技术总结
本发明属于干式真空泵领域，具体地说是一种干式真空泵的排气结构，该干式真空泵包括多级泵腔，多级泵腔中的一级泵腔上开有进气口，最后一级泵腔上开有排气口，在最后一级泵腔的前一级泵腔上开有安全排气口，安全排气口处设有安全阀；安全阀包括阀体、芯轴、滑套及阀瓣，阀体安装在安全排气口外，在阀体上设有套有滑套的芯轴，阀瓣与芯轴相铰接、可绕芯轴转动，阀瓣与阀体处于闭合状态时密封接触。本发明在排气口所在级泵腔的前一级泵腔设置了安全排气口，并在安全排气口处安装了安全阀，当排气口所在级泵腔排气压力过大时，安全阀会自动打开从安全排气口出排气，避免因负载过大导致电机损坏或排气级转子与泵腔热膨胀卡死的现象发生。
技术研发人员：王光玉;于明鹤;张振厚
受保护的技术使用者：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
文档号码：201510824821
技术研发日：2015.11.23
技术公布日：2017.05.31