一种多级气冷罗茨泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及系统抽真空技术领域，具体涉及一种多级气冷罗茨泵。
【背景技术】
[0002]气冷罗茨真空泵能够直排大气，不需要机械泵作为其前级泵，结构接单，工作稳定。气冷罗茨真空泵以其技术的优势，在国内发展较快，广泛应用于电子、化工、纺织等行业。目前国内气冷罗茨泵多为单级结构，在实际应用中，为了满足不同极限真空度的要求，通常将多台单级气冷罗茨泵串联组成气冷机组使用。但是气冷机组占空间大，功耗大，成本尚O
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所解决的技术问题是:提供一种多级气冷罗茨泵，既能节省空间、降低功率和成本，又能提高被抽真空系统的真空度。
[0004]本实用新型的技术方案是:一种多级气冷罗茨泵，包括电机，连接于电机输出端的转轴，转轴横穿于泵体内；所述泵体内部设有容置腔，所述容置腔内设有多个隔板，所述隔板将容置腔分割成至少两个气冷罗茨腔，所述气冷罗茨腔与所述转轴之间用密封结构进行密封；所述气冷罗茨腔内部设有罗茨转子，所述罗茨转子套设在所述转轴上，所述转轴带动所述罗茨转子转动；所述气冷罗茨腔的上端和下端分别设有贯穿泵体的进气口和排气口，其中位于紧邻电机一端的气冷罗茨腔的进气口连通于待抽真空系统，排气口与外界封闭；位于远离电机一端的气冷罗茨腔的进气口与外界封闭，排气口连通于大气；位于中间位置的所述气冷罗茨腔的进气口和排气口均与外界处于封闭状态；所述隔板上设有进气通道，沿紧邻电机一端至远离电机一端的方向上，所述气冷罗茨腔的排气口通过进气通道连通于相邻的气冷罗茨腔的进气口 ；所述泵体两侧设有冷气进气口，对所述气冷罗茨腔内的罗茨转子进行冷却。
[0005]作为本实用新型的一种优选结构，所述泵体上设有进水口以及出水口，所述进水口位于远离电机一端的气冷罗茨腔的一侧，并通过进水管道与远离电机一端的气冷罗茨腔相连通；所述出水口位于紧邻电机一端的气冷罗茨腔的一侧，并通过出水管道与紧邻电机一端的气冷罗茨腔相连通。
[0006]作为本实用新型的一种优选结构，所述转轴由主动转轴、从动转轴组成，所述主动转轴、从动转轴上分别套设相配合的同步啮合齿轮，并由主动转轴带动从动转轴旋转。
[0007]作为本实用新型的一种优选结构，所述罗茨转子为三叶扭叶转子或四页扭叶转子。
[0008]作为本实用新型的一种优选结构，所述冷气进气口安装有冷却水管，用于对冷气进气口处的气体降温。
[0009]作为本实用新型的一种优选结构，所述电机与主动转轴通过联轴器连接。
[0010]本实用新型的有益效果在于:通过在一个泵体内设置了多个气冷罗茨腔，将多台单级气冷罗茨泵组结构组合在一个泵体内；用一台多级气冷罗茨泵代替多台单级气冷罗茨泵组，在节省空间、降低功率和成本的同时提高了被抽真空系统的真空度。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图。
[0012]图2为本实用新型的气冷罗茨腔结构示意图。
[0013]其中一电机，2—联轴器，3—容置腔，4一进气口，5—转轴，6—隔板，7—排气口，8—出水口，9一泵体，10—气冷罗茨腔，11 一进气通道，12—从动转轴，13—进水口，14一罗茨转子，15—主动转轴，16—冷气进气口，17—冷却水管。
【具体实施方式】
[0014]为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合【具体实施方式】，进一步阐述本实用新型。
[0015]如图1、图2所示，一种多级气冷罗茨泵，包括电机1，连接于电机I输出端的转轴5，转轴5横穿于泵体9内；所述泵体9内部设有容置腔3，所述容置腔3内设有多个隔板6，所述隔板6将容置腔3分割成至少两个气冷罗茨腔10，所述气冷罗茨腔10与所述转轴5之间用密封结构进行密封；所述气冷罗茨腔10内部设有罗茨转子14，所述罗茨转子14套设在所述转轴5上，所述转轴5带动所述罗茨转子14转动；所述转轴5由主动转轴15、从动转轴12组成，所述电机I与主动转轴15通过联轴器2连接，用于带动主动转轴15转动，主动转轴15、从动转轴12上分别套设有相配合的同步啮合齿轮，并由主动转轴15带动从动转轴12旋转；主动转轴15、从动转轴12上套设有所述罗茨转子14，由转轴5带动罗茨转子14转动；所述气冷罗茨腔10的上端和下端分别设有贯穿泵体的进气口 4和排气口 7，其中位于紧邻电机I 一端的气冷罗茨腔10的进气口 4连通于待抽真空系统，作为被抽真空系统内气体进入多级罗茨泵的通道，排气口 7与外界封闭；位于远离电机I 一端的气冷罗茨腔10的进气口 4与外界封闭，排气口 7连通于大气，作为多级罗茨泵内抽气排入大气的通道；位于中间位置的所述气冷罗茨腔10的进气口 4和排气口 7均与外界处于封闭状态；所述隔板6上设有进气通道11，作为气体由上级气冷罗茨腔10进入下级气冷罗茨腔10的气体通道，沿紧邻电机I 一端至远离电机I 一端的方向上，所述气冷罗茨腔10的排气口 7通过进气通道11连通于相邻的气冷罗茨腔10的进气口 4 ;所述泵体9两侧设有冷气进气口 16，对所述气冷罗茨腔10内的罗茨转子14进行冷却。
[0016]进气通道进气通道进气通道气冷罗茨腔10作为罗茨转子14的工作腔，当罗茨转子14与进气口 4相通时，罗茨转子14头部使进气口 4与排气口 7、冷气进气口 16隔离，气体被吸入工作腔；当罗茨转子14旋转一定角度后，工作腔与进气口 4、排气口 7、冷气进气口16均隔离，罗茨转子14继续转动使得工作腔与冷气进气口 16相通，冷气由冷气进气口 16返冲流入工作腔中，直到腔内压力达到冷气进气口 16的压力；在冷气返冲流入工作腔的同时，罗茨转子7旋转对工作腔内的气体进行压缩，接着工作腔与排气口 7相通进行排气。冷气进气口 16安装有冷却水管17，用于对冷气进气口 16处的气体降温。从冷气进气口 16返冲到气冷罗茨腔10中的冷气，吸收气冷罗茨腔10内大量的热量，随罗茨转子14的继续压缩排出，达到罗茨转子14冷却的目的，从而使压缩热得到平衡，所以该种泵可以直排大气。一级气冷罗茨腔10构成一级气冷罗茨结构，该装置由后一级气冷罗茨结构作为前一级气冷罗茨结构的前级泵，后一级气冷罗茨结构的极限真空度比前一级气冷罗茨结构的极限真空度高一个数量级，所以包含多个气冷罗茨腔10的多级气冷罗茨泵的极限真空度被大大提尚，从而提尚了被抽真空系统的真空度。
[0017]泵体9上设有进水口 13以及出水口 8，所述进水口 13位于远离电机I 一端的气冷罗茨腔10的一侧，并通过进水管道与远离电机I 一端的气冷罗茨腔10相连通；所述出水口8位于紧邻电机一端的气冷罗茨腔10的一侧，并通过出水管道与紧邻电机I 一端的气冷罗茨腔10相连通；所述进水口 13利用气冷罗茨腔10的真空度吸入微量的水，随罗茨转子14的压缩由出水口 8排出，用于消除因压缩空气而产生的热量。罗茨转子14为三叶扭叶转子或四页扭叶转子，用于减少噪声；扭叶设计将转子的开口面积的变化率由零到最大渐变，从而延缓了排气口 7处气体压差的变化率，延缓回流过程、降低排气脉动，起到削减周期性排气冲击噪音的作用。
[0018]以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种多级气冷罗茨泵，包括电机(I)，连接于电机⑴输出端的转轴(5)，转轴(5)横穿于泵体(9)内；其特征在于:所述泵体(9)内部设有容置腔(3)，所述容置腔(3)内设有多个隔板(6)，所述隔板(6)将容置腔(3)分割成至少两个气冷罗茨腔(10)，所述气冷罗茨腔(10)与所述转轴(5)之间用密封结构进行密封；所述气冷罗茨腔(10)内部设有罗茨转子(14)，所述罗茨转子(14)套设在所述转轴(5)上，所述转轴(5)带动所述罗茨转子(14)转动；所述气冷罗茨腔(10)的上端和下端分别设有贯穿泵体(9)的进气口(4)和排气口(7)，其中位于紧邻电机(I) 一端的气冷罗茨腔(10)的进气口(4)连通于待抽真空系统，排气口(7)与外界封闭；位于远离电机⑴一端的气冷罗茨腔(10)的进气口(4)与外界封闭，排气口(7)连通于大气；位于中间位置的所述气冷罗茨腔(10)的进气口(4)和排气口(7)均与外界处于封闭状态；所述隔板(6)上设有进气通道(11)，沿紧邻电机⑴一端至远离电机⑴一端的方向上，所述气冷罗茨腔(10)的排气口(7)通过进气通道(11)连通于相邻的气冷罗茨腔(10)的进气口(4);所述泵体(9)两侧设有冷气进气口(16)，对所述气冷罗茨腔(10)内的罗茨转子(14)进行冷却。
2.根据权利要求1所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于:所述泵体(9)上设有进水口(13)以及出水口(8)，所述进水口(13)位于远离电机⑴一端的气冷罗茨腔(10)的一侧，并通过进水管道与远离电机(I) 一端的气冷罗茨腔(10)相连通；所述出水口(8)位于紧邻电机⑴一端的气冷罗茨腔(10)的一侧，并通过出水管道与紧邻电机⑴一端的气冷罗茨腔(10)相连通。
3.根据权利要求1所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于:所述转轴(5)由主动转轴(15)、从动转轴(12)组成，所述主动转轴(15)、从动转轴(12)上分别套设相配合的同步啮合齿轮，并由主动转轴(15)带动从动转轴(12)旋转。
4.根据权利要求1一3任意一项所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于:所述罗茨转子(14)为三叶扭叶转子或四页扭叶转子。
5.根据权利要求1一3任意一项所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于:所述冷气进气口(16)设有冷却水管(17)，用于对冷气进气口(16)处的气体降温。
6.根据权利要求3所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于:所述电机(I)与主动转轴(15)通过联轴器(2)连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种多级气冷罗茨泵，涉及系统抽真空技术领域，包括电机，连接于电机输出端的转轴，转轴横穿于泵体内；所述泵体内部设有容置腔，所述容置腔内设有多个隔板，所述隔板将容置腔分割成至少两个气冷罗茨腔，所述气冷罗茨腔与所述转轴之间用密封结构进行密封；所述气冷罗茨腔内部设有罗茨转子，所述罗茨转子套设在所述转轴上，所述转轴带动所述罗茨转子转动；所述气冷罗茨腔的上端和下端分别设有贯穿泵体的进气口和排气口，所述隔板上设有进气通道；所述泵体两侧设有冷气进气口，对所述气冷罗茨腔内的罗茨转子进行冷却进气通道；本实用新型在节省空间、降低功率和成本的同时提高了被抽真空系统的真空度。
【IPC分类】F04C25-02, F04C29-04, F04C23-02
【公开号】CN204572460
【申请号】CN201520227556
【发明人】闫璐
【申请人】闫璐
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年4月15日