一种传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，此结构主要应用于半导体薄膜沉积制备过程中，属于半导体薄膜设备的应用技术领域。
【背景技术】
[0002]半导体镀膜设备传输模块的传片腔体底部抽气口处需要安装一种过滤结构，以防意外情况下陶瓷机械手发生碰撞时产生碎片，而碎片会沿抽气方向进入控制阀内及栗体内对其造成磨损及损坏。设计人员有时会采用过滤网，过滤网虽然可以过滤较大块的碎肩，但细微的粉状颗粒物却容易从网眼渗透冲入控制阀，进而损坏阀体。另外，过滤网在受陶瓷碎片撞击时容易断裂，且在使用过程中也容易被碎片堵塞，实际过滤效果较差。因此，急需开发一种抽气管路前端过滤碎片的结构，在保证过滤效果的同时，还可增加设备的安全性和可靠性。
【发明内容】
[0003]本发明以解决上述问题为目的，设计了一种传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，在保证过滤效果的同时保证了设备的安全性和可靠性。
[0004]为实现上述目的，本发明采用下述技术方案，一种传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，包括:沉头螺钉、外罩及挡芯。挡芯与外罩通过沉头螺钉固紧。所述挡芯上制有多个通气凹槽；所述外罩的边缘制有凸台。上述外罩的直径要比挡芯的直径大，其外罩的边缘凸台与挡芯的边缘形成一定的间隙。
[0005]使用时，通过沉头螺钉将外罩与挡芯紧固组成过滤器，安装在腔体抽气孔的上方。安装完成后腔体的气体先进入外罩与挡芯的间隙后，再进入挡芯的凹槽中，然后进入抽气通道。而碎片受外罩与挡芯外壁的阻挡，使得碎片不能进入抽气管路，进而保护了控制阀及真空栗不受损坏。
[0006]使用后，将过滤器从腔体气孔取出，清除腔体气孔周围的杂物，拆卸外罩、挡芯并进行清洗，可重复使用。
[0007]本发明的有益效果及特点在于:
[0008]1、实际过滤效果较好，可防止大块碎片撞击，过滤阻挡中块碎片使其不能进入气体管道，对细微颗粒物也具有一定的过滤效果；
[0009]2、安全性较高，结构坚固可靠，在突发异常情况下可以承受陶瓷碎片的撞击而不易损坏，有效的保护了抽气管路后端的控制阀及栗体；
[0010]3、结构简单，拆卸方便，在进行简单清洗后可重复使用。
【附图说明】
[0011]图1是本发明过滤器的拆分图。
[0012]图2是本发明过滤器的装配图。
[0013]图3是本发明过滤器工作原理图。
【具体实施方式】
[0014]实施例
[0015]参照附图1-3，一种传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，包括:沉头螺钉1、外罩2及挡芯3。挡芯3与外罩2通过沉头螺钉1固紧。
[0016]所述挡芯3上制有多个通气凹槽4 ;
[0017]所述通气凹槽4可制成圆形、方形或扇形。
[0018]所述通气凹槽4的数量至少为两个。
[0019]所述外罩2的边缘制有凸台5 ；
[0020]所述外罩2的直径要比挡芯3的直径大，其外罩2的边缘凸台5与挡芯3的边缘形成一定的间隙。
[0021]使用时，通过沉头螺钉1将外罩2与挡芯3紧固组成过滤器，安装在腔体抽气孔的上方。安装完成后腔体的气体先进入外罩2与挡芯3的间隙，再进入挡芯3的凹槽4并进入抽气通道。而碎片受外罩2与挡芯3外壁的阻挡，使得碎片不能进入抽气管路，进而保护了控制阀及真空栗不受损坏。
[0022]使用后，将过滤器从腔体气孔取出，清除腔体气孔周围的杂物，拆卸外罩2及挡芯
3并进行清洗，可重复使用。
[0023]工作原理:由于本结构的材质为金属，故可承受大块陶瓷碎片的撞击而不损坏。中等大小的陶瓷碎肩将被挡在过滤器区域A(如附图3所示);在合适的气体流速下，细微的陶瓷粉末将受重力作用沉积在过滤芯根部区域B处(如附图3所示);气体本身则可沿附图3的流动路径通过过滤器，达到气体过滤的目的。
【主权项】
1.一种传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，其特征在于:它包括沉头螺钉、外罩及挡芯，挡芯3与外罩2通过沉头螺钉1固紧。2.如权利要求1所述的传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，其特征在于:所述挡芯上制有多个通气凹槽。3.如权利要求2所述的传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，其特征在于:所述通气凹槽可制成圆形、方形或扇形。4.如权利要求2所述的传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，其特征在于:所述通气凹槽的数量至少为两个。5.如权利要求1所述的传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，其特征在于:所述外罩2的边缘制有凸台5。6.如权利要求1所述的传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，其特征在于:所述外罩的直径要比挡芯的直径大，其外罩的边缘凸台与挡芯的边缘形成间隙。7.如权利要求1所述的传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，其特征在于:使用后，将过滤器从腔体气孔取出，清除腔体气孔周围的杂物，拆卸外罩及挡芯并进行清洗，可重复使用。
【专利摘要】一种传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构，包括：沉头螺钉、外罩及挡芯。挡芯与外罩通过沉头螺钉固紧。所述挡芯上制有多个通气凹槽；所述外罩的边缘制有凸台。上述外罩的直径要比挡芯的直径大，其外罩的边缘凸台与挡芯的边缘形成一定的间隙。使用时，腔体的气体先进入外罩与挡芯的间隙后，再进入挡芯的凹槽中，然后进入抽气通道。而碎片受外罩与挡芯外壁的阻挡，使得碎片不能进入抽气管路，进而保护了控制阀及真空泵不受损坏。本发明过滤效果好、安全性高，在突发异常情况下可以承受陶瓷碎片的撞击而不易损坏。其结构简单、拆卸方便，在进行简单清洗后可重复使用。可广泛地应用在半导体薄膜设备技术领域。
【IPC分类】H01L21/677, F04B53/20
【公开号】CN105298830
【申请号】CN201510595228
【发明人】范川, 廉杰, 杜广宇, 方仕彩
【申请人】沈阳拓荆科技有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年9月17日