一种减震设备基座的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于设备的减震及固定技术领域，具体涉及一种减震设备基座。
【背景技术】
[0002]在现今的电子厂、晶圆厂或光电厂等高科技厂房中，大多将稳定需求高的设备例如曝光机等放置在一具有抗震结构的设备基座上，藉以避免地板传递的震动影响设备的正常运作。
[0003]传统的设备基座大致包括:一基座本体、一固定底板及至少一由螺柱及螺帽所组成的固定组件。基座本体固定设置于固定底板上，通过固定组件将固定底板锁紧于底板上实现定位。
[0004]而传统基座的基座本体及固定底板大多采用钢材制成，以便承受设备的重量，并能避免地板传递的震动影响设备运作。固定组件用于将固定底板锁固在地板上，藉以增加基座本体及固定底板的稳定性。然而随着科技的进步，设备要求愈来愈精细，因此抗震需求也愈来愈高，如设备运作时震动较大而难以实现吸震减震的话很容易造成精密设备的损坏，缩短设备的使用寿命。所以，增加传统设备基座之抗震功效已成为现今业界的主要研宄方向之一。
[0005]有鉴于此，有必要提出一种新型的减震设备基座，实现对设备的震动起到较高的减震吸震作用，避免地板传递的震动影响设备的运作，提高设备的工作性能及使用寿命。
【实用新型内容】
[0006]有鉴于此，本实用新型提供了一种减震设备基座，通过在固定底板与地板间设置减震组件，金属吸震板用以吸收设备震动，缓冲软板用以抵抗高频震动，避免地板传递的震动影响设备的运作，提高设备的工作性能及使用寿命。
[0007]根据本实用新型的目的提出的一种减震设备基座，包括:
[0008]一基座本体，设置于地板上；
[0009]固定底板，所述固定底板设置于基座本体与地板间；
[0010]至少一个固定组件，用以连接固定底板与地板；
[0011]所述减震设备基座还包括减震组件，所述减震组件与所述固定组件对应设置，所述减震组件设置于所述固定底板与地板间；
[0012]所述减震组件包括若干金属吸震板与缓冲软板，所述金属吸震板与所述缓冲软板平行于固定底板设置。
[0013]优选的，所述固定底板为一块整板，所述固定底板面积大于或等于基座本体面积，所述基座本体底部固定于固定底板上。
[0014]优选的，所述固定底板为设置于基座本体与地板间边缘处间隔设置的多块，每一固定底板上下侧均设置有减震组件，所述固定组件自上而下逐一穿过减震组件、固定底板、减震组件以及地板。
[0015]优选的，每组减震组件均包括一金属吸震板与一缓冲软板，所述缓冲软板靠近固定底板表面设置。
[0016]优选的，所述基座本体包括支撑板及其下方的支撑架，设备设置于支撑板上，所述支撑架为至少一组，每组支撑架由若干工字钢交错形成。
[0017]优选的，多组支撑架上下平行设置，且相邻两组支撑架间设置有高度调节部件。
[0018]优选的，所述高度调节部件为方管。
[0019]与现有技术相比，本实用新型公开的减震设备基座的优点是:通过在固定底板与地板间设置减震组件，金属吸震板用以吸收设备震动，缓冲软板用以抵抗高频震动，避免地板传递的震动影响设备的运作，提高设备的工作性能及使用寿命。
[0020]通过设定固定底板面积大于或等于基座本体面积，用以增加基座本体与地板的接触面积，提尚基座本体的稳定性。
[0021]通过设定多个间隔设置的固定底板定位基座本体的多个位置，可有效应对基座本体底部不同位置的变化，避免出现整块固定底板变形问题。
[0022]通过设置多组支撑架，在支撑架间设置高度调节部件，可根据设备需要调节基座的高度，适用于不同设备需求。
【附图说明】
[0023]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本实用新型公开的减震设备基座的立体图。
[0025]图2为本实用新型公开的减震设备基座的主视图。
[0026]图3为连接A处局部放大图。
[0027]图中的数字或字母所代表的相应部件的名称:
[0028]1、减震设备基座10、基座本体20、固定底板30、固定组件40、减震组件50、设备60、地板
[0029]11、支撑板12、支撑架13、方管
[0030]31、螺柱32螺帽33、垫板41、第一金属吸震板42、第一缓冲软板43、第二金属吸震板44、第二缓冲软板
【具体实施方式】
[0031]传统基座的基座本体及固定底板大多采用钢材制成，以便承受设备的重量，并能避免地板传递的震动影响设备运作。固定组件用于将固定底板锁固在地板上，藉以增加基座本体及固定底板的稳定性。然而随着科技的进步，设备要求愈来愈精细，因此抗震需求也愈来愈高，如设备运作时震动较大而难以实现吸震减震的话很容易造成精密设备的损坏，缩短设备的使用寿命。所以，增加传统设备基座之抗震功效已成为现今业界的主要研宄方向之一。
[0032]本实用新型针对现有技术中的不足，提供了一种减震设备基座，通过在固定底板与地板间设置减震组件，金属吸震板用以吸收设备震动，缓冲软板用以抵抗高频震动，避免地板传递的震动影响设备的运作，提高设备的工作性能及使用寿命。
[0033]下面将通过【具体实施方式】对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0034]请一并参见图1至图3，根据本实用新型的目的提出的一种减震设备基座，包括:
[0035]一基座本体10，设置于地板60上；用以承载设备50，避免地板传递的震动影响设备的运作。
[0036]固定底板20