电动百叶阀装置的制作方法

本实用新型涉及一种电动百叶阀装置，尤其涉及一种用于真空镀膜装置的真空通道中的电动百叶阀装置。

背景技术：

真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜的装置。目前，真空镀膜设备中，常用阀门控制真空通道的开闭。具体地，所述阀门通常采用圆形板作为阀芯。从而，开启时，利用两边或上下的局部通道走气，中间部分形成阻挡。然而，上述阀门容易导致，分布在不同高度的产品镀膜的膜厚不一致的问题。

因此，针对上述问题，有必要提出进一步的解决方案。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种电动百叶阀装置，以克服现有技术中存在的不足。

为实现上述实用新型目的，本实用新型提供一种电动百叶阀装置，其用于真空镀膜装置的真空通道中，所述电动百叶阀装置包括：联动杆、电机、限位组件以及多个叶片；

所述多个叶片相互平行，多个叶片依次排布于所述真空通道中，所述多个叶片间隔地活动安装于所述联动杆上，且多个叶片可在所述联动杆的带动下进行同步运动，所述电机与所述多个叶片进行传动连接，所述限位组件安装于所述多个叶片的一侧，以控制所述多个叶片的开闭的角度范围。

作为本实用新型的电动百叶阀装置的改进，所述多个叶片通过销或轴活动安装于所述联动杆上。

作为本实用新型的电动百叶阀装置的改进，所述电动百叶阀装置还包括外框，所述多个叶片枢转安装于所述外框上，所述外框安装于所述真空通道中。

作为本实用新型的电动百叶阀装置的改进，所述多个叶片具有完全打开状态和完全关闭状态，所述多个叶片处于完全打开状态时，多个叶片与真空通道的内侧壁相平行，所述多个叶片处于完全关闭状态时，各叶片首尾依次连接。

作为本实用新型的电动百叶阀装置的改进，所述多个叶片以竖直方式或水平方式依次排布于所述真空通道中。

作为本实用新型的电动百叶阀装置的改进，所述电动百叶阀装置还包括电机安装支架及联轴器，所述电机安装于所述电机安装支架上，并通过联轴器与所述多个叶片进行传动连接。

作为本实用新型的电动百叶阀装置的改进，所述限位组件包括第一限位器和第二限位器，所述第一限位器和第二限位器控制所述多个叶片开闭的角度范围。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的电动百叶阀装置利用多个片叶将真空通道均匀分层，且通过多个叶片的联动，来控制不同高度的气体流速一致，从而实现产品镀膜的膜厚保持一致。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的电动百叶阀装置一具体实施方式的主视图，其中，多个叶片处于完全打开状态；

图2为本实用新型的电动百叶阀装置一具体实施方式的侧视图，其中，多个叶片处于完全关闭状态；

图3为图1中电动百叶阀装置的右视图。

具体实施方式

下面结合附图所示的各实施方式对本实用新型进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本实用新型的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本实用新型的保护范围之内。

如图1～3所示，本实用新型的电动百叶阀装置用于真空镀膜装置的真空通道100中。所述电动百叶阀装置包括：联动杆3、电机5、限位组件6以及多个叶片1。

所述多个叶片1相互平行，且多个叶片1依次排布于所述真空通道中。从而，多个片叶1将真空通道均匀分层。从而，当控制多个叶片1转动时，叶片1之间的间距逐渐减小，以控制工艺气体在各层的流速。

其中，所述多个叶片1可以竖直方式或水平方式依次排布于所述真空通道中。当多个叶片1以竖直方式排布于所述真空通道中时，叶片的转轴为水平方向；当多个叶片1以水平方式排布于所述真空通道中时，叶片的转轴为竖直方向。需要说明的是，图1仅示出了多个叶片1以竖直方式排布于所述真空通道中时的情形。

所述多个叶片1间隔地活动安装于所述联动杆3上，且多个叶片1可在所述联动杆3的带动下进行同步运动。优选地，所述多个叶片1通过销或轴活动安装于所述联动杆3上。所述电动百叶阀装置还包括外框2，所述多个叶片1枢转安装于所述外框2上，所述外框2安装于所述真空通道中。

所述电机5与所述多个叶片1进行传动连接，进一步地，所述电动百叶阀装置还包括电机安装支架7及联轴器，所述电机5安装于所述电机安装支架7上，并通过联轴器与所述多个叶片1进行传动连接。从而，在电机5的驱动下，多个叶片1通过联动杆3实现同步转动。

进一步配合图1和2所示，多个叶片1转动过程中，所述多个叶片1具有完全打开状态和完全关闭状态，所述多个叶片1处于完全打开状态时，多个叶片1与真空通道的内侧壁相平行，所述多个叶片1处于完全关闭状态时，各叶片1首尾依次连接，此时，真空通道被完全关闭。

所述限位组件6用于防止电机5对叶片1驱动过量，具体地，所述限位组件6安装于所述多个叶片1的一侧，以控制所述多个叶片1的开闭的角度范围。其中，所述限位组件6包括第一限位器和第二限位器，所述第一限位器和第二限位器分别由于限定叶片1转动的极限位置。

本实用新型的电动百叶阀装置安装时，首先，加工出多个叶片，在每个叶片中焊接上多片联动用的销或轴，并将多个叶片和外框组装好，再将驱动多叶片联动的联动杆装上。然后，将组装好的叶片、外框、联动杆装入真空通道中，再装入密封法兰和电机。最后，安装控制百叶开闭的两个限位感应器，防止驱动过量。

综上所述，本实用新型的电动百叶阀装置利用多个片叶将真空通道均匀分层，且通过多个叶片的联动，来控制不同高度的气体流速一致，从而实现产品镀膜的膜厚保持一致。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。