真空泵及其运转方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及从真空腔室等密闭容器抽吸气体的真空泵，尤其涉及一种具有逆变器装置的真空泵，其中，该逆变器装置具备用于避免由过电压及/或过电流导致的故障的保护功能。
【背景技术】
[0002]干式真空泵作为半导体装置的制造设备被广泛使用。在半导体装置的制造过程中有在真空空间中进行产品的处理的工序，为了形成该真空空间而使用干式真空泵。
[0003]干式真空泵通常用逆变器装置进行马达控制，以输出所希望的转矩、或者为了节能或控制真空空间的压力而使运转速度变化。存在为了避免由过电压及/或过电流等错误导致的故障而具有保护自身的保护功能的逆变器装置。该类型的逆变器装置构成为当检测到错误时，保护功能工作并使逆变器装置的运转停止。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2010—127107号公报
[0007]专利文献2:日本特开2011—89428号公报
【发明内容】
[0008]然而，当在半导体装置的生产过程中干式真空泵突然停止运转时，真空空间内的压力上升，对生产中的产品(半导体装置)带来损伤，产生不良品。
[0009]因此，本发明的目的在于，提供一种真空泵及其运转方法，能够降低由错误的发生导致的运转停止的频率。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]为了实现上述目的，本发明的第I方案是，一种真空泵，其特征在于，具有:对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；向上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，在发生了由过电压或者过电流导致的错误的情况下，上述逆变器装置停止自身的运转，如果上述错误的发生满足规定的条件，则上述控制装置使上述逆变器装置重启。
[0012]本发明的第2方案是，一种真空泵，其特征在于，具有:对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，在发生了由过电压或者过电流导致的错误的情况下，上述逆变器装置停止自身的运转，上述控制装置将错误解除信号发送至上述逆变器装置，上述错误接触信号用于解除在预定的期间内发生的错误，若上述逆变器装置接收到上述错误解除信号，则在上述预定的期间内发生了上述错误的情况下上述逆变器装置不使自身的运转停止。
[0013]本发明的第3方案是，一种真空泵，其特征在于，具有:对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，在发生了错误产生的情况下，上述逆变器装置停止自身的运转，上述控制装置在上述逆变器装置的运转停止后使该逆变器装置重启，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值的情况下，不使上述逆变器装置重启。
[0014]本发明的第4方案是，一种真空泵的运转方法，上述真空泵具有:对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，该真空泵的运转方法的特征在于，在发生了由过电压或者过电流导致的错误产生的情况下，使上述逆变器装置的运转停止，如果上述错误的发生满足规定的条件，则使上述逆变器装置重启。
[0015]本发明的第5方案是，一种真空泵的运转方法，上述真空泵具有:对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，该真空泵的运转方法的特征在于，在发生了由过电压或者过电流导致的错误产生的情况下，使上述逆变器装置的运转停止，将错误解除信号发送至上述逆变器装置，上述错误解除信号用于解除在预定的期间内发生的错误，在上述预定期间内发生了上述错误的情况下不使上述逆变器装置的运转停止。
[0016]本发明的第6方案是，一种真空泵的运转方法，上述真空泵具有:对气体进行排气的泵组件；驱动上述泵组件的马达；对上述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制上述逆变器装置的控制装置，该真空泵的运转方法的特征在于，在发生了错误的情况下，使上述逆变器装置的运转停止，在上述逆变器装置的运转停止后使该逆变器装置重启，在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值的情况下，不使上述逆变器装置重启。
[0017]发明效果
[0018]根据本发明的第I方案及第4方案，在错误在规定的条件下发生的情况下，使逆变器装置重启。该规定的条件是如下的错误的发生条件，即预测为即使逆变器装置继续运转，逆变器装置也不会发生故障。通过这样的错误监视控制，能够减少由错误的发生导致的泵的运转停止的频率。
[0019]根据本发明的第2方案及第5方案，在错误在规定的期间内发生的情况下，自动地解除错误且不使逆变器装置停止。通过这样的错误监视控制，能够减少由错误的发生导致的泵的运转停止的频率。
[0020]根据本发明的第3方案及第6方案，除非在设定时间内发生的错误的次数达到规定的阈值，否则即使逆变器装置的运转由于错误发生而停止，也使逆变器装置立即重启。通过这样的错误监视控制，能够减少由错误的发生导致的泵的运转停止的频率。进而，由于每当错误发生时多个计时器的某一个开始时间的计测，所以控制装置能够迅速且可靠地检测出错误以高频率发生的情况。
【附图说明】
[0021]图1是表示本发明的一个实施方式的真空泵的示意图。
[0022]图2是逆变器装置的示意图。
[0023]图3是表示在马达空转运转时发生了错误时的马达的旋转速度的变化的图。
[0024]图4是表示在逆变器装置根据来自控制装置的指令使马达减速时发生了错误时的马达的旋转速度的变化的图。
[0025]图5是用于说明对错误的次数进行计数的计数器和计测监视时间的计时器的动作的图。
[0026]图6是说明在规定的期间，逆变器装置处于错误解除模式的情况的图。
[0027]图7是表示本发明的其他实施方式的真空泵的示意图。
[0028]图8是说明错误以低频率发生的情况下的计时器的动作的时间图。
[0029]图9是说明错误以高频率发生的情况下的计时器的动作的时间图。
[0030]图10是说明使用一个计时器来判断在设定时间内发生的错误的次数是否达到规定的阈值的方法的时间图。
[0031]附图标记说明
[0032]I泵组件
[0033]2 马达
[0034]5逆变器装置
[0035]7控制装置
[0036]8密闭容器
[0037]11转换器部
[0038]15平滑电容器
[0039]12逆变器部
[0040]13栅极驱动器
[0041]16逆变器控制部
[0042]22计数器
[0043]23、23A ?23E 计时器
【具体实施方式】
[0044]以下，参照【附图说明】本发明的实施方式。
[0045]图1是表示本发明的一个实施方式的真空泵的示意图。如图1所示，真空泵具有对气体进行排气的泵组件1、驱动该泵组件I的马达2、对马达2提供频率可变的交流电的逆变器装置5、和控制逆变器装置5的控制装置7。
[0046]泵组件I与真空腔室等密闭容器8连接，抽吸该密闭容器8内的气体，从而在密闭容器8内形成真空。作为泵组件1，形成对形成于其内部的气体的流路不使用油的干式泵组件。具有这样的干式泵组件的真空泵通常被称为干式真空泵，在半导体装置的制造中被广泛使用。
[0047]图2是逆变器装置5的示意图。如图2所示，逆变器装置5具有转换器(converter)部11、平滑电容器15、逆变器部12、栅极驱动器(gate driver) 13、及逆变器控制部16。转换器部11在其内部具有整流电路，构成为将从电力供给源9供给的三相交流电转换为直流电。平滑电容器15是为了使转换的直流电平滑而设置的。
[0048]逆变器部12具有IGBT (绝缘栅双极晶体管)等开关元件，从平滑化的直流电生成三相交流电。栅极驱动器13生成用于使逆变器部12的各开关元件开关的栅极驱动信号。逆变器部12的开关元件按照来自栅极驱动器13的栅极驱动信号而被驱动，由此逆变器部12输出频率可变的交流电。
[0049]电流测定器20测定从逆变器部12输出的三相电流，并将三相电流的测定值发送到逆变器控制部16。逆变器控制部16基于从电流测定器20发送的测定值、及从控制装置7发送的速度指令值，控