于在上述技术方案8至10任意一项中，从上述旋转体的直径方向来看，上述槽的外周侧端位于比上述导线穿入孔的内周侧端还要外周侧。本发明技术方案12所记载的部件是在真空泵中使用的部件，该真空泵具备吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，以及用于排出经过上述吸气口吸引的气体的排气口，上述部件的特征在于，在上述气体的流路上，形成有连通上述旋转体的下游的空间与上述排气口作用的气体排出通路，在上述气体排出通路的上述下游的空间侧的开口缘部，从上述部件的上方侧和斜上方侧中的至少一侧、或者从上述部件的下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察上述部件时，没有不可视部分。作为上述部件的例子，能够举出构成真空泵的定子、壳体、箱体、基座部件、以及向真空泵内部延伸的排气口部件等。在本发明中，能够减小在将真空泵的螺旋槽部在泵内向下方进一步拉长或者向下方配置时随之产生的泵的排气性能的降低。而且，在本发明中，能够减小在将螺旋槽部在泵内向下方进一步拉长或者向下方配置时随之产生的配线作业性的恶化。
图1是第1实施例所涉及的在带螺旋的衬套上设有排气口的复合翼型泵的纵向剖视图2是第1实施例所涉及的在基座上设有排气口的复合翼型泵的纵向剖视图； 图3是说明在带螺旋的衬套上设有排气口的情况下的第1实施例的附图； 图4是说明在基座上设有排气口的情况下的第1实施例的附图； 图5是用于以在带螺旋的衬套上作为气体排出通路形成有圆筒孔的情况为例说明不可视部分的附图6是用于说明带螺旋的衬套的下方侧与斜下方侧的附图； 图7是用于说明基座的上方侧与斜上方侧的附图； 图8是说明第2实施例的附图； 图9是表示了以往的复合翼型泵的一例的纵向剖视图。附图标记说明
10 吸气口，20 壳体，30 旋转体，32 旋转翼，34、36 径向轴承，38 推力轴承，40 固定翼，45 带螺旋的衬套，4 圆筒孔，50 旋转翼圆筒部，60 马达，70 基座，70a 圆筒孔， 80 螺旋槽部，90 排气口，100 连接器，110 后盖，120 连接器配线用钻孔，130 开口缘部。
具体实施例方式以下，参照图1至图8对本发明的真空泵中的优选实施方式详细地进行说明。图1以及图2是表示本发明所适用的复合翼型泵的结构的纵向剖视图。图1示出了在作为定子的带螺旋的衬套45上设有排气口的例子，图2示出了在作为基座部件的基座70上设有排气口的例子。另外，在图1至图8的说明中，对于与说明了以往例子的图9相同的部件赋予相同的附图标记进行说明。第1实施例是关于改善因作为旋转体的旋转翼圆筒部50或者带螺旋的衬套45封堵了与旋转翼圆筒部50的下游的空间S和排气口 90连通的作为气体排出通路的圆筒孔 45a或者70a的空间S侧的开口部而降低的真空泵的排气性能的技术。
该实施例如图3 (b)以及图4 (b)所示，作为气体排出通路形成部件，在图1中带螺旋的衬套45形成有圆筒孔45a，在图2中基座70形成有圆筒孔70a。带螺旋的衬套45 将圆筒孔45a的空间S侧的开口缘部130形成为，对于该开口缘部130，从下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察带螺旋的衬套45时，没有不可视部分。而且，基座70将圆筒孔70a的空间S侧的开口缘部130形成为对于该开口缘部 130，从上方侧和斜上方侧中的至少一侧去观察基座70时，没有不可视部分。图5是用于以在带螺旋的衬套45上作为气体排出通路形成有圆筒孔45a的情况为例说明不可视部分的附图。由于在图5中存在施加了十字划线的部分，所以对于开口缘部130上，从下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察带螺旋的衬套45时，存在不可视部分。 而在本实施例中，在带螺旋的衬套45所形成的圆筒孔4 上，是将开口缘部130形成为，对于该开口缘部130，在从下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察带螺旋的衬套45时，没有不可视部分。由于从下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察带螺旋的衬套45时，不存在图 5的十字划线部那样遮住了视线的部分，所以能够看到开口缘部130的整个部分。本发明中将这种状态作为没有不可视部分。另一方面，在基座70所形成的圆筒孔70a上，是将开口缘部130形成为对于该开口缘部130，从上方侧和斜上方侧中的至少一侧去观察基座70时，没有不可视部分。在这种情况下，由于从上方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察基座70时，也不存在图5的十字划线那样遮住了视线的部分，所以能够看到开口缘部130的整个部分。接着，对上方侧和斜上方侧、下方侧和斜下方侧的定义进行说明。图6示出了带螺旋的衬套45，图7示出了基座70。如图6和图7所示，将其组装在复合翼型泵中时的吸气口侧作为上侧，将泵的底部侧作为下方侧。即，将中心线C-C’的C侧作为上方侧，将中心线 C-C'的C’侧作为下方侧。进而，将与该中心线C-C’构成小于90度的角度α的直线的C 侧作为斜上方侧，将与该中心线C-C’构成小于90度的角度α的直线的C’侧作为斜下方侧。另外，在开口缘部130上没有从下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察带螺旋的衬套45时的不可视部分意味着开口缘部130的任意的部分包含在从下方侧去观察时的开口缘部130的可视部分、和从斜下方侧去观察时的开口缘部的可视部分中的至少一部分中。在开口缘部130上没有从上方侧和斜上方侧中的至少一侧去观察基座70时的不可视部分意味着开口缘部130的任意部分包含在从上方去侧观察时的开口缘部130的可视部分、 和从斜上方侧去观察时的开口缘部130的可视部分中的至少一部分中。并且排气口 90的外侧通常经由配管与具有吸引力的辅助泵相连。在上述的现有技术中，在连通旋转翼圆筒部50的下游的空间S与排气管90的圆筒孔的空间S侧的开口缘部130上形成有二字槽。图3 (a)、图4 (a)示出了形成该以往的 =字槽的例子。但是，在现有技术中，未使开口缘部130的拐角部形成为这些图中所示的拐角倒角形状。圆筒形状及其真空部的加工通常通过车床加工进行，但在中空部的内壁上沿着相对于圆筒的中心轴线垂直的方向挖出槽的情况下，由于切削工具(刀具)的可加工范围等的制约，或者不能够切削到所必须的深度，或者切削工序复杂化而制造成本上升。但是，在该实施例所涉及的开口缘部130的形状中，由于沿着圆筒的中心轴线挖出与圆筒外周面同轴状的孔地进行切削即可，所以车床的加工也容易。进而，在铸造带螺旋的衬套45或基座70的情况下，由于在中空部的内壁上没有凹槽，所以不仅模具的构造不会复杂化，铸造物从模具中的取出也容易，其结果能够减少铸造的成本。而且，根据该实施例，也不产生堆积的反应生成物的除去、确认有无带螺旋的衬套 45或者基座70的腐蚀、腐蚀的修补这种作业繁杂的问题。因此，能够减少反应生成物的残留、腐蚀修补的遗忘。而且，由于不存在图3 (a)、图4 (a)的施加了十字划线的部分，所以能够或者使旋转翼圆筒部50进一步向下方移动，或者使真空泵的高度更小。接着，作为第1实施例的变形例，如图3(b)所示，使圆筒孔45a的空间S侧的开口缘部130的拐角部为倒角形状，从而成为减少了应力集中的构造。在真空泵、特别是涡轮分子泵中，当运行中旋转翼32与旋转翼圆筒部50高速旋转，其自身上作用有大的离心力，材料强度因与气体的摩擦等产生的温度上升或腐蚀而降低时，将不再能够耐受其离心力而破坏。旋转翼圆筒部50如果在高速旋转中破坏则大多分割成3 4块而破碎，分割的圆筒部与带螺旋的衬套45碰撞，力作用在带螺旋的衬套45上及经由该带螺旋的衬套45作用在基座70上。由于旋转翼32与旋转翼圆筒部50通常是以1万rpm以上的旋转速度旋转，当破坏时其旋转能量被释放，所以作用在衬套45及基座70上的力将非常大。并且带螺旋的衬套45及基座70承受该力而产生大的应力。在现有技术的二字槽的情况下，在槽的拐角部上应力集中，存在以此为起点产生龟裂的可能性。该龟裂存在引起带螺旋的衬套45及基座 70的分断破坏，气体向泵外部泄漏的可能性。该气体泄漏将对周围的环境产生影响。通过如该实施例那样，将圆筒孔4 或者70a的空间S侧的开口缘部130的拐角部加工成倒角形状，能够减小应力集中，其结果能够增加泵自身的强度，减小产生气体泄漏的可能性。进而，相对于现有技术的二字槽存在两个拐角部，在该实施例中拐角部仅有一个，由于应力集中部位减少，所以能够进一步减小产生气体泄漏的可能性。另外，也可以如图3 (a)、图4 (a)所示，使现有技术的二字槽的拐角部为倒角形状。接着，对解决连接器侧的课题的第2实施例进行说明。图8是从后盖110侧观察基座70的附图。如该图所示，当从外周侧在基座70上开孔加工出作为导线穿入孔的连接器配线用孔120时，加工成至旋转翼圆筒部50的径向外周侧的盲孔，成为从底面在基座70上设置了槽102而连通连接器配线用孔120和与旋转翼圆筒部50的旋转中心轴线大致同轴状孔101的构造。在该实施例中，如图8所示，不将连接器配线用孔120开孔加工成至孔101的直线状的通孔，而是开孔加工成至旋转翼圆筒部50的外周侧的盲孔是为了避免连接器配线用孔12与旋转翼圆筒部50或者其下方的气体流路用的空间S相互干涉的缘故。当连接器配线用孔120与气体流路用的空间S相互干涉地连通时，气体将流入连接器配线用孔120中而使连接器腐蚀。而且，如图8所示，通过使形成在连接器配线用孔120和槽102上的转角为转角倒角形状，能够成为不易对连接连接器110和马达及磁轴承的导线带来损伤的构造。而且，槽102的泵外周侧端ο比连接器配线用孔120的泵内周侧i靠外侧。这是由于通过进一步增加该两端ο和i之间的距离L而能够保持从槽102到连接器100的贯通面积更大的缘故。根据该实施例，如果在能够确保导线的配线所必须的最小贯通面积的范围内使槽 102的深度较浅，则能够将旋转翼圆筒部50以及其下方的气体流路用的空间S配置在更下侧。由于导线向连接器100的配线也是由削除了连接器配线用孔120内周侧部分的下侧的壁的形式的槽实现，所以配线容易进行，其结果能够有助于缩短制造泵的时间。这样一来，旋转翼圆筒部50以及其下方的气体流路用的空间S能够不会与连接器配线用孔120相互干涉地或者将长度向下方进一步拉长或者向下方配置。而且，还能够将连接器100的高度位置设置在比以往的泵更高的位置上。其结果能够进一步减小真空泵的高度尺寸。而且，根据该实施例，不必对以往的泵进行大的构造改动即能够使基座70的加工形状简单化，谋求制造成本的减少。
权利要求
1.一种真空泵，具备吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，以及用于排出经过上述吸气口吸引的气体的排气口，在上述气体的流路上，形成有连通上述旋转体的下游的空间与上述排气口作用的气体排出通路，上述旋转体延伸到上述气体排出通路的上述旋转体的径向内周侧，其特征在于，对于上述气体排出通路的上述下游的空间侧的开口缘部，从上方侧和斜上方侧中的至少一侧、或者从下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察形成上述气体排出通路的气体排出通路形成部件时，没有不可视部分。
2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述气体排出通路形成部件为上述定子。
3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备覆盖上述旋转体以及/或者上述定子的外周侧的壳体，上述气体排出通路形成部件为上述壳体。
4.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备支撑上述定子的箱体或者基座部件，上述气体排出通路形成部件为上述箱体或者上述基座部件。
5.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备形成上述排气口，并且向上述真空泵内部延伸的排气口部件，上述气体排出通路形成部件为上述排气口部件。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的真空泵，其特征在于，上述开口缘部的拐角部为减小应力集中的拐角倒角形状。
7.一种真空泵，具备吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，以及用于排出经过上述吸气口吸引的气体的排气口，在上述气体的流路上，形成有连通上述旋转体的下游的空间与上述排气口作用的气体排出通路，上述旋转体延伸到上述气体排出通路的上述旋转体的径向内周侧，其特征在于，上述气体排出通路的上述下游的空间侧的开口缘部的拐角部为减小应力集中的拐角倒角形状。
8.如权利要求1至7中任意一项所述的真空泵，其特征在于，具备连接控制上述旋转体旋转的控制器的连接器，在上述箱体或者上述基座部件上，设有与上述旋转体的旋转中心轴线大致同轴状的大致同轴状孔，连接上述连接器与上述马达的导线能穿入其中的导线穿入孔，以及连通上述大致同轴状孔与上述导线穿入孔的槽。
9.一种真空泵，具备吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，支撑上述定子的箱体或者基座部件，以及连接控制上述旋转体旋转的控制器的连接器，其特征在于，在上述箱体或者上述基座部件上，设有与上述旋转体的旋转中心轴线大致同轴状的大致同轴状孔，连接上述连接器与上述马达的导线能穿入其中的导线穿入孔，以及连通上述大致同轴状孔与上述导线穿入孔的槽。
10.如权利要求8或9所述的真空泵，其特征在于，上述大致同轴状孔和上述导线穿入孔和上述槽的缘部中的至少一个为转角倒角形状，以减少上述导线因与上述缘部接触而受到的损伤。
11.如权利要求8至10中任意一项所述的真空泵，其特征在于，从上述旋转体的直径方向来看，上述槽的外周侧端位于比上述导线穿入孔的内周侧端还要外周侧。
12. —种在真空泵中使用的部件，该真空泵具备吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，以及用于排出经过上述吸气口吸引的气体的排气口，上述部件的特征在于，在上述气体的流路上，形成有连通上述旋转体的下游的空间与上述排气口作用的气体排出通路，对于上述气体排出通路的上述下游的空间侧的开口缘部，从上述部件的上方侧和斜上方侧中的至少一侧、或者从上述部件的下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察上述部件时，没有不可视部分。
全文摘要
本发明的目的是提供一种真空泵，在以减小真空泵的高度尺寸等的目的，旋转部封堵排气口的内侧开口部的情况下减小排气性能的降低及旋转体破坏时的气体泄漏的可能性，进而使连接器的引线的配线容易。使连通旋转体的下游空间与排气口作用的气体排出通路的内侧开口缘部为，对于该开口缘部，从上方侧和斜上方侧中的至少一侧、或者从下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察气体排出通路形成部件时，没有不可视部分。进而使该开口缘部的拐角部为倒角形状，减小应力集中。而且，在基座上设置连通引线配线孔与中央部的孔的槽，进而使其转角为倒角形状。
文档编号F04D19/04GK102483069SQ20108003651
公开日2012年5月30日 申请日期2010年5月31日 优先权日2009年8月28日
发明者三轮田透, 前岛靖, 大立好伸, 高阿田勉 申请人:埃地沃兹日本有限公司