隔膜泵的制作方法

本发明涉及具有翻卷式隔膜(rollingdiaphragm)的隔膜泵。

背景技术：
以往，在半导体、液晶、有机EL、太阳能电池、LED的制造过程等中，作为为了进行药液等液体的供给所使用的隔膜泵，已知具有例如专利文献1所述的隔膜泵。这种隔膜泵具有：缸体(壳体)；活塞，容纳在所述缸体内并能够在其轴心方向上进行往复移动；翻卷式隔膜，根据所述活塞的往复移动来进行动作；线性致动器(驱动装置)，具有马达部以及由螺纹轴组成的输出轴，该螺纹轴与所述活塞连接，以起到活塞杆的作用。所述线性致动器构成为，安装在所述缸体上，能够将所述马达部的旋转运动变换为直线运动并从所述输出轴输出至所述活塞，以使所述活塞在轴心方向上进行往复移动。所述输出轴与所述活塞同轴配置且以螺纹结合的方式连接，从而能够与该活塞一体地在轴心方向上进行往复移动。然而，在所述隔膜泵中，所述线性致动器的输出轴在从该线性致动器的主体中的面对缸体内的相对面插入所述缸体内后到与所述活塞螺纹连接为止的期间，没有被任何构件支撑，也没被引导在轴心方向上进行往复移动。所述输出轴只不过是架设在所述线性致动器的主体与所述活塞之间。因此，在所述活塞伴随着所述输出轴的输出而进行往复移动时，该活塞在缸体的径向(与轴心方向垂直或交叉的方向上)上晃动而使所述翻卷式隔膜产生扭曲或变形等，从而该翻卷式隔膜可能无法正常动作(变形)。即，存在损害所述隔膜泵的液体输送量的定量性的情况。此外，在所述隔膜泵中，在与所述线性致动器的输出轴螺纹结合的所述活塞与所述缸体之间，具有允许所述活塞进行往复移动且限制旋转的如下面那样的止转单元，因此，所述活塞进一步晃动，从而容易损害所述隔膜泵的液体输送量的定量性。即，所述止转单元由长孔和卡合销构成，该长孔沿着轴心方向形成在所述缸体的侧壁上，该卡合销以能够通过该长孔的方式从所述活塞的外周面向径向突出。并且，所述卡合销以突出端部位于所述缸体的外部的方式通过所述长孔，从而能够一边被该长孔引导，一边与所述活塞一体地进行往复移动。因此，在所述止转单元中，所述卡合销与所述长孔的嵌合会变松。因此，在所述活塞进行往复移动时，从所述输出轴接受输入旋转的所述活塞在所述缸体的周向上晃动，从而使所述翻卷式隔膜产生扭曲或变形，因此，该翻卷式隔膜可能不会正常动作(变形)。其结果，容易损害所述隔膜泵的液体输送量的定量性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-23935号公报

技术实现要素：
发明要解决的问题本发明鉴于这样的问题而提出，其目的在于，提供一种隔膜泵，能够有效地抑制因翻卷式隔膜的动作所引起的液体输送量的定量性的降低。用于解决问题的手段技术方案1的发明为一种隔膜泵，其中，具有：壳体，活塞，设置在所述壳体内并与该壳体同轴配置，且能够在所述壳体的轴心方向上进行往复移动，轴，在轴心方向的一端侧与所述活塞连接的状态下进行与所述活塞进行连动，翻卷式隔膜，具有配置在所述活塞的轴心方向的一侧的盖部、安装在所述壳体上的开放端部、以及配置在所述盖部与所述开放端部之间的折返部，相对于被所述壳体固定位置的所述开放端部，所述盖部能够与所述活塞一体地进行往复移动，泵室，通过所述翻卷式隔膜划分形成在所述壳体内的所述翻卷式隔膜的轴心方向的一侧，并且能够变更室内的容积，驱动装置，具有马达部和与所述轴同轴配置且与所述轴的轴心方向的另一端侧连接的输出轴，并且该驱动装置安装在所述壳体的轴心方向的另一侧，该驱动装置能够将所述马达部的旋转运动变换为直线运动，并从所述输出轴输出至所述轴，以经由所述轴使所述活塞在轴心方向上进行往复移动，引导构件，配置在所述壳体内的所述活塞的轴心方向的另一侧且安装在所述壳体内，能够引导所述轴在轴心方向上移动，限制机构，在所述壳体内设置在所述引导构件与所述轴之间，能够允许所述轴在轴心方向上进行往复移动，并能够限制所述轴围绕轴心进行旋转。根据该结构，能够一边通过所述引导构件引导所述轴，一边使所述轴进行往复移动。因此，在所述轴进行往复移动时，所述轴以及与其连动的所述活塞在所述壳体的径向(与轴心方向垂直或交叉的方向)上难以晃动，从而使所述翻卷式隔膜不会扭曲或变形，因此，容易使所述翻卷式隔膜正常动作(变形)。由此，能够有效地抑制因所述翻卷式隔膜的动作所引起的液体输送量的定量性的降低。技术方案2的发明在技术方案1所述的隔膜泵的基础上，所述限制机构由滚珠花键构成，该滚珠花键具有：花键轴，由所述轴组成；筒状构件，固定在所述引导构件上，将所述花键轴支撑为不能相对旋转，并且能够引导所述花键轴在轴心方向上进行滑动。根据该结构，在所述轴进行往复移动时，能够使所述轴以及所述活塞在所述壳体的径向上更加难以晃动。由此，能够更加有效地抑制液体输送量的定量性的降低。技术方案3的发明，在技术方案2所述的隔膜泵的基础上，该隔膜泵具有连接构件，该连接构件构成为，通过夹持所述轴的轴心方向的另一端部且夹持所述输出轴的轴心方向的一端部来连接所述轴与所述输出轴。根据该结构，能够容易地进行所述轴与所述驱动装置的输出轴的组装和分离。因此，能够实现所述隔膜泵的维护的简便化。技术方案4的发明，在技术方案1～3中任一项所述的隔膜泵的基础上，所述活塞具有在所述翻卷式隔膜的盖部侧进行开口的凹部，所述翻卷式隔膜具有能够与所述凹部嵌合的突部，所述翻卷式隔膜在使该突部与所述活塞的凹部嵌合的状态下，安装在所述活塞上。根据该结构，在所述隔膜泵的吸入工序等中向所述泵室内的液体施加冲击的情况下，能够使所述翻卷式隔膜相对于所述活塞难以变形。另外，能够利用所述突部与所述凹部的嵌合来进行所述翻卷式隔膜与所述活塞的对心，从而能够更加有效地抑制流体输送量的定量性的降低。技术方案5的发明，在技术方案1所述的隔膜泵的基础上，所述限制机构设置在所述壳体内的所述引导构件的轴心方向的另一侧。技术方案6的发明，在技术方案5所述的隔膜泵的基础上，所述限制机构由直线运动引导部构成，该直线运动引导部具有：轨道状的引导构件，设置在所述壳体内并在所述壳体的轴心方向上延伸；滑动构件，固定在所述轴上且安装在所述引导构件上，能够相对于该引导构件进行移动。根据该结构，在所述轴进行往复移动时，能够使所述轴以及所述活塞在所述壳体的径向上更加难以晃动。由此，能够更加有效地抑制液体输送量的定量性的降低。技术方案7的发明，在技术方案6所述的隔膜泵的基础上，所述滑动构件构成为，通过夹持所述轴的轴心方向的另一端部且夹持所述输出轴的轴心方向的一端部来连接所述轴与所述输出轴。根据该结构，能够容易地进行所述轴与所述驱动装置的输出轴的组装和分离。因此，能够实现所述隔膜泵的维护的简便化。另外，能够使所述轴以及所述输出轴在维持稳定的连接状态下在轴心方向上移动。技术方案8的发明，在技术方案6所述的隔膜泵的基础上，所述活塞具有与所述轴的轴心方向的一端部嵌合的嵌合凹部，通过使所述轴的轴心方向的一端部接触并嵌入该嵌合凹部，能够使所述活塞与所述轴连动，所述轴的轴心方向的一端部能够从该嵌合凹部脱离。根据该结构，能够容易地进行所述活塞与所述轴的组装和分离。因此，能够实现所述隔膜泵的维护的简便化。另外，能够实现防止因所述活塞以及所述轴的连接所引起的所述活塞的变形。技术方案9的发明，在技术方案6所述的隔膜泵的基础上，所述活塞具有在所述翻卷式隔膜的盖部侧进行开口的凹部，所述翻卷式隔膜具有能够与所述凹部嵌合的突部，所述翻卷式隔膜在使该突部与所述活塞的凹部嵌合的状态下安装在所述活塞上。根据该结构，在所述隔膜泵的吸入工序等中向所述泵室内的液体施加冲击的情况下，能够使所述翻卷式隔膜相对于所述活塞难以变形。另外，能够利用所述突部与所述凹部的嵌合来进行所述翻卷式隔膜与所述活塞的对心，从而能够更加有效地抑制流体输送量的定量性的降低。发明效果根据本发明，能够提供一种隔膜泵，能够有效地抑制因翻卷式隔膜的动作所引起的液体输送量的定量性的降低。附图说明图1是本发明的第一实施方式的隔膜泵的侧视剖视图。图2是本发明的第一实施方式的隔膜泵的局部放大侧视剖视图。图3是本发明的第一实施方式的隔膜泵的侧视剖视图。图4是表示本发明的第一实施方式的隔膜泵中的轴与驱动装置的输出轴的连接部分的图，(a)是侧视图，(b)是俯视图。图5是本发明的第二实施方式的隔膜泵的侧视剖视图。图6是本发明的第二实施方式的隔膜泵的局部放大侧视剖视图。图7是本发明的第二实施方式的隔膜泵的主视剖视图。图8是本发明的第二实施方式的隔膜泵的侧视剖视图。图9是表示本发明的第二实施方式的隔膜泵中的轴与驱动装置的输出轴的连接部分的图，(a)是侧视图，(b)是俯视图。具体实施方式一边参照附图一边说明本发明的第一实施方式。在图1中示出本发明的第一实施方式的隔膜泵1的侧视剖视图。在图2中示出所述隔膜泵1的局部放大侧视剖视图。如图1、图2所示，所述隔膜泵1具有壳体2、活塞3、轴4、翻卷式隔膜5、驱动装置6、引导构件7、限制机构8。在本实施方式中，所述隔膜泵1配置为，将长度方向(轴心方向)作为上下方向。在本实施方式中，所述壳体2具有缸体11和缸盖12。所述缸体11形成为圆筒状且将轴心方向作为上下方向配置。所述缸体11由例如日本SUS304等不锈钢构成。在所述缸体11上设置有通气口14，该通气口14在与所述缸体11的轴心方向垂直或交叉的方向上贯通。该通气口14与真空泵或抽风机等减压装置连接。所述缸盖12形成为带盖圆筒状，安装在所述缸体11的轴心方向的一端侧(上侧)，以堵塞所述缸体11的开口。所述缸盖12具有与所述缸体11大致相同的内径，并与所述缸体11一起构成能够容纳所述活塞3的容纳空间。所述缸盖12由PTFE(聚四氟乙烯)等氟树脂构成。在所述缸盖12的周壁部设置有在与轴心方向垂直或交差的方向上贯通的吸入口15。该吸入口15经由吸入侧逆止阀与储存药液等液体的储液槽(未图示)连接。所述吸入侧逆止阀构成为，允许液体从所述储液槽向所述吸入口15流动，并且阻止液体向其相反方向流动。在所述缸盖12的盖部设置有在轴心方向上贯通的喷出口16，该喷出口16位于该盖部的中央部(轴心部)。该喷出口16经由喷出侧逆止阀与液体供给部(未图示)连接。所述喷出侧逆止阀构成为，允许液体从所述喷出口16向所述液体供给部流动，并且阻止液体向其相反方向流动。所述活塞3在所述壳体2内与该壳体2同轴配置，并且能够在所述壳体2的轴心方向(上下方向)上进行往复移动。在本实施方式中，所述活塞3形成为具有小于所述壳体2(所述缸体11以及所述缸盖12)的内径的直径的圆柱状，外周面与所述壳体2(所述缸体11或所述缸盖12)的内周面相对配置。所述活塞3由例如铝合金构成。在所述活塞3中，在轴心方向的另一侧(下侧)具有与所述壳体2的内周面抵接或大致抵接的大径部17，在轴心方向的一侧(上侧)具有在与所述壳体2的内周面之间形成规定间隙的小径部18，使所述大径部17的外周面沿着所述壳体2的内周面在轴心方向上被引导。在所述活塞3的大径部17的外周面与所述壳体2的内周面之间设置有O型圈等密封件19。该密封件19由例如氟橡胶等橡胶材料构成。如图2所示，所述活塞3具有在轴心方向的一端侧(上侧)进行开口的第一凹部21，并且具有在轴心方向的另一端侧(下侧)进行开口的第二凹部22。所述第一凹部21以及所述第二凹部22分别设置在所述活塞3的轴心部且相互同轴配置。在此，所述第一凹部21与所述第二凹部22不连通。所述活塞3还具有形成有内螺纹的螺纹孔23。所述螺纹孔23在所述第一凹部21与所述第二凹部22之间配置在所述活塞3的轴心部，且与所述第二凹部22同轴配置。所述螺纹孔23的内径比所述第二凹部22的内径小，并且所述螺纹孔23以面对所述第二凹部22内的方式在所述活塞3的轴心方向的另一端侧(下侧)进行开口。所述轴4构成为，以在轴心方向的一端侧与所述活塞3连接的状态与所述活塞3进行连动。在本实施方式中，所述轴4与所述活塞3分别单独构成，并且具有圆棒状部(后述的花键轴)26和与该圆棒状部26一体连接的螺纹部27。所述轴4在轴心方向上延伸，并且与所述壳体2以及所述活塞3同轴配置。所述轴4由例如高碳铬轴承钢等淬火钢材构成。但是，就所述圆棒状部26而言，也能够由马氏体型不锈钢等不锈钢构成。所述螺纹部27设置在所述轴4的轴心方向的一端部(上端部)且形成有外螺纹，以便能够与所述活塞3的螺纹孔23螺接。并且，通过使所述螺纹部27与所述活塞3的螺纹孔23螺接，使得所述轴4与所述活塞3螺纹连接，从而能够随着该轴4的移动而使所述活塞3连动。另外，所述驱动装置6具有：马达部30；输出轴31，与所述轴4同轴配置且与所述轴4的轴心方向的另一端侧连接。所述驱动装置6安装在所述壳体2的轴心方向的另一侧(下侧)，能够将所述马达部30的旋转运动变换为直线运动，并从所述输出轴31向所述轴4输出，以经由所述轴4使所述活塞3在轴心方向(上下方向)上进行往复移动。在本实施方式中，所述驱动装置6由线性致动器(马达)构成，能够使所述活塞3在所述壳体2内在最接近所述驱动装置6的最后退位置(参照图1)与最远离所述驱动装置6的最前进位置(参照图3)之间在轴心方向上进行往复移动。该驱动装置6具有作为所述马达部30的多相步进马达部和能够将该马达部30的旋转运动变换为直线运动来输出的直线运动机构部。所述驱动装置6的输出轴31具有圆棒状部32和与该圆棒状部32一体连接的螺纹轴部33，并和与该螺纹轴部33螺接的螺母34一起包含于所述直线运动机构部。所述输出轴31从所述驱动装置6的主体中的面对所述缸体11内的相对面朝向所述缸体11内向上方突出设置。并且，所述输出轴31与所述轴4同轴配置，在该突出端部(上端部)侧即所述圆棒状部32与所述轴4的轴心方向的另一端部(下端部)28连接。此外，在本实施方式中，所述线性致动器与以往的线性致动器实质上具有相同的结构，因此，省略该线性致动器的其它结构的详细说明。所述翻卷式隔膜5具有配置在所述活塞3的轴心方向的一侧的盖部35、安装在所述壳体2上的开放端部36、配置在所述盖部35与所述开放端部36之间的折返部37。并且，所述翻卷式隔膜5构成为，相对于被所述壳体2固定位置的所述开放端部36，所述盖部35与所述活塞3一体地往复移动。在本实施方式中，所述翻卷式隔膜5由PTFE(聚四氟乙烯)等氟树脂构成，并且与所述活塞3同轴配置。所述翻卷式隔膜5形成为，在轴心方向的另一侧(下侧)向外侧折返的带盖筒状，在轴心方向的一侧(上侧)端部具有圆板状的所述盖部35。所述盖部35具有与所述活塞3相同程度的直径，并且配置在所述翻卷式隔膜5的中央部。所述翻卷式隔膜5在下侧具有开口，在周围具有截面形状为U字形的所述折返部37。在所述折返部37的内周侧端部与所述盖部35之间设置有在轴心方向上延伸的圆筒状的内筒部38，在所述折返部37与所述开放端部36之间设置有与所述内筒部38同轴延伸的圆筒状的外筒部39。所述开放端部36在所述外筒部39的上端部的径向外侧设置为凸缘状。在此，所述内筒部38、所述折返部37以及所述外筒部39形成为例如厚度为1mm以下且0.1mm以上的薄壁(薄膜状)，以使其具有挠性。所述盖部35以及所述开放端部36形成为比所述内筒部38、所述折返部37以及所述外筒部39十分厚的厚壁，以使其具有刚性。并且，所述翻卷式隔膜5在容纳在所述壳体2内的状态下，在通过所述开放端部36在所述缸体11与所述缸盖12的接合面之间被强力的夹持，所述开放端部36被固定位置后，安装在所述壳体2上。另外，所述翻卷式隔膜5设置为，利用所述盖部35以及所述内筒部38覆盖所述活塞3，以使所述盖部35与所述活塞3对接接触。并且，所述翻卷式隔膜5配置为，所述折返部37在面对后述的减压室53的状态下位于所述壳体2的内周面与所述活塞3的外周面之间。所述引导构件7构成为，配置在所述壳体2内的所述活塞3的轴心方向的另一侧(下侧)且安装在所述壳体2上，能够引导所述轴4在轴心方向上移动。在本实施方式中，所述引导构件7作为分隔所述壳体2内的间隔壁发挥作用，并使所述轴4贯通。所述引导构件7形成为具有沿着所述壳体2的内周面的外周面的板状，并利用其外周面与所述壳体2的内周面无间隙地连接。所述引导构件7与所述缸体11一体地构成。所述引导构件7在所述壳体2内设置为，在所述活塞3移动至所述最后退位置时，与该活塞3的下表面抵接或大致抵接。在所述引导构件7的轴心部能够使所述轴4在轴心方向上贯通，并且能够利用轴心方向的一部分(下侧部分)对所述轴4直接进行引导，并能够利用其它部分能够保持所述限制机构8的筒状构件61(后述)。并且，在所述隔膜泵1中，所述壳体2内通过所述活塞3、所述翻卷式隔膜5以及所述引导构件7等被分隔，以形成用于填充液体的泵室51、驱动室52以及所述减压室53形成。具体而言，所述泵室51通过所述翻卷式隔膜5划分形成在所述壳体2内的所述翻卷式隔膜5的轴心方向的一侧(上侧)，并且能够变更室内的容积。在本实施方式中，所述泵室51被所述翻卷式隔膜5与所述壳体2的缸盖12包围而成，并与所述吸入口15以及所述喷出口16分别相连通。所述泵室51通过伴随着所述活塞3的往复移动带来的所述翻卷式隔膜的动作(变形)，使室内的容积变化。所述驱动室52通过所述引导构件7划分形成在所述壳体2内的所述引导构件7的轴心方向的另一侧(下侧)。在本实施方式中，所述驱动室52被所述引导构件7、所述壳体2的缸体11、所述驱动装置6包围而成。在所述驱动室52内容纳有所述驱动装置6的输出轴31以及所述轴4各自的一部分。所述减压室53通过所述翻卷式隔膜5以及所述活塞3，在所述壳体2内隔着所述翻卷式隔膜5而划分形成在所述泵室51的轴心方向的相反一侧。在本实施方式中，所述减压室53被所述活塞3(所述密封件19)、所述翻卷式隔膜5以及所述壳体2(所述缸体11)包围而成，并与所述通气口14连通。所述限制机构8构成为，在所述壳体2内设置在所述引导构件7与所述轴4之间，能够允许所述轴4在轴心方向上进行往复移动，并能够限制所述轴4围绕轴心旋转。在本实施方式中，所述限制机构8由滚珠花键(ballspline)构成，该滚珠花键能够使移动体沿着延伸的轨道体相对移动。详细地说，所述限制机构8具有：花键轴(移动体)60，由所述轴4组成；筒状构件(轨道体)61，固定在所述引导构件7上，将所述花键轴60支撑为不能相对旋转，并且能够引导该花键轴60在轴心方向上滑动。在所述花键轴60的外周面具有沿着轴心方向延伸的多个轨道槽62。所述筒状构件61具有与所述轨道槽62对应的其它轨道槽，并通过螺栓63在以不旋转的方式被定位的状态下，被保持在所述引导构件7上。并且，所述花键轴60贯通所述引导构件7，并插通所述筒状构件61，所述筒状构件61的一部分从所述引导构件7向所述活塞3侧突出。在所述筒状构件61的轨道槽内设置有多个滚珠，所述多个滚珠位于该轨道槽与所述花键轴60的轨道槽62之间，所述花键轴60经由这些滚珠，以能够相对移动且不能相对旋转的方式与所述筒状构件61嵌合。这样一来，所述花键轴60能够相对于所述筒状构件61无晃动地移动。在以上那样的结构中，在为了驱动所述隔膜泵1来使所述驱动装置6动作的情况下，通过所述输出轴31伴随着所述螺母34的旋转而在轴向上进行直线运动，使得所述轴4在轴心方向上进行往复移动，从而所述轴4向下方向进行返回移动的吸入工序和所述轴4向上方向进行前进移动的喷出工序交替反复进行。由此，能够使储存在所述储液槽中的液体以定量且定流量的方式向所述液体供给部供给。即，在所述吸入工序中，所述活塞3与所述翻卷式隔膜5的盖部35追随着所述轴4的返回移动而向下方进行返回移动(从图3所示的状态变化为图1所示的状态)。在该过程中，所述翻卷式隔膜5进行翻卷，使得在轴心方向上所述内筒部38的长度变短且所述外筒部39的长度变长，另外，在所述壳体2的内周面与所述活塞3的外周面之间的间隙内，所述折返部37向下方变位。与之伴随，由于所述泵室51的容积扩大，所以所述储液槽内的液体通过所述吸入口15被吸入所述泵室51内。另外，在所述喷出工序中，所述活塞3与所述翻卷式隔膜5的盖部35追随所述轴4的前进移动而向上方进行前进移动(从图1所示的状态变化至图3所示的状态)。在该过程中，所述翻卷式隔膜5进行翻卷，使得所述内筒部38的长度变长且所述外筒部39的长度变短，另外，在所述壳体2的内周面与所述活塞3的外周面之间的间隙内，所述折返部37向上方变位。与之伴随，由于所述泵室51的容积缩小，所以所述泵室51内的液体从所述喷出口16被喷出。在所述吸入工序以及所述喷出工序中，所述减压室53通过经由所述通气口14连接的所述减压装置减压而变为规定的压力(负压)。因此，能够分别使所述翻卷式隔膜5的盖部35的下表面与所述活塞3的上表面、所述内筒部38的内表面与所述活塞3的外周面、所述外筒部39的外表面与所述壳体2的内周面可靠地紧贴。另外，在所述吸入工序以及所述喷出工序中，所述轴4在所述壳体2内的所述驱动装置6的主体与所述活塞3之间，被所述引导构件7引导，并进行往复移动。而且，此时，通过所述限制机构8变为如下状态：允许所述轴4在轴心方向上进行往复移动，并且限制所述轴4围绕轴心旋转。因此，在所述隔膜泵1中，在所述轴4进行往复移动时，所述轴4以及与其连动的所述活塞3在所述壳体2(所述缸体11、所述缸盖12)的径向(与轴心方向垂直或交叉的方向)上难以晃动，从而容易使所述翻卷式隔膜5不扭曲或不变形地正常动作(变形)。由此，能够有效地抑制因所述翻卷式隔膜5的动作所引起的液体输送量的定量性的降低。特别地，在本实施方式中，所述限制机构8由滚珠花键构成，因此，所述轴4也一边被所述筒状构件61引导，一边在轴心方向上平滑地往复移动，其中，上述滚珠花键具有由所述轴4组成的所述花键轴60和所述筒状构件61。因此，在所述轴4进行往复移动时，能够使所述轴4以及所述活塞3在所述壳体2的径向上更加难以晃动。由此，能够更加有效地抑制液体输送量的定量性的降低。在图4(a)以及(b)中分别示出所述轴4与所述驱动装置6的输出轴31之间的连接部分的侧视图和俯视图。如图4(a)以及(b)所示，在本实施方式中，所述隔膜泵1具有连接构件64。所述连接构件64构成为，通过夹持所述轴4的轴心方向的另一端部(下端部)28且夹持所述驱动装置6的输出轴31的轴心方向的一端部(上端部)即所述圆棒状部32，使所述轴4与所述输出轴31连接。具体而言，所述连接构件64具有：安装孔65，用于使所述轴4的下端部28以及所述输出轴31的上端部(所述圆棒状部32)插入来进行安装；一对紧固连接部67，在所述一对紧固连接部67彼此之间形成有使所述安装孔65与外部连接的规定宽度的狭缝66；螺栓等紧固连接件68，能够以使所述一对紧固连接部67之间(所述狭缝66)的间隔尺寸变窄的方式来紧固所述一对紧固连接部67。并且，就所述连接构件64而言，在所述安装孔65内插入所述轴4的下端部28以及所述输出轴31的圆棒状部32而大致无间隙地外嵌的状态下，通过由所述紧固连接件68紧固所述一对紧固连接部67，来夹持所述轴4的下端部28以及所述输出轴31的圆棒状部32，从而将所述轴4的下端部28以及所述输出轴31的圆棒状部32相互连接。通过这样的结构，能够容易地进行所述轴4与所述驱动装置6的输出轴31的安装和分离。因此，能够实现所述隔膜泵1的维护的简便化。此外，本实施方式的驱动装置的输出轴为使用所述连接构件64与所述轴4连接的输出轴31，但并不限定于此，例如，也可以是与利用限制机构的作用被限制旋转的轴可相对旋转地连接的输出轴。另外，在本实施方式中，如上所述，所述活塞3具有在所述翻卷式隔膜5的盖部35侧进行开口的所述第一凹部21。并且，如图2所示，所述翻卷式隔膜5具有能够与所述第一凹部21嵌合的突部71，在使该突部71与所述活塞3的第一凹部21嵌合的状态下，安装在所述活塞3上。所述翻卷式隔膜5的突部71从所述盖部35的轴心部向下方突出设置，并与所述第一凹部21同轴配置。所述突部71具有沿着所述第一凹部21的内周面的外周面，并大致无间隙地嵌入所述第一凹部21。通过这样的结构，在所述隔膜泵1的吸入工序等中向所述泵室51内的液体施加冲击的情况下，难以使所述翻卷式隔膜5相对于所述活塞3变形。另外，利用所述突部71与所述第一凹部21的嵌合能够进行所述翻卷式隔膜5与所述活塞3的对心，从而能够更加有效地抑制流体输送量的定量性的降低。接着，一边参照附图一边说明本发明的第二实施方式。在图5中示出本发明的第二实施方式的隔膜泵101的侧视剖视图。在图6中示出所述隔膜泵101的局部放大侧视剖视图。在图7中示出所述隔膜泵101的主视剖视图。如图5、图6、图7所示，所述隔膜泵101具有壳体102、活塞103、轴104、翻卷式隔膜105、驱动装置106、引导构件107、限制机构108。在本实施方式中，所述隔膜泵101配置为，将长度方向(轴心方向)作为上下方向。在本实施方式中，所述壳体102具有缸体111和缸盖112。所述缸体11形成为圆筒状且将轴心方向作为上下方向配置。所述缸体111由例如日本SUS304等不锈钢构成。在所述缸体111上设置有通气口114，该通气口114在与所述缸体111的轴心方向垂直或交叉的方向上贯通。该通气口114与真空泵或抽风机等减压装置连接。所述缸盖112形成为带盖圆筒状，安装在所述缸体111的轴心方向的一端侧(上侧)，以堵塞所述缸体111的开口。所述缸盖112具有与所述缸体111大致相同的内径，并与所述缸体111一起构成能够容纳所述活塞103的容纳空间。所述缸盖112由PTFE(聚四氟乙烯)等氟树脂构成。在所述缸盖112的周壁部设置有在与轴心方向垂直或交差的方向上贯通的吸入口115。该吸入口115经由吸入侧逆止阀与储存药液等液体的储液槽(未图示)连接。所述吸入侧逆止阀构成为，允许液体从所述储液槽向所述吸入口115流动，并且阻止液体向其相反方向流动。在所述缸盖112的盖部设置有在轴心方向上贯通的喷出口116，该喷出口116以位于该盖部的中央部(轴心部)。该喷出口116经由喷出侧逆止阀与液体供给部(未图示)连接。所述喷出侧逆止阀构成为，允许液体从所述喷出口116向所述液体供给部流动，并且阻止液体向其相反方向流动。所述活塞103在所述壳体102内与该壳体102同轴配置，并且能够在所述壳体102的轴心方向(上下方向)上进行往复移动。在本实施方式中，所述活塞103形成为具有小于所述壳体102(所述缸体111以及所述缸盖112)的内径的直径的圆柱状，并且外周面从与其相对的所述缸体111或所述缸盖112的内周面隔开规定间隔。所述活塞103由例如铝合金构成。如图6所示，所述活塞103具有在轴心方向的一端侧(上侧)进行开口的第一凹部121，并且具有在轴心方向的另一端侧(下侧)进行开口的第二凹部122。所述第一凹部121以及所述第二凹部122分别设置在所述活塞103的轴心部且相互同轴配置。在此，所述第一凹部121与所述第二凹部122不连通。所述活塞103还具有与所述轴104的轴心方向的一端部嵌合的嵌合凹部123。所述嵌合凹部123在所述第一凹部121与所述第二凹部122之间设置在所述活塞103的轴心部，且与所述第二凹部122同轴配置。所述嵌合凹部123的内径比所述第二凹部122的内径小，并且所述嵌合凹部123以面对所述第二凹部122内的方式在所述活塞103的轴心方向的另一端侧(下侧)进行开口。所述活塞103还具有由在轴心方向上贯通的直线状贯通孔组成的空气通路125(参照图7)。所述空气通路125设置有多条，在所述活塞103的径向(与轴心方向垂直的方向)上位于在所述第一凹部121以及所述第二凹部122的外侧，并在将轴心作为中心的圆周上分别隔开规定间隔地配置。所述轴104构成为，以在轴心方向的一端侧与所述活塞103连接的状态进行连动。在本实施方式中，所述轴104与所述活塞103分别单独构成，并且包括具有沿着所述嵌合凹部123的内周面的外周面的轴心方向的一端部(上端部)127。所述轴104具有与所述活塞103的嵌合凹部123大致相同或稍小的直径，且形成为圆棒状。所述轴104在轴心方向上延伸，并且与所述壳体102以及所述活塞103同轴配置。所述轴104由例如进行了淬火的高碳铬轴承钢等钢材、马氏体型不锈钢等不锈钢构成。这样一来，在本实施方式中，所述活塞103构成为，通过使所述轴104的上端部127接触并嵌入所述嵌合凹部123，在与所述轴104的轴心方向的一端侧连接的状态下与所述轴104进行连动，所述轴104的上端部127能够脱离该嵌合凹部123。所述轴104只简单地从下侧嵌入所述活塞103的嵌合凹部123内。通过这样的结构，能够容易地进行所述活塞103与所述轴104的组合和分离，从而能够实现所述隔膜泵101的维护的简便化。另外，能够实现防止因所述活塞103以及所述轴104的连接所引起的所述活塞103的变形。另外，所述驱动装置106具有：马达部130；输出轴131，与所述轴4同轴配置且与所述轴104的轴心方向的另一端侧连接。所述驱动装置106安装在所述壳体102的轴心方向的另一侧(下侧)，能够将所述马达部130的旋转运动变换为直线运动，并从所述输出轴131向所述轴104输出，以经由所述轴104使所述活塞103在轴心方向(上下方向)上进行往复移动。在本实施方式中，所述驱动装置106由线性致动器(马达)构成，在所述壳体102内能够使所述活塞103在最接近所述驱动装置106的最后退位置(参照图5)与最远离所述驱动装置106的最前进位置(参照图8)之间在轴心方向上进行往复移动。该驱动装置106具有作为所述马达部130的多相步进马达部和能够将该马达部130的旋转运动变换为直线运动来输出的直线运动机构部。所述驱动装置106的输出轴131具有圆棒状部132和与该圆棒状部132一体连接的螺纹轴部133，并和与该螺纹轴部133螺接的螺母134一起包含于所述直线运动机构部。所述输出轴131从所述驱动装置106的主体中的面对所述缸体111内的相对面朝向所述缸体111内向上方突出设置。并且，所述输出轴131与所述轴104同轴配置，在该突出端部(上端部)侧即所述圆棒状部132与所述轴104的轴心方向的另一端部(下端部)128连接。此外，在本实施方式中，所述线性致动器与以往的线性致动器实质上具有相同的结构，因此，省略该线性致动器的其它结构的详细说明。所述翻卷式隔膜105具有配置在所述活塞103的轴心方向的一侧的盖部135、安装在所述壳体102上的开放端部136、配置在所述盖部135与所述开放端部136之间的折返部137。并且，所述翻卷式隔膜105构成为，相对于被所述壳体102固定位置的所述开放端部136，所述盖部135与所述活塞103一体地往复移动。在本实施方式中，所述翻卷式隔膜105由PTFE(聚四氟乙烯)等氟树脂构成，并且与所述活塞103同轴配置。所述翻卷式隔膜105形成为，在轴心方向的另一侧(下侧)向外侧折返的带盖筒状，在轴心方向的一侧(上侧)端部具有圆板状的所述盖部135。所述盖部135具有与所述活塞103相同程度的直径，并且配置在所述翻卷式隔膜105的中央部。所述翻卷式隔膜105在轴心方向的另一侧(下侧)具有开口，在周围具有截面形状为U字形的所述折返部137。在所述折返部137的内周侧端部与所述盖部135之间设置有在轴心方向上延伸的圆筒状的内筒部138，在所述折返部137与所述开放端部136之间设置有与所述内筒部138同轴延伸的圆筒状的外筒部139。所述开放端部136在所述外筒部139的上端部的径向外侧设置为凸缘状。在此，所述内筒部138、所述折返部137以及所述外筒部139形成为例如厚度为1mm以下且0.1mm以上的薄壁(薄膜状)，以使其具有挠性。所述盖部135以及所述开放端部136形成为比所述内筒部138、所述折返部137以及所述外筒部139十分厚的厚壁，以使其具有刚性。并且，所述翻卷式隔膜105在容纳在所述壳体102内的状态下，在通过所述开放端部136在所述缸体111与所述缸盖112的接合面之间被强力的夹持，所述开放端部136被固定位置后，安装在所述壳体102上。另外，所述翻卷式隔膜105设置为，利用所述盖部135以及所述内筒部138覆盖所述活塞103，以使所述盖部135与所述活塞103对接接触。并且，所述翻卷式隔膜105配置为，所述折返部137在面对后述的减压室153的状态下位于所述壳体102的内周面与所述活塞103的外周面之间。所述引导构件107构成为，在所述壳体102内配置在所述活塞103的轴心方向的另一侧(下侧)且安装在所述壳体102上，能够引导所述轴104在轴心方向上移动。在本实施方式中，所述引导构件107作为分隔所述壳体102内的间隔壁发挥作用。所述引导构件107形成为具有沿着所述壳体102的内周面的外周面的板状，并利用其外周面与所述缸体111的内周面无间隙地连接。所述引导构件107对贯通该轴心部的所述轴104进行引导，并与所述缸体111一体构成。所述引导构件107使所述轴104在轴心方向上贯通轴心部，在轴心方向的另一侧(下侧)直接引导所述轴104，并且在轴心方向的一侧(上侧)经由设置在该轴心部的衬套141(bushing)支撑所述轴104。该衬套141由例如碳素钢、不锈钢、黄铜、氟树脂或尼龙等树脂构成。另外，在所述引导构件107与所述轴104之间设置有O型圈等密封件142。该密封件142由例如氟橡胶等橡胶材料构成。并且，密封按压构件143以与该密封件142相对的方式，设置在所述引导构件107的下侧。该密封按压构件143由例如日本SUS304等不锈钢构成。所述引导构件107在所述壳体102内靠近所述活塞103配置，并且具有引导构件主体145和从该引导构件主体145的轴心部向上侧突出的套筒部146。所述套筒部146形成为，在所述活塞103移动至所述最后退位置或所述最后退位置的附近位置时，嵌入所述第二凹部122来引导所述活塞103移动。在本实施方式中，所述衬套141从所述引导构件主体145至所述套筒部146延伸设置。而且，在本实施方式中，隔着所述引导构件主体145，在所述套筒部146的相反一侧(所述引导构件107的下侧)设置有限制构件147。该限制构件147限制后述的滑动构件162向上方滑动。该限制构件147由例如日本SUS304等不锈钢构成。在此，所述限制构件147与所述衬套141同轴配置，并支撑所述轴104。另外，所述限制构件147与所述密封按压构件143一体构成。并且，在所述隔膜泵101中，所述壳体102内通过所述翻卷式隔膜105以及所述引导构件107等被分隔，以形成用于填充液体的泵室151、驱动室152以及所述减压室153。具体而言，所述泵室151通过所述翻卷式隔膜105划分形成在所述壳体102内的所述翻卷式隔膜105的轴心方向的一侧(上侧)，并且能够变更室内的容积。在本实施方式中，所述泵室151被所述翻卷式隔膜105与所述壳体102的缸盖112包围而成，与所述吸入口115以及所述喷出口116分别相连通。所述泵室151通过伴随着所述活塞103的往复移动带来的所述翻卷式隔膜的动作(变形)，使室内的容积变化。所述驱动室152通过所述引导构件107划分形成在所述壳体102内的所述引导构件107的轴心方向的另一侧(下侧)。在本实施方式中，所述驱动室152被所述引导构件107、所述壳体102的缸体111、所述驱动装置106包围而成。在所述驱动室152内容纳有所述驱动装置106的输出轴131以及所述轴104各自的一部分。所述减压室153通过所述活塞103、所述翻卷式隔膜105以及所述引导构件107划分形成在所述壳体102内的所述泵室151与所述驱动室152之间。在本实施方式中，所述减压室153被所述活塞103、所述翻卷式隔膜105、所述引导构件107以及所述壳体102的缸体111包围而成，并与所述通气口114连通。并且，在驱动所述隔膜泵101时，所述减压室153通过经由所述通气口114连接的所述减压装置减压而变为规定的压力(负压)。所述减压室153经由设置在所述活塞103上的所述多个空气通路125，与对接接触的所述活塞103的上表面与所述翻卷式隔膜105的盖部135的下表面之间相连通。所述限制机构108构成为，在所述壳体102内的所述引导构件107的轴心方向的另一侧设置在所述壳体102与所述轴104之间，能够允许所述轴104在轴心方向上进行往复移动，并能够限制所述轴4围绕轴心旋转。在本实施方式中，所述限制机构108设置在所述驱动室152内，并且由能够使移动体沿着延伸的轨道体相对移动的直线运动引导部构成。详细地说，所述限制机构108具有：轨道状的引导构件(轨道体)161，以位于所述驱动室内的方式设置在所述壳体102上且在该轴心方向上延伸；所述滑动构件(移动体)162，固定在所述轴104上且安装在所述引导构件161上，能够相对于该引导构件161移动。所述滑动构件162在其内部具有多个滚珠(转动体)，并且经由这些滚珠与所述引导构件161嵌合，以使所述滑动构件162以及所述引导构件161能够相对移动。这样一来，所述滑动构件162能够相对于所述引导构件161无晃动地滑动。所述滑动构件162具有滑动部163和固定在该滑动部163上的连接部164。所述滑动部163以从所述壳体102的轴心侧横跨的方式安装在所述引导构件161上，并且一边被该引导构件161引导，一边能够在轴心方向上滑动。所述连接部164外嵌于所述轴104上，且以伴随着所述轴104的往复移动而与其一体地移动的方式被固定。此外，在所述连接部164向上方移动时，通过所述连接部164与所述限制构件147碰撞，能够限制所述滑动构件162整体向上方移动(参照图8)。在以上那样的结构中，在为了驱动所述隔膜泵101来使所述驱动装置106动作的情况下，通过所述输出轴131伴随着所述螺母134的旋转而在轴向上进行直线运动，使得所述轴104在轴心方向上进行往复移动，从而所述轴104向下方向进行返回移动的吸入工序和所述轴104向上方向进行前进移动的喷出工序交替反复进行。由此，能够使储存在所述储液槽中的液体以定量且定流量的方式向所述液体供给部供给。即，在所述吸入工序中，所述活塞103与所述翻卷式隔膜105的盖部135追随着所述轴104的返回移动而向下方进行返回移动(从图8所示的状态变化为图5所示的状态)。在该过程中，所述翻卷式隔膜105进行翻卷，使得在轴心方向上所述内筒部138的长度变短且所述外筒部139的长度变长，另外，在所述壳体102的内周面与所述活塞103的外周面之间的间隙内，所述折返部137向下方变位。与之伴随，由于所述泵室151的容积扩大，所以所述储液槽内的液体通过所述吸入口115被吸入所述泵室151内。另外，在所述喷出工序中，所述活塞103与所述翻卷式隔膜105的盖部135追随所述轴104的前进移动而向上方进行前进移动(从图5所示的状态变化至图8所示的状态)。在该过程中，所述翻卷式隔膜105进行翻卷，使得所述内筒部138的长度变长且所述外筒部139的长度变短，另外，在所述壳体102的内周面与所述活塞103的外周面之间的间隙内，所述折返部137向上方变位。与之伴随，由于所述泵室151的容积缩小，所以所述泵室151内的液体从所述喷出口116被喷出。在所述吸入工序以及所述喷出工序中，所述减压室153通过经由所述通气口114连接的所述减压装置被减压而变为规定的压力(负压)。因此，能够分别使所述翻卷式隔膜105的盖部135的下表面与所述活塞103的上表面、所述内筒部138的内表面与所述活塞103的外周面、所述外筒部139的外表面与所述壳体102的内周面可靠地紧贴。特别地，如上所述，对接接触的所述翻卷式隔膜105的盖部135的下表面与所述活塞103的上表面之间，通过设置在所述活塞103上的所述多条空气通路125来与所述减压室153连通，因此，能够更加可靠地使所述翻卷式隔膜105的盖部135与所述活塞103紧贴。另外，在所述吸入工序以及所述喷出工序中，所述轴104在所述壳体102内的所述驱动装置106的主体与所述活塞103之间，特别在靠近该所述活塞103的位置，被所述引导构件7引导，并进行往复移动。而且，此时，通过所述限制机构108变为如下状态：允许所述轴104在轴心方向上进行往复移动，并且限制所述轴104围绕轴心旋转。因此，在所述隔膜泵101中，在所述轴104进行往复移动时，所述轴104以及与其连动的所述活塞103在所述壳体102(所述缸体111、所述缸盖112)的径向(与轴心方向垂直或交叉的方向)上难以晃动，从而容易使所述翻卷式隔膜105不扭曲或不变形地正常动作(变形)。由此，能够有效地抑制因所述翻卷式隔膜105的动作所引起的液体输送量的定量性的降低。特别地，在本实施方式中，所述限制机构108由具有所述引导构件161与所述滑动构件162的直线运动引导部构成，因此，所述轴104利用所述滑动构件162的滑动，也一边被所述引导构件161引导，一边在轴心方向上平滑地往复移动。因此，在所述轴104进行往复移动时，能够使所述轴104以及所述活塞103在所述壳体102的径向上更加难以晃动。由此，能够更加有效地抑制液体输送量的定量性的降低。在图9(a)以及(b)中分别示出所述轴104与所述驱动装置106的输出轴131之间的连接部分的侧视图和俯视图。如图9(a)以及(b)所示，在本实施方式中，所述限制机构108的滑动构件162构成为，通过夹持所述轴104的轴心方向的另一端部(下端部)128且夹持所述输出轴131的轴心方向的一端部(上端部)即所述圆棒状部132，使所述轴104与所述输出轴131连接。具体而言，所述连接构件164具有：安装孔165，用于使所述轴104的下端部128以及所述输出轴131的上端部(所述圆棒状部132)插入来进行安装；一对紧固连接部167，在所述一对紧固连接部167彼此之间形成有连接所述安装孔165与外部的规定宽度的狭缝166；螺栓等紧固连接件168，能够以使所述一对紧固连接部167之间(所述狭缝66)的间隔尺寸变窄的方式来紧固所述一对紧固连接部167。并且，就所述连接构件164而言，在所述安装孔165内插入所述轴104的下端部128以及所述输出轴131的圆棒状部132而大致无间隙地外嵌的状态下，通过由所述紧固连接件168紧固所述一对紧固连接部167，来夹持所述轴104的下端部128以及所述输出轴131的圆棒状部132，从而将所述轴104的下端部128以及所述输出轴131的圆棒状部132相互连接。通过这样的结构，能够容易地进行所述轴104与所述驱动装置106的输出轴131的安装和分离。因此，能够实现所述隔膜泵101的维护的简便化。另外，能够使所述轴104以及所述输出轴131在维持稳定的连接状态下在轴心方向上移动。此外，本实施方式的驱动装置的输出轴为使用所述限制机构108的滑动构件162(所述连接部164)与所述轴104连接的输出轴131，但并不限定于此，例如，也可以是与利用限制机构的作用被限制旋转的轴可相对旋转地连接的输出轴。另外，在本实施方式中，如上所述，所述活塞103具有在所述翻卷式隔膜105的盖部135侧进行开口的所述第一凹部121。并且，如图6所示，所述翻卷式隔膜105具有能够与所述第一凹部121嵌合的突部171，在使该突部171与所述活塞103的第一凹部121嵌合的状态下，安装在所述活塞103上。所述翻卷式隔膜105的突部171从所述盖部135的轴心部向下方突出设置，并与所述第一凹部121同轴配置。所述突部171具有沿着所述第一凹部121的内周面的外周面，并大致无间隙地嵌入所述第一凹部121。此外，所述第一凹部121形成为，比所述第二凹部122浅(轴心方向的宽度小)。通过这样的结构，在所述隔膜泵101的吸入工序等向所述泵室151内的液体施加冲击的情况下，难以使所述翻卷式隔膜105相对于所述活塞103变形。另外，利用所述突部171与所述第一凹部121的嵌合能够进行所述翻卷式隔膜105与所述活塞103的对心，从而能够更加有效地抑制流体输送量的定量性的降低。附图标记的说明如下：1隔膜泵2壳体3活塞4轴5翻卷式隔膜6驱动装置7引导构件8限制机构21凹部(第一凹部)28轴的轴心方向的另一端部30马达部31输出轴32输出轴的轴心方向的一端部(圆棒状部)35盖部36开放端部37折返部51泵室52驱动室53减压室60花键轴61筒状构件71突部101隔膜泵102壳体103活塞104轴105翻卷式隔膜106驱动装置107引导构件108限制机构121凹部(第一凹部)123嵌合凹部127轴的轴心方向的一端部128轴的轴心方向的另一端部130马达部131输出轴132输出轴的轴心方向的一端部(圆棒状部)135盖部136开放端部137折返部151泵室152驱动室153减压室161引导构件162滑动构件171突部