共享干泵的处理方法及系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体工艺领域，特别是涉及共享干泵的处理方法及系统。
【背景技术】
[0002]在半导体领域，工艺系统是由TM (Transmiss1n Module,传输模块),PM (ProcessModule,工艺模块)组成。传输模块负责把晶片传输到工艺腔进行工艺操作，并把工艺操作后的晶片传回；工艺模块负责对晶片进行加工。晶片加工需要真空的环境，因此工艺腔室需要抽真空操作，传输腔需要传输晶片到真空环境中，因此也需要真空环境，同样需要抽真空操作。
[0003]TM抽气系统和PM抽气系统是两个独立的子系统。传统技术中，为了减小成本，TM抽气系统和PM抽气系统经常共用一个干泵。在共用一个干泵时，需要人工进行干预，才能避免引起气体倒灌；且在PM抽气系统中可以操作TM的相关阀，在TM抽气系统中可以操作PM的相关阀，增加了这两个抽气系统的耦合性，不好维护，且很不安全。
【发明内容】
[0004]针对传统技术中气体倒灌和不安全问题，本发明提供了一种不会出现气体倒灌现象，TM抽气系统和PM抽气系统可以同时执行的共享干泵的处理方法及系统。
[0005]为达到技术目的，本发明实施例采用如下技术方案:
[0006]本发明提供一种共享干泵的处理方法，包括以下步骤:
[0007]发出请求使用干泵信号；
[0008]若干泵处于使用状态，则发出请求使用干泵信号的请求者在请求队列中排队等待;
[0009]若干泵处于空闲状态，则发出请求使用干泵信号的请求者使用所述干泵；
[0010]发出请求释放干泵信号；
[0011]若发出请求释放干泵信号的请求者为当前使用所述干泵者，则释放干泵，干泵处于空闲状态；
[0012]若发出请求释放干泵信号的请求者不是当前使用所述干泵者，则将请求者从请求队列中删除。
[0013]作为一种可实施方式，所述发出请求使用干泵信号之后，包括如下步骤:
[0014]判断所述干泵是否处于空闲状态；
[0015]若处于空闲状态，则将每个共享阀的状态进行保存后，将不需要的共享阀关闭，所述请求者使用干泵进行抽真空操作；
[0016]若处于使用状态，判断发出请求使用干泵信号的请求者是否在请求队列中；
[0017]若是，则在请求队列中排队等待；
[0018]否则，根据请求者的优先级在请求队列中进行排队。
[0019]作为一种可实施方式，所述发出请求释放干泵信号之后，包括如下步骤:
[0020]判断发出请求释放干泵信号的请求者是否为当前使用干泵者；
[0021]若是，则将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵；
[0022]否则，将请求者从请求队列中删除。
[0023]作为一种可实施方式，所述将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵之后，还包括如下步骤:
[0024]判断请求队列中是否有请求者；
[0025]若有，则请求队列中排在队列头的请求者使用所述干泵；
[0026]否则，所述干泵处于空闲状态。
[0027]作为一种可实施方式，所述请求者包括第一请求者和第二请求者；
[0028]所述第一请求者为TM抽气系统；
[0029]所述第二请求者为PM抽气系统。
[0030]本发明还提供一种共享干泵的处理系统，包括使用干泵模块和释放干泵模块，其中:
[0031]所述使用干泵模块，用于发出请求使用干泵信号；
[0032]若干泵处于使用状态，则发出请求使用干泵信号的请求者在请求队列中排队等待;
[0033]若干泵处于空闲状态，则发出请求使用干泵信号的请求者使用所述干泵；
[0034]所述释放干泵模块，用于发出请求释放干泵信号；
[0035]若发出请求释放干泵信号的请求者为当前使用所述干泵者，则释放干泵，干泵处于空闲状态；
[0036]若发出请求释放干泵信号的请求者不是当前使用所述干泵者，则将请求者从请求队列中删除。
[0037]作为一种可实施方式，所述使用干泵模块包括第一判断单元；
[0038]所述第一判断单元，用于判断所述干泵是否处于空闲状态；
[0039]若处于空闲状态，则将每个共享阀的状态进行保存后，将不需要的共享阀关闭，所述请求者使用干泵进行抽真空操作；
[0040]若处于使用状态，判断发出请求使用干泵信号的请求者是否在请求队列中；
[0041]若是，则在请求队列中排队等待；
[0042]否则，根据请求者的优先级在请求队列中进行排队。
[0043]作为一种可实施方式，所述释放干泵模块包括第二判断单元；
[0044]所述第二判断单元，用于判断发出请求释放干泵信号的请求者是否为当前使用干泵者；
[0045]若是，则将此时共享阀的状态恢复为保存的共享阀的状态，并释放干泵；
[0046]否则，将请求者从请求队列中删除。
[0047]作为一种可实施方式，所述释放干泵模块还包括第三判断单元；
[0048]所述第三判断单元，用于判断请求队列中是否有请求者；
[0049]若有，则请求队列中排在队列头的请求者使用所述干泵；
[0050]否则，所述干泵处于空闲状态。
[0051]作为一种可实施方式，所述请求者包括第一请求者和第二请求者；
[0052]所述第一请求者为TM抽气系统；
[0053]所述第二请求者为PM抽气系统。
[0054]本发明的有益效果:
[0055]本发明的共享干泵的处理方法及系统，多个请求者共享一个干泵，请求者首先请求使用干泵，若干泵处于空闲状态，则当前请求者使用该干泵，若干泵处于使用状态，则当前请求者在请求队列中排队等待；当请求者完成相应的抽真空操作后，释放该干泵，该处于空闲状态的干泵依据请求者的优先级顺序，依次对请求者进行相应的抽真空操作；每个请求者进行抽真空操作之前，都会对所有请求者的共享阀的状态进行保存，释放干泵后，将共享阀的状态恢复至操作之前的状态。采用该方法多个请求者的相关的操作可以同时执行，且不会引起气体倒灌；在进行抽真空操作前，将每个请求者的共享阀的状态保存下来，进行抽真空操作时，当前使用干泵的请求者的共享阀打开，其他请求者的共享阀关闭，保证每个请求者都是一个相对独立的系统，和其他请求者之间没有耦合性，方便维护，且相对比较安全；操作人员可以直接在软件界面上操作即可，不需要手动操作，降低了操作人员的操作负责度。
【附图说明】
[0056]图1为传统技术的TM抽气系统的一实施例的结构不意图；
[0057]图2为传统技术的PM抽气系统的一实施例的结构不意图；
[0058]图3为本发明的共享干泵的处理方法的使用干泵的一实施例的流程示意图；
[0059]图4为本发明的共享干泵的处理方法的释放干泵的一实施例的流程示意图；
[0060]图5为本发明的共享干泵的处理系统的一实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0061]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本发明共享干泵的处理方法及系统进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0062]参见图1、图2所不，图1为TM抽气系统的结构不意图，包括传输模块10、第一,决抽阀11、第一慢抽阀12和第一干泵13,所述第一,决抽阀11和第一慢抽阀12统称为TM共享阀；图2为PM抽气系统的结构示意图，包括工艺模块20、第二快抽阀21、第二慢抽阀22、摆阀23、分子泵24、隔离阀25、吹扫阀26和第二干泵27，所述第二快抽阀21、第二慢抽阀
22、摆阀23、分子泵24、隔离阀25、吹扫阀26统称为PM共享阀；TM共享阀与PM共享阀统称为共享阀。