技术特征:

1.一种双级干式真空泵,包括:

泵体缸,所述泵体缸包括内部容纳空间,并在所述泵体缸一侧具有抽吸端口,而在另一侧具有排放端口;

1级气缸和2级气缸,所述1级气缸和所述2级气缸设置在所述泵体缸的所述内部容纳空间内;

一对泵轴,该对泵轴穿过所述1级气缸和所述2级气缸平行地安装;

一对罗茨型转子,该对罗茨型转子安装成在同步状态下反向转动,其中,所述罗茨型转子与穿过所述1级气缸的所述泵轴啮合;

一对螺杆型转子,该对螺杆型转子安装成在同步状态下反向转动,其中,所述螺杆型转子与穿过所述2级气缸的泵轴啮合;

电动机,所述电动机构造成转动所述一对泵轴中的任何一个;

一对齿轮,该对齿轮与所述泵轴啮合,以使所述一对泵轴同步地转动;

1级抽吸通道,该1级抽吸通道将所述抽吸端口和所述1级气缸互连;

排气传输通道,该排气传输通道将所述1级气缸和所述2级气缸互连;

1级排气通道,该1级排气通道将所述排气传输通道和所述排气端口互连;

2级排气通道,该2级排气通道将所述2级气缸的后端和所述排气端口互连;

1级排气阀,该1级排气阀由通过所述1级排气通道排出的所述气体压力来打开和关闭;

2级排气阀,该2级排气阀由通过所述2级排气通道排出的所述气体压力来打开和关闭;以及

冷却水套,冷却水穿过所述冷却水套循环,从而至少冷却所述2级气缸或所述泵轴的轴承支承部分。

2.如权利要求1所述的泵,其特征在于,所述1级和2级排气阀由金属球形成,所述金属球构造成通过高于预定水平的排放气体的压力而从阀座浮起,并被打开,并在所述排放气体的所述压力低于预定水平时,通过所述金属球的 自重,与所述阀座紧密地接触。

3.如权利要求1或权利要求2所述的泵,其特征在于,所述1级排放通道和所述2级排放通道通过与所述排放端口接触的连接空间集成到一个结构中。

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