一种硅片磨片机用新型蠕动泵的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种硅片磨片机用新型蠕动泵，包括驱动单元、底座、移动架、调整板、压杆、压杆帽、泵头和泵壳，驱动单元带动泵头运转，使泵管在泵头内辊子的挤压下，稳定泵送砂浆，在使用不同尺寸的泵管时，可以通过移动架的调节，精确控制泵管的压紧量，确保在不同的流量范围内实现相同的传输精度。本实用新型创造的优点是：一个泵头可以同时挤压两根泵管泵送砂浆，增大了流量调节的范围，有利于满足工艺对不同流量的需求，能够在较低转速下运行即可达到规定流量，降低了泵头和泵管的磨损程度。
【专利说明】一种硅片磨片机用新型蠕动泵
【技术领域】
[0001]本发明创造属于蠕动泵领域，尤其是涉及一种硅片磨片机中使用的新型蠕动泵。
【背景技术】
[0002]磨片机的作用是通过研磨的方法，清除前序切片过程及激光标识时产生的不同损伤。蠕动泵的作用是为研磨过程泵送研磨砂，通过调节蠕动泵电机转速，调整泵送的流量，以满足工艺要求。
[0003]现有磨片机多采用医用蠕动泵，而使用环境，使用强度，泵送介质都与医用蠕动泵不同，特别是为了达到规定的流量，常常使泵头在高速下运转，导致泵头经常损坏，电机维修率增加，影响生产效率，使生产成本增加。
[0004]目前在实际生产中亟需一种可以在更低的转速下就能输出需要流量的蠕动泵，从而减少泵头的磨损，达到稳定的使用效果，以及更低的维修率。
【发明内容】
[0005]本发明创造要解决的问题是提供一种能够在低转速下输出额定流量的硅片磨片机用蠕动泵。
[0006]为解决上述技术问题，本发明创造采用的技术方案是:一种硅片磨片机用新型蠕动泵，包括驱动单元、底座、移动架、调整板、压杆、压杆帽、泵头和泵壳；
[0007]所述驱动单元包括调速电机和减速机；
[0008]所述底座包括底座立板、底板、管固定块和支柱，所述底板包括第一底板、第二底板；所述底座立板上设有中心圆孔及相对于中心圆孔对称的两个长孔；所述第一底板固定在底座立板一侧，所述第二底板固定在底座立板另一侧，所述底板下表面设有支柱；所述管固定块固定在第二底板侧壁上；
[0009]所述调整板为L型支架，包括长边支架和短边支架，所述长边支架上设有槽孔，所述长边支架的一端和短边支架的一端相连；
[0010]所述泵头包括支板、端盖和辊子，所述端盖包括第一端盖和第二端盖；所述辊子的一端与第一端盖连接，所述辊子的另一端与第二端盖连接，且所述第一端盖和第二端盖的圆心在一条直线上，所述支板与第一端盖连接；
[0011]所述泵壳两侧面各设有一道通槽，所述泵壳前面和后面各设有一段与泵头端盖相配合的圆弧；
[0012]所述调速电机的输出轴与减速机连接，所述减速机输出轴穿过底座立板上的中心圆孔与泵头的第二端盖连接，所述驱动单元固定在第一底板上，所述泵头的支板固定在第二底板上，所述移动架穿过底座立板上的长孔固定在第二底板一侧的底座立板上，所述移动架上设有两块调整板，其中每块所述调整板的短边支架移动架连接，所述泵壳卡固在两块调整板之间，所述压杆由上至下依次穿过泵壳通槽和调整板的长边支架上的槽孔，所述压杆底部与调整板的长边支架通过卡固件固定，压杆头部与压杆帽连接。
[0013]优选地，所述泵头设有三个辊子，且辊子绕端盖的圆心在端盖所在平面的同心圆上均匀分布。
[0014]优选地，压杆头部与压杆帽的连接为螺纹连接。
[0015]优选地，所述管固定块设有两块，两块所述管固定块分别固定在第二底板相平行的两个侧壁上，且每块管固定块上设有至少一个管孔。
[0016]本发明创造具有的优点和积极效果是:首先，本发明创造能够在较低转速下运行即可达到规定流量，降低了泵头和泵管的磨损程度；其次，全新的机械结构设计，可以同时连接两根蠕动管，有利于砂浆在磨盘上的均匀分布，泵壳针对其内表面圆弧的优化设计，可使泵管在泵头的挤压下，稳定的泵送砂浆，在使用不同尺寸的泵管时，可通过移动架的调节，精确控制泵管的压紧量，确保在不同流量范围内实现相同的传输精度；宽辊子的设计，使得一个泵头可以同时挤压两根泵管泵送砂浆，增大了流量调节的范围，有利于满足工艺对不同流量的需求。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本发明创造总装配图；
[0018]图2是本发明创造总装分解视图；
[0019]图3是泵头结构示意图；
[0020]图4是泵壳结构示意图；
[0021]图5是部分底座结构不意图；
[0022]图中:1-调速电机，2-减速机，3-底座，31-底座立板，311中心圆孔，312-长孔，32-第一底板，33-第二底板，34-管固定块，35-支柱，4-移动架，5-调整板，51-长边支架，52-短边支架，6-压杆，7-压杆帽，8-泵头，81-支板，82-第一端盖，83-第二端盖，84-辊子，9-泵壳，91-通槽。
【具体实施方式】
[0023]下面结合附图对本发明创造的具体实施例做详细说明。
[0024]如图1、图2所示，一种硅片磨片机用新型蠕动泵，包括驱动单元、底座3、移动架4、调整板5、压杆6、压杆帽7、泵头8和泵壳9 ;所述驱动单元包括调速电机I和减速机2 ;所述底座3包括底座立板31、底板、管固定块34和支柱35，所述底板包括第一底板32、第二底板33 ;所述底座立板31上设有中心圆孔311及相对于中心圆孔311对称的两个长孔312 ；所述第一底板32固定在底座立板31 —侧，所述第二底板33固定在底座立板31另一侧，所述底板下表面设有支柱35 ;所述管固定块34固定在第二底板33侧壁上；两块所述管固定块34分别固定在第二底板33相互平行的两个侧壁上，且每块管固定块34上设有至少一个管孔，具体说可以是两个管孔；所述调整板5为L型支架，包括长边支架51和短边支架52，所述长边支架51上设有槽孔，所述长边支架51的一端和短边支架52的一端相连；
[0025]如图三所示，所述泵头8包括支板81、端盖和辊子84，所述端盖包括第一端盖82和第二端盖83 ;所述辊子84的一端与第一端盖82连接，所述辊子84的另一端与第二端盖83连接，且所述第一端盖82和第二端盖83的圆心在一条直线上，所述支板81与第一端盖82连接。所述泵头8可以设有三个辊子84，且辊子84绕端盖的圆心在端盖所在平面的同心圆上均匀分布。
[0026]如图四所示，所述泵壳9两侧面各设有一道通槽91，所述泵壳9前面和后面各设有一段与泵头8端盖相配合的圆弧。
[0027]所述调速电机I的输出轴与减速机2连接，所述减速机2输出轴穿过底座立板31上的中心圆孔311与泵头8的第二端盖83连接，所述驱动单元固定在第一底板32上，所述泵头8的支板81固定在第二底板33上，所述移动架4穿过底座立板5上的长孔312固定在第二底板33 —侧的底座立板31上，所述移动架4上设有两块调整板5，其中每块所述调整板5的短边支架52移动架4连接，所述移动架4与调整板5通过焊接形式连接，所述泵壳9卡固在两块调整板5之间，所述压杆6由上至下依次穿过泵壳9通槽91和调整板5的长边支架51上的槽孔，所述压杆6底部与调整板5的长边支架51通过卡固件固定，压杆6头部与压杆帽7螺纹连接。
[0028]具体工作原理如下:通过调速电机I和减速机2带动泵头8对泵管交替进行挤压和释放来泵送流体，通过调速器调速来控制流量大小。
[0029]具体工作过程如下:先将泵管安装在管固定块34上，启动驱动单元带动泵头8运转，使泵管在泵头8内辊子84的挤压下，稳定泵送砂浆，在使用不同尺寸的泵管时，可以通过移动架4的调节，精确控制泵管的压紧量，确保在不同的流量范围内实现相同的传输精度。在本方案中移动架4可以沿底座立板31上的长孔上下移动，泵壳9卡固在两调整板5间且调整板5固定在移动架4上，再通过压杆6和压杆帽7固定，使泵壳9与移动架4成为一体，可以随移动架4移动。管固定块34上设有两个泵管孔，同时辊子84采用宽辊子的设计，可以同时连接两根泵管，有利于砂浆在磨盘上的均匀分布。泵壳9可以采用PPS材料，具有很强的耐磨性和优越的机械性能，其前后表面的圆弧设计，可以使泵管在泵头8的挤压下，稳定泵送砂浆。
[0030]以上对本发明创造的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明创造的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明创造的实施范围。凡依本发明创造申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明创造的专利涵盖范围之内。
【权利要求】
1.一种硅片磨片机用新型蠕动泵，其特征在于:包括驱动单元、底座、移动架、调整板、压杆、压杆帽、泵头和泵壳； 所述驱动单元包括调速电机和减速机； 所述底座包括底座立板、底板、管固定块和支柱，所述底板包括第一底板、第二底板；所述底座立板上设有中心圆孔及相对于中心圆孔对称的两个长孔；所述第一底板固定在底座立板一侧，所述第二底板固定在底座立板另一侧，所述底板下表面设有支柱；所述管固定块固定在第二底板侧壁上； 所述调整板为L型支架，包括长边支架和短边支架，所述长边支架上设有槽孔，所述长边支架的一端和短边支架的一端相连； 所述泵头包括支板、端盖和辊子，所述端盖包括第一端盖和第二端盖；所述辊子的一端与第一端盖连接，所述辊子的另一端与第二端盖连接，且所述第一端盖和第二端盖的圆心在一条直线上，所述支板与第一端盖连接； 所述泵壳两侧面各设有一道通槽，所述泵壳前面和后面各设有一段与泵头端盖相配合的圆弧； 所述调速电机的输出轴与减速机连接，所述减速机输出轴穿过底座立板上的中心圆孔与泵头的第二端盖连接，所述驱动单元固定在第一底板上，所述泵头的支板固定在第二底板上，所述移动架穿过底座立板上的长孔固定在第二底板一侧的底座立板上，所述移动架上设有两块调整板，其中每块所述调整板的短边支架移动架连接，所述泵壳卡固在两块调整板之间，所述压杆由上至下依次穿过泵壳通槽和调整板的长边支架上的槽孔，所述压杆底部与调整板的长边支架通过卡固件固定，压杆头部与压杆帽连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片磨片机用新型蠕动泵，其特征在于:所述泵头设有三个辊子，且辊子绕端盖的圆心在端盖所在平面的同心圆上均匀分布。
3.根据权利要求1所述的一种硅片磨片机用新型蠕动泵，其特征在于:所述压杆头部与压杆帽的连接为螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片磨片机用新型蠕动泵，其特征在于:所述管固定块设有两块，两块所述管固定块分别固定在第二底板相平行的两个侧壁上，且每块管固定块上设有至少一个管孔。
【文档编号】F04B15/02GK204163963SQ201420505647
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年9月3日 优先权日:2014年9月3日
【发明者】靳立辉, 贾弘源, 王国瑞, 姚长娟, 王凯, 高树良 申请人:天津中环半导体股份有限公司