专利名称：动力排液防倒灌接头的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路制造领域，特别涉及一种动力排液防倒灌接头。
背景技术：
随着晶圆厂产能扩大和集约化生产的大趋势下，厂务动力的压力也日趋加大。目前主流的废水废液排放采用重力排放，即在设 备排放口的下方设置排液管，通过废液自身重力由排液管排出。排液管的结构一般是基于国际法兰标准的，满足国际通用的关于法兰标准规定。但是可能因为地势落差和排放压力超出控制范围，从而使排液管下方的废液压力大于排液管内的废液重力，最终导致废液倒灌而进一步产生人员危害，设备损坏，环境污染等工安事件。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种在不改变现有设备的情况下实现防倒灌的动力排液防倒灌接头。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种动力排液防倒灌接头，包括连接母口，与一排液管相连；连接公口，连接于所述连接母口 ；防倒灌装置，设置于所述连接公口内。可选的，所述连接母口和所述连接公口是法兰接口，所述连接母口和所述连接公口是螺纹连接。可选的，所述连接公口的顶部设置有第一卡槽。可选的，所述防倒灌装置包括固定框架、浮块和密封圈，所述固定框架设置于所述连接公口内，所述浮块设置于所述固定框架内，所述密封圈设置于所述固定框架顶部。可选的，所述固定框架顶部设置有边沿，所述边沿容置于所述第一卡槽内；所述固定框架的外径小于或等于所述连接公口的内径，所述固定框架底部设置有排液口。可选的，所述固定框架还包括用于将所述浮块限制于所述固定框架内的固定杆。可选的，所述浮块为中空椭球型。可选的，所述密封圈的内径小于所述浮块的长轴，所述密封圈的外径等于所述固定框架的内径，所述密封圈的边缘设置有至少一个卡榫，所述固定框架上设置有至少一个第二卡槽，所述卡榫容置于所述第二卡槽内。可选的，所述边沿的宽度小于或等于第一卡槽的宽度，所述边沿的厚度小于或等于第 ^槽的深度。本实用新型在不改变现有设备的情况下，通过连接母口和连接公口在排液管内增设防倒灌装置，当排液管内压力及液位正常时，防倒灌装置内的浮块降下，废液从浮块上方的排液管的排液口排出，当浮块下方的废液的压力超过浮块上方的排液管内废液重力时，防倒灌装置内的浮块升起并完全堵住排液管的进液口，防止废液倒灌，保证了排液管在地势有落差及排放压力超出控制范围等异常情况下使用，从而在几乎不需要改造的情况下实现了防倒灌，增加了安全性，预防工安事件的发生。
图I是本实用新型一较佳实施例的动力排液防倒灌接头的结构示意图；图2是本实用新型一较佳实施例的连接公口结构示意图；图3是本实用新型一较佳实施例的防倒灌装置结构示意图；图4是本实用新型一较佳实施例的固定框架结构示意图；图5是本实用新型一较佳实施例的防倒灌装置俯视图； 图6是本实用新型一较佳实施例的浮块升起后的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
做详细的说明。如图I所示，根据本实用新型一较佳实施例，该动力排液防倒灌接头包括连接母口 2、连接公口 3和防倒灌装置4。连接母口 2与排液管I相连，所述连接母口 2和连接公口 3均为法兰接口，满足国际通用的关于法兰标准规定，从而很好与现有设备的结构相适用。其中，连接公口 3连接于连接母口 2，连接公口 3优选通过螺纹连接的方式固定于连接母口 2内，从而方便防倒灌接头的安装和拆卸。防倒灌装置4设置于连接公口 3内。如图I和2所示，连接公口 3的顶部设置有第一卡槽3’，便于防倒灌装置4固定于连接公口 3内。可选的，以连接公口 3的外径Dl的二分之一处作为第一^^槽3’的边界线，其中，第一卡槽3’的深度为hi。如图3和图5所示，防倒灌装置4包括固定框架7、浮块6和密封圈5 ;密封圈5设置于固定框架7的顶部，固定框架7设置于连接公口 3内，固定框架7的外径D2等于连接公口 3的内径；浮块6设置于固定框架7内，浮块6优选为中空的椭球型，这是由于椭球形获得的最大浮力较大，当然，所述浮块6还可以是其它可以起到密封作用的几何体。如图4所示，固定框架7的顶部设置有边沿10，边沿10的宽度Wl小于或等于第一卡槽3’的宽度，边沿10的厚度h2小于或等于第一卡槽3’的深度hl，从而使固定框架7固定于连接公口 3内，并保证固定框架7的顶部不高于连接公口 3的顶部；本实施例中，固定框架7的顶部设置有四个呈对角线分布的第二卡槽5’，便于固定密封圈5，当然，本实用新型并不限定第二卡槽5’的分布方式，其还可以呈三角形分布，设置多个独立的第二卡槽5’有利于节约空间。继续参考图4，固定框架7的底部包括固定杆11和排液口 9，固定杆11用于将浮块6限制于固定框架7内，防止浮块6从固定框架7底部漏出，排液口 9在浮块6降下时起到排放废液的作用。如图5所不,密封圈5的外径D3等于固定框架7的内径,从而保证密封圈5固定于固定框架7的顶部；密封圈5的内径小于浮块6的长轴，从而保证浮块6上浮时，能够完全封堵住密封圈5。密封圈5的形状与第二卡槽5’的形状相匹配。较佳的，密封圈5边缘设置有四个呈对角线分布的卡榫8,卡榫8与第二卡槽5’相匹配，四个卡榫8恰好卡在四个第二卡槽5’内，从而保证密封圈5不会在固定框架7的顶部转动。[0027]本实施例的动力排液防倒灌接头的工作过程如下如图I所示，当排液管I内压力及液位正常时，浮块6降下，废液自进液口进入到排液管内，其中废液进入方向如箭头A所示，获得浮力方向如箭头B所示，废液从排液管I的排液口 9排出，废液排放方向如箭头C所示；如图6所示，当浮块6下方的废液压力超过浮块6上方废液的重力，浮块6升起，堵住密封圈5，从而完全阻断排液管I的进液口，防止了废液倒灌，保证了排液管I在地势有落差及排放压力超出控制范围等异常情况下使用。综上所述，本实用新型通过连接母口 2和连接公口 3，在排液管I内增设防倒灌装置4，从而在几乎不需要改造现有设备的情况下实现了防倒灌，增加了安全性，预防工安事 件的发生。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型权利要求范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型权利要求的涵盖范围。
权利要求1.一种动力排液防倒灌接头，其特征在于，包括 连接母口，与一排液管相连； 连接公口，连接于所述连接母口 ； 防倒灌装置，设置于所述连接公口内。
2.如权利要求I所述的动力排液防倒灌接头，其特征在于所述连接母口和所述连接公口是法兰接口，所述连接母口和所述连接公口是螺纹连接。
3.如权利要求I所述的动力排液防倒灌接头，其特征在于所述连接公口的顶部设置有第一^^槽。
4.如权利要求3所述的动力排液防倒灌接头，其特征在于所述防倒灌装置包括固定框架、浮块和密封圈，所述固定框架设置于所述连接公口内，所述浮块设置于所述固定框架内，所述密封圈设置于所述固定框架顶部。
5.如权利要求4所述的动力排液防倒灌接头，其特征在于所述固定框架顶部设置有边沿，所述边沿容置于所述第一卡槽内；所述固定框架的外径小于或等于所述连接公口的内径，所述固定框架底部设置有排液口。
6.如权利要求4所述的动力排液防倒灌接头，其特征在于所述固定框架还包括用于将所述浮块限制于所述固定框架内的固定杆。
7.如权利要求4所述的动力排液防倒灌接头，其特征在于所述浮块为中空椭球型。
8.如权利要求4或7所述的动力排液防倒灌接头，其特征在于所述密封圈的内径小于所述浮块的长轴，所述密封圈的外径等于所述固定框架的内径，所述密封圈的边缘设置有至少一个卡榫，所述固定框架上设置有至少一个第二卡槽，所述卡榫容置于所述第二卡槽内。
9.如权利要求5所述的动力排液防倒灌接头，其特征在于所述边沿的宽度小于或等于第一卡槽的宽度，所述边沿的厚度小于或等于第一卡槽的深度。
专利摘要本实用新型公开了一种动力排液防倒灌接头，包括连接母口，与一排液管相连；连接公口，连接于所述连接母口；防倒灌装置，设置于所述连接公口内。本实用新型在不改变现有设备的情况下，在排液管内增设防倒灌接头，可以在地势有落差及排放压力超出控制范围等异常情况下使用，防止在排液时的废液倒灌，增加了安全性，预防工安事件的发生。
文档编号F16L29/00GK202660124SQ20122020019
公开日2013年1月9日 申请日期2012年5月4日 优先权日2012年5月4日
发明者戴文俊 申请人:上海集成电路研发中心有限公司