配管系统的导热覆盖体、配管系统的加热装置、导热覆盖体的制造方法及其安装方法、以及加热装置的制造方法及其安装方法与流程

本发明涉及覆盖由配管、与配管连接的阀等构成的配管系统的导热覆盖体、以及加热配管系统的加热装置。

背景技术：

在具备供气体、液体等流体流动的配管的装置(例如半导体的制造装置)中，为了将流体保持为高温，有时在配管的外侧安装加热器。在利用直径较小的配管的情况下，由于加热器没有紧贴在配管的外侧，因此，配管的一部分的温度变低，存在配管整体的温度不能均匀化的情况。为了防止该情况，以往，有时通过由铝等导热率较高的材料形成的块来覆盖配管的外侧，并通过加热器覆盖块的外侧的情况(例如，下述专利文献1，在此将该块称为“覆盖块”)。覆盖块为圆筒状，在其内侧配置有配管。根据该构造，能够比较容易地使加热器紧贴于覆盖块，因此容易使配管整体的温度均匀化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-2986号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

覆盖块由分别具有圆筒的一半的形状的两个部件构成(在此，将该部件称为“块半体”)。这两个块半体结合而构成圆筒状的覆盖块。在两个块半体的结合中，使用了包围覆盖块的外侧的环、螺钉等固定工具。但是，在利用这样的固定工具的构造中，包覆块的安装、拆卸的操作性不好。

本发明的一个目的在于提供能够提高安装、拆卸的操作性的导热覆盖体、加热装置、导热覆盖体的制造方法及其安装方法、以及加热装置的制造方法及其安装方法。

用于解决课题的手段

用于解决所述课题的导热覆盖体具有：第一导热部件，用于覆盖配管系统，由金属形成，具有形成有第一孔的第一面；第二导热部件，用于与所述第一导热部件结合而覆盖所述配管系统，由金属形成，具有与第一面相面对且形成有第二孔的第二面；以及连结部件，具有插入到所述第一孔的第一插入部和插入到所述第二孔的第二插入部，使所述第一导热部件和所述第二导热部件结合。所述第一插入部和所述第二插入部中的至少一个插入部能够在与所述连结部件的插入方向正交的方向上弹性变形。根据该导热覆盖体，能够提高导热部件的安装、拆卸的操作性。

用于解决所述课题的加热装置具有：所述导热覆盖体；以及覆盖所述导热覆盖体且通过所述导热覆盖体来加热所述配管系统的加热器。根据该加热装置，能够提高导热部件的安装、拆卸的操作性。

用于解决所述问题的导热覆盖体的制造方法及其安装方法如下所述。这些方法所涉及的导热覆盖体具备：第一导热部件，用于覆盖配管系统，由金属形成，具有形成有第一孔的第一面；第二导热部件，用于与所述第一导热部件结合而覆盖所述配管系统，由金属形成，具有与第一面相面对且形成有第二孔的第二面；以及连结部件，具有插入到所述第一孔的第一插入部和插入到所述第二孔的第二插入部。

所述导热覆盖体的制造方法具有如下工序：将所述第一插入部插入所述第一孔，由此以能够在相对于所述第一插入部的插入方向正交的方向上弹性变形的第二插入部从所述第一面突出的方式，将所述连结部件安装于所述第一导热部件。

所述导热覆盖体的安装方法具有如下工序：在所述第一插入部插入所述第一孔，以能够在相对于所述第一插入部的插入方向正交的方向上弹性变形的所述第二插入部从所述第一面突出的方式将所述连结部件安装于所述第一导热部件的状态下，为了使所述第一导热部件和所述第二导热部件以覆盖所述配管系的方式结合，而将所述第二插入部插入所述第二导热部件的所述第二孔。

用于解决所述课题的加热装置的制造方法及其安装方法如下所述。这些方法涉及的加热装置具备：第一导热部件，用于覆盖配管系统，由金属形成，具有形成有第一孔的第一面；第二导热部件，用于与所述第一导热部件结合而覆盖所述配管系统，由金属形成，具有与第一面相面对且形成有第二孔的第二面；连结部件，具有插入所述第一孔的第一插入部和插入所述第二孔的第二插入部；以及加热器，覆盖所述导热覆盖体，用于通过所述导热覆盖体对所述配管系统进行加热。

所述加热装置的制造方法具有如下工序：将所述第一插入部插入所述第一孔，由此以能够在相对于所述第一插入部的插入方向正交的方向上弹性变形的第二插入部从所述第一面突出的方式将所述连结部件安装在所述第一热传递部件上。

所述加热装置的安装方法具有如下工序：

在所述第一插入部插入所述第一孔，以能够在相对于所述第一插入部的插入方向正交的方向上弹性变形的所述第二插入部从所述第一面突出的方式将所述连结部件安装于所述第一导热部件的状态下，为了使所述第一导热部件和所述第二导热部件以覆盖所述配管系统的方式结合，而将所述第二插入部插入所述第二导热部件的所述第二孔。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的加热装置的例子的立体图。

图2是加热装置所具备的导热覆盖体的分解立体图。

图3是加热装置的截面图，其切断面的位置由图1的iii-iii线表示。在该图中，加热器包围导热覆盖体的外侧。

图4是图3的放大图。

图5是通过由图4的v-v线所示的切断面得到的截面图。

图6a是表示安装于阀单元的导热覆盖体的例子的平面图。

图6b是在图6a中例示的导热覆盖体的主视图。

图7是在图6a及图6b中例示的导热覆盖体的立体图。

图8是通过图7所示的viii-viii线的截面图。

具体实施方式

以下，对本发明的一个实施方式进行说明。图1是表示本发明的实施方式的一例的加热装置1的立体图。在图1中表示加热器20打开的情况。图2是加热装置1所具备的导热覆盖体10的分解立体图。图3是加热装置1的截面图，其切断面的位置由图1的iii-iii线表示。在图3中，与图1不同，表示加热器20覆盖导热覆盖体10的外侧的情况。图4是图3的放大图。图5是通过图4的v-v线所示的切断面得到的截面图。

加热装置1具有覆盖配管系统外侧的导热覆盖体和覆盖导热覆盖体的外侧并用于加热配管系统的加热器。在此，所谓配管系统包括配管、与配管连接的阀、配管的接头、弯头等。如图1所示，在本实施方式中，加热装置1具有覆盖直线状地延伸的配管100的导热覆盖体10。另外，加热装置1具有覆盖导热覆盖体10外侧的加热器20。配管100例如是1/8英寸配管、1/4英寸配管、3/8英寸配管、1/2英寸配管等直径比较小的配管。

如图1所示，导热覆盖体10为筒状，在其内侧配置有配管100。导热覆盖体10作为整体例如为具有大致圆形截面的筒状。导热覆盖体10也可以是具有大致四边形截面的筒状。导热覆盖体10具有第一导热部件11和第二导热部件12。各导热部件11、12是具有以导热覆盖体10的轴线c1为中心的圆弧状截面的部件。换言之，导热部件11、12分别具有圆筒的大致一半的形状。导热部件11、12在与轴线c1正交的方向上结合，构成圆筒状的导热覆盖体10。换言之，导热覆盖体10是导热部件11、12彼此以能够夹持或覆盖配管系统的方式结合而成的。

导热部件11、12由具有比较高的导热率的金属形成。导热部件11、12例如由铝形成。导热部件11、12例如也可以由铜形成。导热部件11、12分别由金属一体形成。例如，导热部件11、12通过在轴线c1的方向上将材料挤出的挤出成型、铸造而一体地形成。如后所述，在导热部件11、12上分别形成有孔11c、12c。这些孔11c、12c通过对成型品实施切削加工而形成。

如图3所示，导热部件11、12分别具有相互面对的面11a、12a(将面11a、12a称为“对置面”)。在第一导热部件11的对置面11a上形成有槽11b，在第二导热部件12的对置面12a上形成有槽12b(参照图2)。在槽11b、12b的内侧配置有配管100。优选地，槽11b、12b的内表面与管道100的外表面相一致地弯曲，并与管道100的外表面紧密接触。即，槽11b、12b的内表面整体与配管100的外表面接触。由此，能够均匀地加热配管100。导热部件11、12的构造不限于导热覆盖体10的例子。例如，也可以仅在导热部件11、12的一方形成槽，在该槽中配置配管100。

如图3所示，在将配管100配置在第一导热部件11与第二导热部件12之间的状态下，在对置面11a、12a之间设置有间隙g1。由此，容易确保槽11b、12b的内表面与配管100的外表面之间的密接性。另外，在从配管100上拆卸第一导热部件11和第二导热部件12时，能够用手指抠开间隙g1使第一导热部件11和第二导热部件12相互分离，因此作业效率(具体地说，拆卸效率或解体效率)良好。另外，也可以不必设置这种间隙g1。

如图3所示，在第一导热部件11的对置面11a上形成有孔11c。另外，在第二导热部件12的对置面12a上形成有孔12b(在以下，将这些孔11c、12c称为“连结孔”)。连结孔11c、12c形成在相互对应的位置，并在与轴线c1正交的方向上彼此相面对。导热覆盖体10具有与导热部件11、12分别形成的连结部件13。连结部件13插入连结孔11c、12c而使导热部件11、12结合。在导热覆盖体10的例子中，连结部件13是在其插入方向上细长的销状。

在第一导热部件11的对置面11a上形成有多个连结孔11c。在第二导热部件12的对置面12a上也形成有多个连结孔12c。详细而言，第一导热部件11的对置面11a在槽11b的一侧和隔着槽11b的相反侧具有连结孔11c(参照图3)。另外，对置面11a具有在沿着导热覆盖体10的轴线c1的方向(配管100的延伸方向)上排列的多个连结孔11c。在导热覆盖体10的一例中，在第一导热部件11的两端部形成有两个连结孔11c。与第一导热部件11相同，第二导热部件12的对置面12a在槽12b的一侧和隔着槽12b的相反侧具有连结孔12c(参照图3)。另外，对置面12a具有在沿着导热覆盖体10的轴线c1的方向(配管100的延伸方向)上排列的多个连结孔12c。连结孔11c、12c的数量、位置不限于导热覆盖体10的例子。例如，导热部件11、12也可以分别具有在沿着轴线c1的方向上排列的三个连结孔11c、12c。

如图3所示，连结部件13具有插入到第一导热部件11的连结孔11c中的部分13a、和插入到第二导热部件12的连结孔12c中的部分13b(在以下，将部分13a称为“第一插入部”，将部分13b称为“第二插入部”)。连结部件13构成为，插入部13a、13b能够在相对于连结部件13的插入方向正交的方向、即连结孔11c、12c的径向上弹性变形。换言之，第一插入部13a能够与第一导热部件11的连接孔11c的尺寸相匹配地弹性变形。第二插入部13b能够与第二导热部件12的连接孔12c的尺寸相匹配地弹性变形。根据导热覆盖体10的该构造，与利用螺钉、包围导热部件11、12外周的环状固定工具而使导热部件11、12结合的构造相比，能够提高导热部件11、12的安装、拆卸的操作性。

连结部件13由金属形成。例如，连结部件13由不锈钢、钢等的铁合金、铝等形成。连结部件13的材料并不限定于此。例如，连结部件13也可以由树脂形成。

如图3及图5所示，在导热覆盖体10的例子中，连结部件13为在连结部件13的插入方向上延伸的筒状，在连结部件13上形成有沿着连结部件13的延伸方向的狭缝13c。连结部件13是所谓的弹簧销。狭缝13c遍及第一插入部13a和第二插入部13b而形成。详细而言，狭缝13c从连结部件13的一个端部(图3中的上端)连续至连结部件13的另一个端部(图3中的下端)。通过改变狭缝13c的宽度w1(参照图5)，连结部件13的直径变化。换言之，连结部件13能够以其直径变化的方式弹性变形。在导热覆盖体10的例子中，狭缝13c具有在连结部件13的延伸方向上延伸的波形状。但是，狭缝13c也可以是直线状。

连结部件13(第一插入部13a和第二插入部13b)的自由状态下的外径为连接孔11c、12c的直径以上(“自由状态”是连结部件13未插入连接孔11c、12c的状态)。另外，在连结部件13插入连结孔11c、12c的状态下，与连结部件13的自由状态相比，狭缝13c的宽度变小。因此，在连结部件13插入连结孔11c、12c的状态下，连结部件13的外表面通过其弹力而被按压在连结孔11c、12c的内表面上。由此，在连结部件13的外表面与连接孔11c、12c的内表面之间产生摩擦，连结部件13的插入部13a、13b分别固定于连接孔11c、12c。

连结部件13的形状、构造并不限定于导热覆盖体10的例子。例如，也可以是第一插入部13a和第二插入部13b中的仅一方的插入部能够以其直径变化的方式弹性变形。即，也可以仅在一方的插入部上形成狭缝13c。在该情况下，另一个插入部也可以被压入连结孔。在又一其他例子中，连结部件13也可以具有插入到两个连结孔11c、12c中的板簧。在该情况下，也可以是板簧的一个端部被按压于连结孔11c的内表面，板簧的一个端部被按压于连结孔12c的内表面。连结部件13也可以由多个板簧构成。

在导热罩体10的例子中，连结部件13为具有圆形截面的筒状(参照图5)。连结孔11c、12c在俯视时为圆形孔。根据该构造，如图5所示，连结部件13的外表面遍及较大范围而与连结孔11c、12c的内表面接触。因此，容易确保导热部件11、12的结合强度。另外，根据导热覆盖体10所具有的圆筒状的连结部件13，连结部件13的制造变得容易。例如，连结部件13能够通过将较小的板状部件卷成圆筒状来形成。

连结部件13为，在其自由状态下，从一个端部遍及到另一个端部具有相同的外径(如上所述，所谓“自由状态”是指连结部件13未插入连结孔11c、12c的状态)。另一方面，第二导热部件12的连结孔12c的至少一部分具有比第一导热部件11的连结孔11c的直径大的直径。具体而言，如图4所示，连接孔12c的靠开口端的部分12d具有比连接孔11c的直径大的直径(在以下，将该部分12d称为“大径部”)。更具体地说，连结孔12c的边缘被倒角。由此，在大径部12d形成有斜面，以使连接孔12c的直径朝向连接孔11c(即，朝向连接孔12c的开口端)逐渐变大。在将连结部件13插入连接孔12c时，连结部件13的前端由该斜面引导，因此能够提高操作性。第一导热部件11的连结孔11c没有进行这样的倒角。因此，将连结部件13的第一插入部13a固定于连结孔11c的力比将第二插入部13b固定于连结孔12c的力大。根据该构造，如图2所示，在分离第一导热部件11和第二导热部件12时，维持连结部件13固定于第一导热部件11的状态。由此，能够提高导热覆盖体10的拆卸的操作性。另外，根据利用倒角的所述构造，不需要繁杂的作业就能够形成第二导热部件12。

如上所述，在导热部件11、12上形成有多个连结孔11c、12c。所有的连接孔12c具有直径比连接孔11c的直径大的大径部12d。因此，如图2所示，在分离第一导热部件11和第二导热部件12时，维持将全部连结部件13固定于第一导热部件11的状态。由此，能够进一步提高导热覆盖体10的拆卸的操作性、之后的安装的操作性。在连结孔12c的大径部12d形成的也可以不必一定是斜面(倒角)。即，大径部12d的直径在连结孔12c的深度方向上也可以恒定。

在导热覆盖体10的例子中，连结孔12c的直径比连结孔11c的直径大(连结孔12c的直径例如能够构成为连结孔11c的直径的1.1倍以下、1.3倍以下、1.5倍以下、或1.7倍以下)。由此，将连结部件13的第一插入部13a固定于连结孔11c的力比将第二插入部13b固定于连结孔12c的力大。其结果，在分离第一导热部件11和第二导热部件12时，维持将连结部件13固定于第一导热部件11的状态。由此，能够提高导热覆盖体10的拆卸的操作性。在其他例子中，连结部件13可以形成为，第一插入部13a向连接孔11c的固定力(摩擦力)大于第二插入部13b向连接孔12c的固定力(摩擦力)。具体而言，第一插入部13a的外径也可以比第二插入部13b的外径大。在该情况下，第一导热部件11的连结孔11c的直径也可以与第二导热部件12的连结孔12c的直径相等。作为其他例子，还能够构成为，使第1插入部13a的长度和第2插入部13b的长度中的一方比另一方长，而使向连结孔11c、12c的固定力(摩擦力)不同。

如图3所示，在导热覆盖体10的例子中，连结孔11c未贯通第一导热部件11。即，连结孔11c具有底部。因此，在第一导热部件11的外周面11e(加热器20所接触的面，参照图1)上未出现连结孔11c。同样地，连结孔12c未贯通第二导热部件12。因此，在第二导热部件12的外周面12e(加热器20所接触的面，参照图1)上未出现连结孔12c。其结果，如图1所示，在导热部件11、12结合的状态下，连结部件13未出现在导热覆盖体10的外表面上。根据该构造，能够防止在导热覆盖体10的外周面产生不与加热器20接触的部分。

代替导热覆盖体10的例子，连结孔11c也可以贯通第一导热部件11。同样地，连结孔12c也可以贯通第二导热部件12。在该情况下，连结部件13也优选为，其端部具有不从第一导热部件11的外周面11e和第二导热部件12的外周面12e突出的长度。

连结部件13的长度优选设定为，在连结部件13如图4所示那样结合着导热部件11、12的状态下，连结部件13的至少一方的端部不与连结孔11c、12c的底部(最深的部分)接触。由此，能够可靠地确保导热部件11、12之间的间隙g1。连结部件13的直径d与长度l之比(l/d)例如为1.8至12.5的范围。另外，连结部件13的直径d与厚度t之比(t/d)例如为0.09至0.19的范围。例如，连结部件13的直径d为大约2mm(具体而言为2.15mm至2.25mm)。在该情况下，连结部件13的长度l例如为大约4mm至大约20mm，连结部件13的厚度t能够例如设为大约0.2mm至大约0.4mm。连结部件13的尺寸并不限定于此。例如，连结部件13的直径d可以小于2mm，也可以大于2mm。例如，连结部件13的尺寸也可以构成为，直径d为大约1.6mm至2.75mm的范围内、长度l在大约3mm至20mm的范围内、厚度t在大约0.15mm至0.5mm的范围内。

如图4所示，第一插入部13a的长度l1优选比第一插入部13a的直径d1大。同样，第二插入部13b的长度l2优选比第二插入部13b的直径d2大。由此，容易充分地确保插入部13a、13b向连接孔11c、12c的固定力。如上所述，插入部13a、13b的直径d1、d2(即连结部件13的直径d)例如为大约2mm。在该情况下，插入部13a、13b各自的长度优选为2mm以上。

如上所述，加热装置1具有加热器20。如图3所示，加热器20遍及整周地覆盖导热覆盖体10的外侧。加热器20例如具有柔软性，以便能够以覆盖导热覆盖体10的外侧的方式卷曲、或者以使导热覆盖体10露出的方式扩展。在该情况下，加热器20在以覆盖导热覆盖体10的外侧的方式卷曲的状态下固定。例如，在加热器20的外侧卷绕有带(未图示)，或者在加热器20的边缘设置有面接合件(未图示)。

加热器20的构造不限于在此说明的加热装置1的例子。例如，加热器20也可以不必一定具有柔软性。在该情况下，加热器20也可以由分别具有圆弧状截面的多个组件构成。而且，也可以通过将它们组合，而使加热器20遍及整周地覆盖导热覆盖体10的外侧。

如图1所示，在加热装置1的例子中，加热器20具有接受电力而发热的电热线21。电热线21例如是镍铬合金线、不锈钢线。另外，加热器20具有收纳电热线21的收容部22。收容部22例如具有袋22a(参照图3)和导热部22b(参照图3)，该导热部22b由具有导热性的纤维、粒子构成，并被填充在袋22a的内侧。

如上所述，导热覆盖体10具有：第一导热部件11，具有形成有连结孔11c的对置面11a；第二导热部件12，具有形成有连结孔12c的对置面12a；连结部件13，具有插入连结孔11c的第一插入部13a和插入连结孔12c的第二插入部13b，使第一导热部件11和第二导热部件12结合。第一插入部13a和第二插入部13b能够在相对于连结部件13的插入方向正交的方向上弹性变形。根据该导热覆盖体10，能够提高导热部件11、12向配管100安装的操作性、拆卸导热部件11、12的操作性。

在导热覆盖体10及加热装置1的制造过程中，连结部件13的第一插入部13a插入到第一导热部件11的连结孔11c中。在第一导热部件11上形成有多个连结孔11c的情况下，将第一插入部13a插入各连结孔11c。由此，以第二插入部13b从第一导热部件11的对置面11a突出的方式，将连结部件13安装在第一导热部件11上。在导热覆盖体10及加热装置1向配管系统安装的过程中，在第二插入部13b从第一导热部件11的对置面11a突出的状态下，将第二插入部13b插入到第二导热部件12的连结孔12c中。由此，第一导热部件11和第二导热部件12接合并覆盖配管系统。然后，用加热器20覆盖导热覆盖体10。

另外，本发明不限于以上说明的实施方式，而能够进行各种变更。

例如，配管100也可以具有弯曲部。在该情况下，也可以在两个导热部件11、12的一方或双方形成用于避免与弯曲部干涉的切口。

另外，加热装置1也可以具有在配管100的延伸方向上排列的多个导热部件。在该情况下，连接孔也可以形成在导热部件的端面(例如，参照图2中的符号11f、12f)上，并且连结部件13被用于在管道100的延伸方向上排列的两个导热部件的结合。

导热覆盖体10也可以覆盖设置于配管系统的阀。在该情况下，导热覆盖体10也可以具有多个板状的导热部件。而且，也可以通过这些多个导热部件结合而形成包围阀的箱状的导热覆盖体10。在该情况下，也可以在板状的导热部件的表面、端面上形成连结孔，在该连结孔中插入连结部件13。

图6a、图6b、图7和图8是表示作为箱状的导热覆盖体的一例即导热覆盖体110的图。图6a和6b分别是安装在阀单元120a、120b上的导热覆盖体110的平面图和主视图。图7是导热覆盖体110的立体图。图8是沿图7所示的viii-viii线的导热覆盖体110的截面图。

在图6a和图6b的例子中，配管系统具有阀单元120a、120b以及连接管121。各阀单元120a、120b具有收容阀的本体120a和安装在本体120a上的促动器120b。连接管121连结两个阀单元120a、120b的本体120a。

导热覆盖体110由多个板状的导热部件构成，通过它们相互结合而成为箱状。如图7所示，导热覆盖体110作为导热部件例如具有底板111、侧板112、上部板113以及隔板114。阀单元120a、120b的本体120a配置于底板111的前部，并安装于底板111。在底板111后部的右侧以及左侧配置有侧板112，在侧板112的上侧配置有上部板113。底板111、侧板112以及上部板113为箱状，且包围连结管121。在两个阀单元120a、120b之间配置有隔板114。与所述导热部件11、12同样，板111～114例如由铝形成。板111～114例如也可以由铜形成。

相互相邻的2张板通过所述的连结部件13而结合。如图8所示，例如，底板111具有形成有连接孔111c的对置面111a。侧板112具有形成有连结孔112c的对置面112a。连结部件13具有插入连结孔111c的第一插入部13a和插入连结孔112c的第二插入部13b。如上所述，第一插入部13a和第二插入部13b能够在相对于连结部件13的插入方向正交的方向上弹性变形。上部板113与侧板112的结合、以及隔板114与底板111的结合也使用连结部件13。根据该导热覆盖体110，能够提高板111～114向配管系统安装的操作性、将板111～114从管系统拆卸的操作性。在相互相邻的2张板的结合中也可以利用多个连结部件13。另外，导热覆盖体110也可以由加热器20覆盖。

另外，阀单元120a、120b、连结管121的构造不限于图6a、图6b的例子，也可以适当变更。此外，导热覆盖体110的构造也可以与阀单元120a、120b以及连接管121的构造相匹配地变更。例如，导热覆盖体110也可以形成为包围一个阀单元的主体的箱状。

作为又一其他例子，导热覆盖体10也可以覆盖设置于配管系统的弯头。在该情况下，在导热覆盖体10的导热部件11、12上，也可以代替所述的直线地延伸的槽11b、12b，而形成与弯头相匹配地弯曲的槽。

也可以在导热部件11、12中的一方上形成供温度传感器的检测部插入的孔。该孔例如形成在导热部件11、12的外周面11e、12e上。

导热覆盖体10也可以具有连结解除槽，该连结解除槽用于从第一导热部件11与第二导热部件12通过连结部件13连结(结合)的连结状态使第一导热部件11与第二导热部件12分离(离开)而解除连结。连结解除槽例如也可以在导热部件11、12中的至少一方上形成为供螺丝刀等棒状工具的前端部侧插入的槽(切口部)。该槽例如形成在导热部件11、12的外周面11e、12e和/或端面11f、12f且形成在对置面11a、12a上。将棒状工具插入所述的连结解除槽并利用杠杆原理，由此能够容易地将通过连结部件13而处于连结状态的第一导热部件11与第二导热部件12分离而解除连结，能够进一步提高拆卸导热覆盖体10的操作性。