用于清洁真空泵的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于清洁真空栗的、尤其霍尔维克栗的方法，其中霍尔维克栗能够构成为霍尔维克栗级。
【背景技术】
[0002]在具有污物的气体的栗中能够造成在真空栗的转子元件上的沉积物。这能够造成栗的损坏直至造成栗停止工作。就此而言需要设有耗费的过滤系统，以便能够使用真空栗、尤其用于栗出这种加载有污物的气体的高真空栗。对于真空栗特别严重的是，能够附着在转子元件上的污物如灰尘的存在。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是，提供一种用于清洁真空栗、尤其霍尔维克栗的方法，借助于所述方法能够以简单的方式实现转子元件的清洁。
[0004]根据本发明，所述目的的解决方案通过权利要求1的特征来实现。
[0005]依照根据本发明的方法清洁的真空栗具有转子轴，所述转子轴承载至少一个转子元件。转子元件能够是霍尔维克栗的管状的转子元件或是涡轮分子栗的转子盘。通常，由栗壳体承载的静止的定子元件与转子元件共同作用。霍尔维克栗级在此是螺旋线状的通道，所述通道包围管状的转子元件。涡轮分子栗是定子盘，所述定子盘设置在转子盘之间。转子轴经由轴承元件能转动地支承在栗壳体中。此外，与转子轴连接有驱动装置如电动机。根据本发明，设有电磁体，所述电磁体作用到转子轴上。电磁体与控制装置连接。为了产生振动，通过控制装置实现磁场改变；在此，电磁体例如能够直接作用到至少部分金属的转子轴上或作用到设置在转子轴上的永磁体上。
[0006]通过尤其引起短时间的磁场改变的控制装置，转子轴进而至少一个由转子轴承载的转子元件能够振动。通过振动，在转子元件上存在的沉积物脱落。
[0007]优选地，在大约1-1OOOHz的时间间隔中通过控制装置实现磁场改变。在此，磁场改变优选是周期性的。此外优选的是，控制装置作用到多个电磁体上。由此可能的是，以时间上短的间隔，力沿不同方向作用到转子轴上进而作用到至少一个转子元件上。尤其是相反作用的力，使得能实现具有高的振幅和尽可能短的加速时间的振动。
[0008]在此，由至少一个电磁体产生的力优选基本上平移地和轴向于转子轴作用，使得能够以非常有效的方式引起转子轴的进而由转子轴承载的至少一个转子元件的振动。
[0009]此外优选的是，在转子轴静止期间，即当不由电动机使转子轴处于转动中时通过振动来执行清洁步骤。必要时，附加地，缓慢的转动有利于辅助清洁过程。
[0010]特别优选的是，不设有分开的电磁体，而是使用是磁轴承的部件的电磁体来执行方法。尤其，以如下方式频繁地支承快速转动的转子轴:两个轴承元件构成为磁轴承。在此通常涉及设置在抽吸侧的轴承。由此，在本发明的一个特别优选的实施方式中不需要设有一个或多个附加的电磁体。更确切地说，能够相应地操控至少一个设置在磁轴承中的电磁体来产生振动。如果转子轴由两个磁轴承承载，那么能够操控两个磁轴承的电磁体，由此能够稍微增强振动。
[0011]因为真空栗通常具有内部的控制装置或与外部的控制装置连接，所以此外优选的是，实现至少一个电磁体的根据本发明的操控以通过所述控制装置产生振动。
【附图说明】
[0012]在下文中，参照附图根据优选的实施方式详细阐述本发明。
[0013]附图示出:
[0014]图1示出真空栗的简化的示意图；以及
[0015]图2示出用于清洁真空栗的振动程序的图表。
【具体实施方式】
[0016]示出的真空栗是具有霍尔维克栗级的涡轮分子栗。相应地，涡轮分子栗具有在必要时多件式的栗壳体10中支承的转子轴12。转子轴在抽吸侧上经由球轴承14支承并且在压力侧上经由电磁轴承16支承。为了构成分子级18，转子轴12承载具有多个转子盘20的转子元件。转子盘20与设置在转子盘20之间的定子盘22共同作用。定子盘22静止地设置在壳体10中。为了构成霍尔维克栗级24，与转子轴10连接的盘状的元件26与管缸筒28连接。管缸筒28由设置在壳体壁中或壳体10的专门的构件中的螺旋线状的沟槽30包围。由此，借助于示出的涡轮分子栗，能够将气体通过入口 32沿箭头34的方向抽吸并且从出口 36中排出。在栗出污染的气体时，尤其在霍尔维克栗级24的管缸筒式的转子元件28上能够出现沉积物。根据本发明，为了清洁转子元件28，使转子轴12振动，使得与转子轴固定地连接的转子元件28振动。
[0017]在根据本发明的方法的特别优选的实施方式中，清洁通过下述方式进行:经由控制装置40操控磁轴承16的至少一个电磁体38。通过尤其短时间地改变由电磁体38产生的磁力实现转子轴沿基本上径向方向42的运动。
[0018]在图2中示出的图表中示出用于清洁真空栗的振动程序，其中示例是磁力支承的涡轮分子栗并且进行具有短的加速时间和高的振幅的沿平移和轴向方向的周期性的磁场改变。在图表中，在时间上记录振幅，其中实线示出轴向运动以及虚线示出平移运动。
【主权项】
1.一种用于清洁真空栗，尤其霍尔维克栗的方法， 其中所述真空栗具有承载至少一个转子元件(28)的转子轴(12)，所述转子轴经由轴承元件(14，16)支承在栗壳体(10)中，并且 其中为了在至少一个所述转子元件(28)中产生振动，由控制装置(40)操控作用到所述转子轴(12)上的电磁体(38)，以改变磁场。2.根据权利要求1所述的方法，其中通过所述控制装置(40)引起短时间的磁场改变。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述控制装置(40)作用到多个电磁体(38)上，尤其使得力在时间上一个接一个地沿不同方向作用到所述转子轴(12)上。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中由至少一个所述电磁体(38)产生的力基本上径向于所述转子轴(12)的纵轴线。5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中在所述转子轴(12)静止时产生所述振动。6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中至少一个所述电磁体(38)是支承所述转子轴(12)的磁轴承(16)的部件。
【专利摘要】为了清洁真空泵、尤其是霍尔维克泵，使待清洁的转子元件振动。这通过借助于控制装置(40)操控电磁体(38)实现，其中电磁体(38)尤其是磁轴承(16)的电磁体，其在壳体(10)中支承转子轴(12)。
【IPC分类】F04D19/04, F04D29/70
【公开号】CN105074222
【申请号】CN201480019786
【发明人】巴西利奥·迪尼罗, 斯特凡·洪德特马克, 亚历山德拉·瓦尔恰克
【申请人】厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2014年3月19日
【公告号】DE102013206526A1, WO2014166714A1