一种干泵高效节能装置的制作方法

在本实用新型涉及一种干泵高效节能装置，具体涉及一种高效节能型减压装置。

背景技术：

在液晶显示制程以及半导体制程上所使用的所有干泵，60 %以上在待机模式下的耗电量与运作模式下的耗电量相同。而整个工艺过程中，泵的耗电量占整个耗电量的52 %，为降低待机模式下的耗电量，本实用新型设计了一种干泵高效节能装置。通过将一种干泵高效节能装置安装在干泵排放口，会显著降低干泵待机模式下的耗电量。

技术实现要素：

本实用新型涉及一种干泵高效节能装置，目的实现高效稳定的降低液晶显示制程以及半导体制程上使用的所有干泵的耗电量，避免传统的液晶显示制程以及半导体制程中设备能源浪费的现象，以实现节约能源和降低成本。

本实用新型提供一种干泵高效节能装置，该装置将喷射器装置与干泵排气管相连，在干泵排气管中加入节气阀，组成干泵高效节能装置。

本实用新型所述的喷射器装置利用伯努力定理，将从喷射器分射的高压空气与节气阀共同作用，从而使干泵终端排气侧的压力从大气压减压成真空，以降低终端负荷，实现节能的目的。

本实用新型的有益积极效果：

1. 装置简单方便，可操作性强；独立的外置式喷射器装置可拆分地与干泵排气管相连。

2. 装置高效节能，在液晶显示制程以及半导体制程上所使用的所有干泵，60 %以上在待机模式下的耗电量与运作模式下的耗电量相同。而整个工艺过程中，干泵的耗电量占整个耗电量52%，通过将干泵节能装置安装在干泵排放口，会显著降低待机模式时的耗电。

3. 装置成本低，喷射器装置利用伯努力原理，将空气加压射入干泵的最终端，使终端从大气压减压至真空。

4. 装置寿命长，简单的喷射器装置稳度性高，可操作能力强，避免的操作不当所引起的装置磨损，破坏等问题，以延长使用寿命。

附图说明

如图1 是干泵高效节能装置待机模式下结构示意图。

如图2 是干泵高效节能装置运行模式下结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做出进一步详细说明。

如图1所示，干泵高效节能装置，在干泵待机模式下，节气阀（3）自动关闭，利用伯努力定理，从喷射器（1）射入的高压空气经入口（4）进入，在高压空气管道（6）内具有高的流速。把待机运行的干泵（7）终端排出气体（8）经排气管（2）进入到高压空气管道（6），从大气压减压成真空，随喷射器（1）经排出口（5）排出，减少干泵终端的负荷，从而明显降低干泵待机期间的耗电量，以实现节能的目的。

如图2所示，干泵高效节能装置，在干泵运行模式下，节气阀（3）自动打开，反应气体（9）经干泵（7）进入到干泵排气管（2）中，直接通过节气阀，从排气口排出，不经过喷射器（1）。从而，外置式干泵高效节能装置可以保证干泵运行模式下的正常工作，待机模式下的节能的目的。