专利名称：高真空阀的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种高真空阀，其轴封采用带润滑脂槽的滑动密封结构。
背景技术：
对于现有技术的高真空阀其用于驱动开闭件使阀开闭的推杆处的轴封若采用带 润滑脂槽的滑动密封结构时，由于在流路中流动的气体中有时会混入溶剂等，混入的溶剂 等如果进入轴封，用来保护真空密封用密封部件的润滑脂有可能因此产生溶解析出、流失 或劣化等问题。具体地讲，当上述溶剂等进入上述推杆表面上的细微的凹凸处时，其有可能 会从真空侧进入润滑脂槽，越过润滑脂槽而到达真空密封用密封部件处，使该密封部件劣 化。此外，由于高真空阀的流路处于真空环境中，而上述润滑脂有可能蒸发或流失到流路的 真空环境中，这会导致真空密封用垫圈由于缺少润滑脂而早期磨损并发生漏油(leak)等 问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种高真空阀，其中，驱动开闭件使阀开闭的推杆处的轴 封采用带润滑脂槽的滑动密封结构，该高真空阀可轴封防止该轴封发生缺少润滑脂的情 况，实现延长该轴封的寿命的目的。 更具体地讲，本发明的目的是提供一种高真空阀，采取简单的结构就能有效地遏
制润滑脂从上述轴封蒸发、溶解析出或流失到处于真空环境中的流路内。 为了实现上述目的，本发明提供的高真空阀的结构为，其包括阀体部，在第一阀
口和第二阀口之间形成的流路中设置阀座，还具有通过相对该阀座接合或分离而开闭该流
路的开闭件；阀驱动部，由驱动机构驱动的推杆将与上述阀体部的阀座面对的流路壁以密
封状态贯穿并插入到该流路中，上述阀驱动部驱动连结在上述推杆顶端的上述开闭件来开
闭阀座，其中，在贯穿上述阀体部的流路壁的上述推杆的贯通孔内设置有润滑脂槽，在该贯
通孔内的润滑脂槽的上述流路一侧设置用来保留润滑脂的密封部件，而在上述贯通孔内的
润滑脂槽的相反一侧设置用来真空密封的密封部件，由此构成上述贯通孔的轴封，并使上
述润滑脂槽的轴向长度与上述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程。 本发明的高真空阀的实施方式中优选如下结构在上述贯通孔内的流路侧端设置
有刮板。 此外，用来驱动上述开闭件的驱动机构为如下结构在顶端连结有上述开闭件并 使另一端从上述流路壁朝向套管内的缸体部突出的上述推杆上，连结有以在该缸体部内可 以滑动的方式收纳在缸体部内的活塞，由供排到该缸体部内的先导流体的压力通过上述活 塞和推杆来驱动开闭件。 上述高真空阀采用上述引导式驱动的结构时，优选将上述缸体部的至少活塞的推 杆连结侧的活塞室当作供排先导流体的压力的压力室，在上述推杆贯穿其内的贯通孔的该 压力室侧端设置用来密封该压力室的垫圈，并使该用来密封压力室的垫圈和真空密封用密封部件之间的空间通过通孔朝向外部开口 ，其中，真空密封用密封部件位于贯通孔内的润 滑脂槽的上述压力室一侧，上述通孔用来使从上述压力室经上述用来密封压力室的垫圈而 漏出的空气溢出。 在具有上述结构的本发明的高真空阀中，由于在阀体部中、供推杆贯穿的贯通孔
内设置有轴向长度与开闭件的最大行程相同、或大于该最大行程的润滑脂槽，所以推杆表
面上存在与润滑脂槽中的润滑脂始终保持接触的部分，而且，在开闭开闭件的任意一个行
程中，推杆表面上的始终与润滑脂槽接触的部分会与润滑脂槽两端的某一个密封部件接
触，因而会向所接触的密封部件补充润滑脂而实现延长密封部件的寿命的目的。 采用以上详述的本发明的高真空阀的结构时，对于用来驱动开闭件使阀开闭的推
杆处的轴封是采用带设置润滑脂槽的滑动密封结构的高真空阀，可防止轴封发生缺少润滑
脂的情况，可以实现延长轴封的寿命的目的，更具体地讲，本发明采取简单的结构就能有效
地遏制润滑脂从上述轴封蒸发、溶解析出或流失到处于真空环境中的流路内。
图1是本发明的高真空阀的实施方式中的纵向剖视图，其表示高真空阀的左半部
分呈阀门关闭的状态、右半部分呈阀门打开的状态。 图2表示上述实施方式中的主要部分的纵向剖视图。
符号说明
1 :阀体部，2 :阀驱动部，ll :流路，12 :第一阀口，13 :第二阀口，14 :开闭件，15 :推 杆，16 :阀座，18 :贯通孔，20 :缸体部，21 :套管，22 :活塞，23、24 :活塞室，30 :轴封，31 :润滑 脂槽，32、33 :密封部件，35 :刮板，36 :密封用垫圈，37 :通孔
具体实施例方式
下面，根据附图来详细说明本发明的实施方式。 图l和图2是表示本发明的高真空阀的实施方式的一个例子。该高真空阀呈字母 L状，其中用来驱动开闭件14使阀开闭的推杆15处的轴封30是带润滑脂槽31的滑动密封 结构。该高真空阀的主要部分可大致区分为在内部形成有流路11的阀体部1和阀驱动部 2，其中，阀驱动部2用于驱动开闭件14，以开闭阀体部1上的阀座16。
在上述阀体部1中，在第一阀12和其轴线与第一阀口 12的轴线垂直相交的第二 阀口 13之间形成上述流路ll，在该流路11的靠近第一阀口 12的内侧设置有阀座16，而在 与该阀座16所面对的位置上设置有开闭件14，开闭件14通过与上述阀座16的接合或分离 来开闭上述流路ll，用来驱动该开闭件14的推杆15由推杆支承板17支承，推杆支承板17 构成流路壁，推杆15贯穿该流路壁，从上述流路11向外伸入到附设在阀体部1上的阀驱动 部2，其中，推杆15与流路壁之间保持着密封的状态。 另一方面，用来驱动上述开闭件14的上述阀驱动部2包括用来驱动推杆15的驱 动机构，该推杆15在其顶端与上述开闭件14相连结。作为该驱动机构，在图示的实施方式 中具有如下结构在顶端连结有上述开闭件14的推杆15的另一端，从上述流路壁(推杆 支承板17)朝向流路壁(推杆支承板17)外侧的套管21内的缸体部20伸出，位于该缸体 部20内的上述推杆15的端部与活塞22连结，活塞22以可以自由滑动的方式收纳在上述缸体部20内，位于上述缸体部20内的活塞22的两侧各有一个活塞室23、24，其作为压力 室可分别由先导口 23a、24a向其供排先导流体的压力，依靠供排到压力室的先导流体的压 力，上述活塞22和推杆15驱动开闭件14。 此外，也可将所述活塞室23、24的其中之一不当作供排先导流体的压力室，而使 用复位弹簧使因先导流体的压力而被驱动的活塞22复位。在这种结构中，通常是将复位弹 簧安装在开闭件14和推杆支承板17之间，但是也不排除使复位弹簧收纳在活塞室23、24 的其中之一内。 推杆15贯穿上述高真空阀的阀体部1的流路壁的贯通孔18，其轴封30的结构是 在该贯通孔18内设置浅沟槽形的润滑脂槽31，并在上述贯通孔18内靠近润滑脂槽31的流 路11 一侧设置由0型圈等构成的用来保持润滑脂的密封部件32，而在上述贯通孔18内远 离流路11的润滑脂槽31 —侧设置由0型圈等构成的真空密封用密封部件33。上述润滑脂 槽31的轴向长度与上述开闭件14的最大行程相同或大于该最大行程。
此外，在上述贯通孔18内的靠近流路11的侧端设置有刮板35。该刮板35具有以 下功能由于推杆15的表面露出在流路11内，在该表面会附着有溶剂等，刮板35可以遏制 附着在该表面上的溶剂等伴随推杆15的滑动而进入轴封30的内部，同时刮板35也可以遏 制润滑脂从轴封的内部流到外部。 而且，设置在靠近上述润滑脂槽31的流路11 一侧的上述密封部件32，不仅对润滑 脂起到保持作用使其不会流动到呈真空状态的流路11 一侧，还起到了真空密封的作用。另 一方面，在远离流路11的润滑脂槽31 —侧设置的密封部件33，也不仅起着真空密封的作 用，还起到遏制润滑脂流到缸体部20内的作用。 而且，优选上述推杆15上的与密封部件32相对滑动接触的表面部分不会露出在 流路11内，因而，即使流路11中的溶剂等附着在推杆15的表面上，并且随着开闭件14的 往复移动而进入贯通孔18轴封内，但也不会到达密封部件32处，从而可以可靠地防止因溶 剂而损伤密封部件32的情况发生。 在如图所示的实施方式中，如将上述缸体部20的活塞22的推杆连结侧的活塞室 24当作供排先导流体的压力的压力室时，优选设置密封用垫圈36和通孔37，S卩，使上述推 杆15贯穿的贯通孔18的靠近上述活塞室24端侧设置的密封用垫圈36与贯通孔18内的 真空密封用密封部件33之间的空间能通过通孔37与外部连通，使从上述压力室经上述密 封用垫圈36而漏出的空气可从该通孔37溢出。在将上述活塞室24当作收纳复位弹簧的 空间并使其朝向大气开口时，则无需设置上述密封用垫圈36或通孔37。此外，在上述轴封 30的密封部件32和刮板35之间设置有轴承38。 在具有上述结构的高真空阀中，由于在阀体部1中供推杆15贯穿的贯通孔18中 设置有轴向长度与开闭件14的最大行程相同或大于该最大行程的润滑脂槽31，所以在推 杆15的表面上存在始终与润滑脂槽31内的润滑脂接触的部分，这样，在开闭开闭件14的 任意一个行程中，推杆15表面始终与润滑脂槽31接触的那部分会与润滑脂槽31两端的密 封部件32或33始终保持接触，所以始终有润滑脂会补充给这些密封部件32、33，从而可以 实现延长密封部件32、33的寿命的目的。因此，可以防止轴封30发生润滑脂缺少的情况， 进而可以实现延长该轴封30的寿命的目的，更具体地讲，可以通过采取简单的结构就能有 效地遏制润滑脂从上述轴封30蒸发、溶解析出或流失到处于真空环境的流路11内。
权利要求
一种高真空阀，包括阀体部和阀驱动部，在所述阀体部中设置有阀座，该阀座位于形成在第一阀口和第二阀口之间的流路中，所述阀体部中还设置有开闭件，通过所述开闭件与所述阀座的接合或分离，以此来开闭所述流路；所述阀驱动部用于驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座，由驱动机构驱动的推杆贯穿所述阀体部中面向阀座的流路壁，插入所述流路中，所述推杆与所述流路壁之间保持密封状态，其特征在于在所述阀体部的流路壁上供所述推杆贯通的贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述贯通孔内靠近润滑脂槽的所述流路一侧设置有用来保持润滑脂的密封部件，而在所述贯通孔内靠近润滑脂槽的另一侧设置有用来真空密封的密封部件，由此在所述贯通孔中形成轴封，所述润滑脂槽的轴向长度与所述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程。
2. 根据权利要求1所述的高真空阀，其特征在于 在所述贯通孔内的流路一侧端设置有刮板。
3. 根据权利要求1或2所述的高真空阀，其特征在于用来驱动所述开闭件的驱动机构为如下结构所述推杆的顶端与所述开闭件连结，所 述推杆的另一端从所述流路壁伸入到套管内的缸体部内，与收纳在所述缸体部内可以滑动 的的活塞相连接，由供排到所述缸体部内的先导流体的压力再通过所述活塞和推杆来驱动 所述开闭件。
4. 根据权利要求3所述的高真空阀，其特征在于将所述缸体部的至少活塞的推杆连结侧的活塞室用作于供排先导流体的压力的压力 室，在供所述推杆贯穿的贯通孔的所述压力室侧端设置用来密封该压力室的垫圈，并使该 用来密封压力室的垫圈和真空密封用密封部件之间的空间通过通孔朝向外部开口，其中， 真空密封用密封部件位于所述贯通孔内靠近润滑脂槽的所述压力室一侧，所述通孔用来使 从上述压力室经所述用来密封压力室的垫圈而漏出的空气溢出。
全文摘要
本发明提供一种高真空阀，其包括阀体部，在第一阀口和第二阀口之间的流路上设置阀座，并具有可相对该阀座接合或分离的开闭件；阀驱动部，由先导流体的压力驱动的推杆将与所述阀座面对的流路壁贯穿并插入流路中，所述阀驱动部驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座。其中，在贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述润滑脂槽的流路一侧设置用来保留润滑脂的密封部件，而在所述润滑脂槽的相反一侧设置用来真空密封的密封部件，由此构成轴封，使所述润滑脂槽的轴向长度与上述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程。
文档编号F16K31/124GK101713463SQ20091017414
公开日2010年5月26日 申请日期2009年9月30日 优先权日2008年10月3日
发明者樱井丰信, 神坂育男 申请人:Smc株式会社